對于晶圓廠來說，最重要的裝置就是光刻機，而現在EUV光刻機已經被ASML所壟斷，同時想要從事先進制程晶片的制造，首先就要采用EUV光刻機。考慮到EUV光刻機的産能有限，是以各大晶圓廠商都希望能夠第一時間入手最新一代的光刻機，進而提升自家晶圓的産能，而這也是這些晶圓代工廠商實力的體驗。其中EUV光刻機的重要客戶就是台積電、英特爾以及三星，其中台積電以及三星目前都從事晶圓代工業務，英特爾的代工業務還沒有正式開始，是以大部分的EUV裝置都進入了台積電以及三星之手。當然英特爾也正不斷地采購EUV光刻機，以滿足先進制程晶圓的制造。
最近有外媒的編輯受邀參觀英特爾在俄勒岡州的D1X工廠，并且在其中發現了英特爾采購的幾台EUV光刻機，當然EUV光刻機的具體數量，該媒體的編輯并沒有透露，畢竟這屬于商業機密了。之前英特爾已經表示已經引入了一批EUV裝置，不過在愛爾蘭晶圓制造廠，而愛爾蘭的這家晶圓制造廠未來可以從事Intel 4制程晶圓的制造。換句話說就是傳統的7nm制程工藝，自然需要使用最新的EUV光刻機，預計在2024年的14代酷睿處理器上，大家就可以看到基于英特爾EUV光刻機打造的Intel 4工藝制程。
除此之外，英特爾之前也表示将會在晶圓代工領域發力，是以EUV光刻機的大量應用還是可以有效地提升先進制程晶片的産能的。