Nanox南韓新廠建成，年内量産醫用MEMS新品

集微網消息，據外媒報道，醫學影像技術公司Nanox宣布已在南韓建成新的MEMS産品制造廠，預計在今年年中實作規模生産。

公開資訊顯示，該工廠将主要生産用于醫學成像的X射線源MEMS器件，使用KrF光刻機和配套蝕刻、沉積裝置，并可完成對X射線MEMS産品的特殊規格封裝測試。

（校對/樂川）