集微网消息，据外媒报道，医学影像技术公司Nanox宣布已在韩国建成新的MEMS产品制造厂，预计在今年年中实现规模生产。
公开信息显示，该工厂将主要生产用于医学成像的X射线源MEMS器件，使用KrF光刻机和配套蚀刻、沉积设备，并可完成对X射线MEMS产品的特殊规格封装测试。
（校对/乐川）
集微网消息，据外媒报道，医学影像技术公司Nanox宣布已在韩国建成新的MEMS产品制造厂，预计在今年年中实现规模生产。
公开信息显示，该工厂将主要生产用于医学成像的X射线源MEMS器件，使用KrF光刻机和配套蚀刻、沉积设备，并可完成对X射线MEMS产品的特殊规格封装测试。
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