19億元，這是如今全球最貴電子裝置的價格，它就是全球最大的光刻機供應商ASML先手的NA 0.55高數值孔徑EUV光刻機的價格，而購買者則是大名鼎鼎的英特爾。
在目前NA 0.33的EUV光刻機中，英特爾動作慢了，被台積電、三星搶先，是以，在下一代NA 0.55的EUV光刻工藝中，英特爾不允許同樣的錯誤再次發生，這一次要搶先三星台積電下單，也會搶先量産20A及18A工藝，首次進入埃米級工藝節點。
基于此，4年來英特爾實際上已經下單了6台NA 0.55的EUV光刻機，其中分為兩種，Twinscan Exe:5000系列主要用于工藝研發，産能輸出是185WPH，每小時生産185片晶圓，2023年上半年傳遞。量産型的NA 0.55光刻機是Twinscan Exe:5200，産能提升到200WPH，每小時200片晶圓，預計會在2024年下線。
(7858160)