ASML工廠火災 台積電：EUV産能繼續推進

芯研所1月18日消息，月初ASML在德國的工廠發生火災，引發半導體行業擔心。台積電作為ASML光刻機的最大客戶也回應了此事，他們表示不擔心會對2022年生産有什麼影響。

在日前的财報會上，台積電高層回應了ASML工廠火災的問題，稱沒有理由擔心這場火災會對2022年的生産計劃産生影響。台積電強調，該公司的産能增長，包括EUV光刻在内的工藝都可以按計劃完成，不擔心ASML的履約能力。

芯研所采編

目前台積電的7nm及以下工藝産能都需要EUV光刻機，根據财報透露的資訊，在第四季度，台積電7nm制程晶片的出貨量占到了總晶圓出貨量的27%，而5nm制程晶片占比則為23%。至于ASML，根據他們之前的資訊，雖然評估是否影響今年的光刻機交貨還有點早，但這次事件影響的主要是EUV光刻機生産，DUV光刻機不受影響。

EUV光刻機是生産7nm以下工藝的關鍵裝置，ASML是全球唯一的EUV光刻機供應商，每台售價1億歐元，将近10億人民币，去年傳遞了35台EUV光刻機，今年計劃傳遞55台EUV光刻機，三星、台積電及Intel是主要的客戶。

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