荷蘭正式出手！限制DUV光刻機出口

芯東西3月9日消息，當地時間3月8日，荷蘭宣布正式加入美國在半導體行業對中國的限制行列。荷蘭貿易部長Liesje Schreinemacher緻議會函中透露，荷蘭計劃對半導體技術出口實施新的限制，這些限制将在夏季之前實施。

▲荷蘭貿易部長Liesje Schreinemacher緻議會函

在緻函中，Schreinemacher沒有說明哪些半導體相關裝置會受到影響，但她強調，這些公司必須申請出口這項技術的許可證，“限制措施隻會包括可以制造最小、最強大晶片的非常高規格的系統，包括ASML制造的一些深紫外（DUV）光刻機。”

荷蘭光刻機巨頭ASML回應稱，他們還沒有收到“非常高規格的系統”的明确定義，此舉不會對該公司2023年或者長期的财務表現産生重大影響。不過，受新規影響，ASML需要申請出口許可證才能裝運其DUV光刻機。

▲ASML官方回應

DUV光刻機被用于生産28nm及更成熟制程的晶片，理論上最高能制備7nm，主要供應商有荷蘭ASML、日本尼康、日本佳能等。從ASML界定的範疇來看，荷蘭出口限制新規可能主要涉及能生産先進制程晶片的高端DUV光刻機型号的采購，暫不影響2000i之前的型号。

▲ASML DUV光刻機型号一覽（圖源：ASML）

去年10月，美國政府對中國實施了晶片制造工具出口限制，但要使這些限制生效，需要擁有相關關鍵技術的荷蘭、日本供應商同意，是以今年1月初開始，美國政府就一直在遊說荷蘭與日本達成限制向中國出口先進晶片制造工具的協定。

這也是荷蘭首次公開這一協定的部分細節，據傳日本最快也将于本周更新其晶片出口政策。

在本周荷蘭和日本經美國強烈遊說的新出口管制的更多細節公布之前，ASML的CEO Peter Wennink将在該公司位于荷蘭維荷芬（Veldhoven）的總部發表講話。

一、擴大現有出口管制，将出台國家管制清單

在緻函中，Schreinemacher稱，荷蘭在全球半導體産業鍊中發揮着重要作用，鑒于技術發展和地緣政治影響，政府有必要擴大對特定半導體制造裝置的現有出口管制。

Schreinemacher稱，荷蘭政府已決定采取“盡可能謹慎和準确的措施……以避免對産業鍊造成不必要的破壞，對于重要的公司來說，了解他們所面臨的問題，并有時間适應新規則”。

荷蘭還将以國家安全為由，以最快的速度對相關技術進行監管，是以内閣将推出一份國家管制清單。

除此以外，Schreinemacher還計劃在Wassenaar Group等論壇上推動全球對于先進晶片制造的控制，這一由發達國家組成的團體可以制定用于軍事系統裝置的出口限制。

二、銷售DUV需申請許可證，業績表現暫無影響

雖然在信件中，Schreinemacher沒有明确提到中國和全球最大光刻機巨頭ASML，但這兩者都會受到影響。

ASML在全球晶片供應鍊中占據着至關重要的地位，是唯一一家能夠制造高度精密的極紫外（EUV）光刻機的公司，而這也正是生産先進晶片的關鍵裝置。

ASML更先進的EUV光刻機已經于2019年就禁止向中國銷售。

如今，受荷蘭即将出台的法規影響，ASML需要申請出口許可證才能裝運其DUV光刻機。ASML回應稱，不過此舉不會對該公司2023年或者長期的财務表現産生重大影響。

更重要的是，荷蘭政府的新出口管制措施僅适用于“最先進”工具，但ASML還未收到有關“最先進”的明确定義。是以，ASML将其解釋為“臨界浸沒式”（critical immersion），将其定義為TWINSCAN NXT:2000及後續的浸沒式光刻系統。

Wennink說，他“比以往任何時候”都更加嚴密地防範知識産權盜竊風險。因為，美國對中國采購先進晶片和半導體裝置施加了越來越多的限制，這增加了他們在安全工作方面的風險。

同時，Wennink還警告各國政府不要陷入保護主義，他認為晶片行業使全球社會取得了巨大進步。

結語：中荷應共同維護供應鍊穩定

ASML預計2023年在中國的銷售額将保持在22億歐元左右，這也意味着其銷售額已經相對收縮，因為其整體銷售額增長幅度可能在25%左右。

荷蘭政府的最新公告隻透露部分細節，但留下了更重要的疑點，那就是ASML是否能夠為自2014年以來向中國客戶銷售的價值超過80億歐元的DUV光刻機繼續提供服務。

關于荷蘭将對華禁供的ASML光刻機範圍從EUV光刻機擴大到DUV光刻機的消息，1月30日，中國外交部長秦剛曾同荷蘭副首相兼外交大臣胡克斯特拉通電話，就雙邊關系等問題深入交換意見。

秦剛指出，“開放務實”是中荷關系的最大特色，雙方要共同維護國際産業鍊供應鍊穩定，維護開放而非分裂、有序而非混亂的國際貿易環境。胡克斯特拉副首相兼外交大臣表示，荷方願推動兩國開放務實的全面合作夥伴關系不斷發展，将繼續以負責任方式處理對華經貿事宜。

來源：ASML官網、荷蘭衆議院官網