Intel全球首個訂購ASML最先進EUV光刻機

芯研所1月19日消息，Intel宣布第一個下單訂購ASML TWINSCAN EXE:5200光刻機。TWINSCAN EXE:5200是ASML的高NA（數值孔徑）EUV光刻機，其吞吐量超每小時220片晶圓（wph）。從路線圖來看，EXE:5200預計最快2024年底投入使用，2025年開始大規模應用于先進晶片的生産。

4年前，ASML的第一代高NA（0.55 NA）光刻機EXE:5000，Intel就是第一個下單的公司。不過目前的7nm、5nm晶片還并非是其生産，而是0.33NA EUV光刻機。

芯研所采編

和0.33NA光刻機相比，0.55NA的分辨率從13nm更新到8nm，可以更快更好地曝光更複雜的內建電路圖案，突破0.33NA單次構圖32nm到30nm間距的極限。外界預計，第一代高NA光刻機EXE:5000會率先用于3nm節點，至于EXE:5200，按照Intel的制程路線圖，2025年至少是20A或者18A，也就是5nm和5nm+。

此前，ASML發言人曾對媒體透露，更高的光刻分辨率将允許晶片縮小1.7倍、同時密度增加2.9倍。未來比3nm更先進的工藝，将極度依賴高NA EUV光刻機。Intel能搶到第一單，除了和ASML緊密合作，還因為有着充足的預算。Gartner分析師Alan Priestley稱，0.55NA下一代EUV光刻機單價将翻番到3億美元（約合19億元人民币）。

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