【重點技術】ASML High-NA EUV光刻機取得突破，成功印刷10nm線寬圖案
據外媒4月18日消息，荷蘭阿斯麥 （ASML） 公司宣布，其首台采用0.55數值孔徑 （NA） 投影光學系統的高數值孔徑 （High-NA） 極紫外 （EUV） 光刻機已經成功印刷出首批圖案。這一突破是ASML公司以及整個高數值孔徑EUV光刻技術領域的一項重大裡程碑。
點評：光刻機是半導體産業的重要生産加工裝置之一。近年來，在消費電子需求相對低迷的情況下，電動汽車、風光儲、人工智能等新需求成為半導體産業成長的新動能，全球光刻機産業規模保持穩定增長。資料顯示，2023年，全球半導體裝置出貨金額為1063億美元，其中，光刻機市場占比約為24%。是以，據統計，2023年全球光刻機市場規模在255.12億美元左右，較上年小幅下降1.27%，較2020年增長49.28%。從市場競争格局看，荷蘭阿斯麥（ASML）是全球光刻機制造技術的絕對領先企業，與日本佳能、日本尼康共同占據全球光刻機行業絕大多數市場佔有率，引領産業技術發展。
此次ASML公司宣布的消息意味着，相較于目前13nm分辨率的EUV光刻機，ASML公司配備0.55NA高數值孔徑鏡頭的光刻機裝置能夠實作8nm的超高分辨率，且該技術允許在單次曝光下印刷出尺寸減小1.7倍、半導體密度提高2.9倍的半導體。這标志着全球EUV光刻技術的新階段已經到來。未來，ASML公司将逐漸把高數值孔徑EUV光刻技術系統調試至最佳性能，并且将逐漸把該項技術引入至現實生産環境中，以消除對EUV雙重曝光的需求，進而簡化生産流程、提高産量并降低成本。這将為全球半導體産業發展帶來巨大機遇，同時也說明，未來3nm以下制程晶片的規模化實作可能性将大幅度提升。在此趨勢下，全球半導體市場競争将日益白熱化。
圖1：2020-2023年全球光刻機市場規模變化（機關：億美元）
資料來源：智研咨詢整理
【重點事件】美國政府宣布計劃向三星電子提供超60億美元補貼
當地時間4月15日，美國商務部宣布，美國政府将基于《晶片與科學法》，向三星提供64億美元的直接補貼，支援該公司在得克薩斯州建設半導體工廠及相關設施。據悉，三星将對其位于得州奧斯汀的現有晶圓廠進行擴建，同時在奧斯汀東北方向的泰勒市建立一座晶圓廠、一座先進封裝設施和一座研發設施。
【重點事件】2024年第二屆特色工藝半導體産業發展常州大會隆重舉行
4月18日，2024年第二屆特色工藝半導體産業發展常州大會舉行。市長盛蕾，中國科學院院士郝躍、中國工程院院士吳漢明、國際歐亞科學院院士魏少軍等出席活動。
現場，亦泓科技智能感覺、輕舟微電子MEMS傳感器、浦蘭斯半導體射頻感應制粉裝置、鑄遠智造虛拟傳感器、鳴耀雷射固體雷射器5個項目簽約入駐龍城芯谷。來自西安電子科技大學、常州大學、西科控股等高校和投資機構、領軍企業的6名專家學者、投資人、企業高管獲“引才合夥人”授牌。東南大學可穿戴電子産教融合基地揭牌，基地将圍繞相關産業開展産教融合協同育人，培養更多産業發展急需的緊缺人才和原始創新人才。
【重點事件】浙江大學內建電路學院與芯啟源、芯雲晟建立合作夥伴關系
4月15日，浙江大學內建電路學院與芯啟源電子科技有限公司、芯雲晟電子科技有限公司簽約，正式宣布建立長期戰略合作夥伴關系，旨在打通前沿技術研發關于産業應用端的通路，攻克科研成果産業化難題，形成從技術研發到産品落地的高效雙向循環。
簽約儀式上，“浙江大學內建電路學院-芯啟源-數字仿真與原型驗證聯合實驗室”、“浙江大學內建電路學院-芯雲晟-新一代智算網絡技術聯合實驗室”正式揭牌。
【重點事件】金義新區半導體元器件制造加速器項目開工
4月18日，金義新區舉行半導體元器件制造加速器項目開工儀式。
據悉，該項目總投資15億元，占地面積104.17畝，建築面積21萬平方米，計劃建設7棟主體建築。項目位于集科創研發、高教孵化、智能制造等多功能為一體的金漪湖科技創新策源地，毗鄰金華科技城、金華理工學院，金義快速路近在咫尺，位置優越，交通便捷。
項目建成後，将用于承載半導體元器件科創領域科技成果孵化，實作“孵化器+加速器”功能，進一步拓展新區項目招引的空間，實作築巢引鳳的同時，助力新區信創産業做優做強、建構發展新格局。
【重點事件】能華半導體張家港制造中心（二期）項目動工
4月18日，據張家港市經開區（楊舍鎮）官微消息，能華半導體張家港制造中心（二期）項目在張家港經開區再制造基地正式開工建設。
據悉，能華半導體張家港制造中心（二期）項目總投資6000萬元，規劃建設生産廠房及配套設施，總建築面積約10000平方米，采用先進半導體外延、測試等工藝技術，購置MOCVD、XRD衍射儀、AFM原子力顯微鏡等裝置，建立GaN外延片産線。項目投産後，将形成月産15000片6英寸GaN外延片的生産能力。
資料顯示，江蘇能華微電子科技發展有限公司是主要從事設計、研發、生産和銷售以GaN為代表的複合半導體高性能晶圓、功率器件、晶片和子產品的高新技術企業，擁有包括外延材料、功率晶片和器件、射頻晶圓等行業内最全的産品線，是國内第三代半導體領軍企業。
【重點企業】華虹制造（無錫）項目FAB9主廠房全面封頂
4月20日，華虹制造（無錫）項目FAB9主廠房全面封頂，由四建集團與十一科技聯合體承建，比計劃工期提前30天。
據悉，華虹無錫內建電路研發和制造基地是華虹集團走出上海、布局全國的第一個制造業項目。本工程為二期項目，總建築面積約53萬平方米，将建設一條月産能8.3萬片的12英寸特色工藝生産線。
此前消息顯示，2023年6月8日，華虹集團旗下華虹宏力在無錫高新區啟動實施華虹無錫內建電路研發和制造基地二期項目，投資67億美元。依托華虹半導體多年積累的全球領先特色工藝技術，聚焦車規級晶片，對相關工藝領域進行深入布局和研發，持續提升在新能源汽車、物聯網、新能源、智能終端等領域的應用。
據了解，2017年8月，華虹無錫一期項目落戶無錫高新區。預計一期、二期項目全部達産後月産能将達18萬片，華虹無錫項目将成為國内技術最先進、生産規模最大的12英寸特色工藝研發和制造基地。
【重點企業】鑫華半導體年産10000噸電子級多晶矽項目竣工
4月18日，蒙緣六建釋出消息顯示，内蒙古鑫華半導體科技有限公司10000噸每年高純電子級多晶矽産業叢集項目順利建成，目前已進入試生産階段。
據悉，該項目位于内蒙古呼和浩特市賽罕區金河鎮中環産業園，項目占地面積216450平方米，總建築面積153000平方米，總投資約28億元。建成達産後，可實作向全球客戶長期穩定供應年産高純電子級多晶矽10,000噸産能、電子級二氯二氫矽500噸産能、電子級三氯氫矽3,000噸産能和電子級四氯化矽3,000噸産能，滿足全球半導體市場需求量。
【重點企業】卓銳思創晶片封裝測試項目簽約
4月18日，卓銳思創晶片封裝測試項目在深圳正式簽約。據悉，卓銳思創晶片封裝測試項目計劃總投資約20億元，總占地約60畝，将建設多條新型晶片（28納米）封裝測試生産線，并在清江浦建設國家級實驗室。項目投産後預期産能150KK/月，産值20億/年。
【重點企業】篆芯半導體總部項目落戶蘇州高新區
4月17日，“蘇州高新區釋出”官微宣布，篆芯半導體總部項目簽約落戶蘇州高新區，将加快攻關突破關鍵核心技術，深耕優勢細分領域，為內建電路産業叢集高品質發展增添新動力。
據悉，此次篆芯半導體簽約落戶，将建設成為企業總部，充分發揮研發創新優勢，導入更多高端資源要素，推出更多新技術新産品，達産後預計産值15億元。
據了解，篆芯半導體聚焦具有自主知識産權的高性能網絡晶片及解決方案，面向AI智算、雲計算、營運商等行業客戶需求，緻力于打造領先的全國産、高性能、可程式設計網絡晶片，着力服務融入數字經濟發展。
【重點事件】西安8英寸高性能特色工藝半導體晶片生産線項目實作“交地即交證”
4月19日，西安高新區以“交地即交證”模式向陝西電子芯業時代科技有限公司核發了8英寸高性能特色工藝半導體晶片生産線項目的《土地移交單》和《不動産權證書》。
據悉，8英寸高性能特色工藝半導體晶片生産線項目位于西安高新區綜一路以南、綜三路以北、保八路以東、規劃路以西，總投資45億元，主要建設一條8英寸高性能特色工藝半導體晶片生産線及配套設施，建成後将填補我省8英寸半導體制造領域的空白，預計産值28.5億元。
此前消息顯示，該項目于2022年9月完成項目備案，力争2024年建成投産，建成後該項目将填補陝西省8英寸制造領域的空白。
據了解，西安高新區于2020年底啟動“交地即交證”改革試點工作，保障了一批社會民生項目和産業項目快速推進，為推動重點項目建設注入了動能。
【重點事件】南明新型光電顯示産業鍊項目簽約
4月21日，2024中國産業轉移發展對接活動（貴州）在貴陽開幕。南明區與上海紫骐麟企業管理有限公司簽署南明新型光電顯示産業鍊項目投資合作協定。
根據協定内容，雙方将整合資源優勢，在南明智能制造産業園投資20億元，其中引進外資14.8億元，建設COB燈帶、半導體器件、新型顯示裝置等光電産品生産線。項目部分産品将用于出口，有效帶動外貿發展，建成投産後，預計五年内将累計實作規模以上工業産值不低于164億元，綜合納稅不低于8.2億元，有效引入資金、人才、技術、裝置，進一步推動南明區新型顯示、半導體等産業叢集發展。
【重點企業】傲迪特半導體攜手鼎華智能啟動MES項目
4月15日，傲迪特半導體（南京）有限公司（以下簡稱“傲迪特半導體”）攜手南京鼎華智能系統有限公司（以下簡稱“鼎華智能”）舉行MES項目啟動大會。這一合作将使傲迪特半導體能夠通過生産流程的數字化，快速響應客戶需求，提供定制化服務，保持技術領先優勢。
據悉，傲迪特半導體憑借在半導體及顯示器行業積累的十餘年裝置零部件精密洗淨經驗，以及1000多種零件的生産驗證洗淨技術，專注于為泛半導體領域提供全面的生産裝置污染控制解決方案。此次與鼎華智能的CIM系統合作，旨在通過引入制造執行系統（MES），建構數字化工廠中的房間，實作生産任務過程的全面管控，確定每一張流程卡在工廠内都有完整的數字足迹，進而提升工廠中的房間的透明化和智能化水準。
資料顯示，鼎華智能堅持智能制造為主攻方向，依托先進的工業軟體 MES（制造執行系統）、APS（先進排程）、半導體CIM數字化解決方案等工業軟體以及資料服務，持續為電子半導體、離散制造等行業客戶提供合适的智能工廠數字化解決方案。
【重點企業】新陽矽密完成超億元B輪融資
4月21日，據天眼查APP公布資訊顯示，新陽矽密（上海）半導體技術有限公司（以下簡稱“新陽矽密”）宣布完成B輪超億元融資。該輪融資由國鑫投資領投，上海科創、國貿産業基金跟投。
資料顯示，新陽矽密由上海新陽半導體材料股份有限公司與矽密四新半導體技術（上海）有限公司于2016年4月重組成立，打造了研發中心試驗平台及制造基地，具有完備的研發及生産能力。專注于半導體濕法制程電鍍裝置及相關濕法裝備的研發、生産、銷售及服務，提供成本效益極高的新型全自動電鍍機台。其自主研發裝置包括水準電鍍裝置、化學鍍裝置、清洗/去膠裝置、供液系統等。
【重點企業】康達新材子公司拟2.89億元投建半導體光刻膠光引發劑項目
4月16日，康達新材釋出公告稱，經決議，公司同意控股子公司西安彩晶光電科技股份有限公司投資建設半導體光刻膠核心材料光引發劑技術研究和産業化項目。
公告顯示，半導體光刻膠核心材料光引發劑技術研究和産業化項目拟建設于陝西省西安經濟技術開發區泾渭新城渭華路北段19号，總投資2.89億元，總規模為光引發劑603噸/年。項目可以依托彩晶光電的研發平台和技術基礎，開展半導體光刻膠關鍵材料光引發劑制備技術的理論研究、基礎研究和應用技術研究，形成系統化的技術成果。據了解，目前彩晶光電已掌握TFT液晶面闆正性光刻膠核心原材料光引發劑（PAC）及半導體內建電路光刻膠光引發劑（PAG）的生産技術及工藝，多項産品在目标客戶處進行了性能測試。彩晶光電拟在此基礎上，通過本項目的開展完成産品中試和量産工藝技術研究，并最終形成光引發劑的産業化生産能力。
此次投資旨在深化落實康達新材“新材料+電子科技”戰略布局，進一步優化控股子公司西安彩晶光電的産品結構，填補國内空白，實作國産替代，解決光刻膠核心材料“卡脖子”問題，突破國際技術和市場壟斷，有力提升大陸光刻産業鍊自主可控水準。
【重點技術】大陸研制出世界首個氮化镓量子光源晶片
4月18日，電子科技大學資訊與量子實驗室、天府绛溪實驗室量子網際網路前沿研究中心與清華大學、中國科學院上海微系統與資訊技術研究所合作，在國際上首次研制出氮化镓量子光源晶片，這是電子科技大學“銀杏一号”城域量子網際網路研究平台取得的又一項重要進展，也是天府绛溪實驗室在關鍵核心技術領域取得的又一創新成果。
據悉，研究團隊通過疊代電子束曝光和幹法刻蝕工藝，攻克高品質氮化镓晶體薄膜生長、波導側壁與表面散射損耗等技術難題，在國際上首次将氮化镓材料運用于量子光源晶片。目前，量子光源晶片多使用氮化矽等材料進行研制，與之相比，氮化镓量子光源晶片在輸出波長範圍等關鍵名額上取得突破，輸出波長範圍從25.6納米增加到100納米，并可朝着單片內建發展。
此項研究工作得到國家科技創新2030重大項目、國家自然科學基金、四川省科技計劃等大力支援。近日，以“Quantum Light Generation Based on GaN Microring toward Fully On-Chip Source”為題，發表在國際著名學術期刊《實體評論快報》上，并被選為“實體亮點”進行重點宣傳報道。
據了解，天府绛溪實驗室量子網際網路前沿研究中心聚力攻關量子網際網路領域關鍵核心技術。目前，中心正在加快布局城域量子網際網路、量子人工智能、量子資訊器件等産業方向，大力推動量子賦能新質生産力在政務、金融、醫療、健康等領域的應用落地，堅定厚植量子科技的前沿研究和創新應用。
【重點技術】三星推出專為人工智能應用優化的10.7Gbps LPDDR5X DRAM
4月17日，三星電子宣布已成功開發出業界領先的10.7Gbps LPDDR5X DRAM記憶體，該産品專為滿足日益增長的人工智能應用需求而設計。這款采用12納米級工藝技術的LPDDR5X DRAM，不僅在性能上比上一代産品提高了超過25%，而且在容量上也有了30%以上的提升，同時在能效比上實作了25%的提升。
據悉，這款新一代LPDDR5X DRAM記憶體的單封裝容量被擴充至32GB，這一突破性的進展将極大地滿足端側AI應用對高性能和大容量記憶體的需求。設計亮點在于其能夠根據工作負載頻率調整和優化供電模式，擴充低功耗模式頻段，進而在提高性能的同時，有效降低能耗。這一特性使得新産品在移動裝置電池壽命的提升和伺服器總體擁有成本的降低方面具有顯著優勢。
三星電子記憶體業務部門表示，新産品的推出标志着公司在低功耗、高性能記憶體領域的領先地位得到了進一步鞏固。計劃在完成移動處理器廠商和終端裝置廠商的驗證後，于今年下半年啟動10.7Gbps LPDDR5X DRAM的量産。
【重點事件】國内首台大晶片先進封裝專用光刻機傳遞入廠
4月16日，據廣州産投、越海內建官微消息，由廣東微技術工業研究院組織的“曝光時刻——3D異構晶片封裝技術研讨會”暨國内首台大晶片先進封裝專用光刻機傳遞入廠儀式在廣州市增城區廣東越海內建技術有限公司舉行。
據悉，本次傳遞入廠的國内首台大晶片先進封裝專用光刻機由星空科技自主研制，可以為Chiplet和2.5D/3D大晶片的內建制造提供光刻加工工藝，為助力國産人工智能大晶片集各種功能晶片之大成提供了有力的技術支撐。
而該台光刻機的接收方越海內建，是一家由興橙資本、傳感器集團聯合中國本土經驗最豐富的TSV晶圓級先進封裝團隊主要發起設立控股，并由廣東省、廣州市、增城區三級國資參股的先進封裝企業，總部位于廣州市增城經濟技術開發區核心區，項目計劃總投資約為人民币66億元。
智研咨詢專注産業咨詢十五年，是中國産業咨詢領域專業服務機構。公司以“用資訊驅動産業發展，為企業投資決策賦能”為品牌理念。為企業提供專業的産業咨詢服務，主要服務包含精品行研報告、專項定制、月度專題、可研報告、商業計劃書、産業規劃等。提供周報/月報/季報/年報等定期報告和定制資料，内容涵蓋政策監測、企業動态、行業資料、産品價格變化、投融資概覽、市場機遇及風險分析等。