南大光電：ArF光刻膠在多個技術節點同時認證，尚未涉及14nm技術節點

集微網消息，1月7日，南大光電在投資者互動平台表示，目前ArF光刻膠在多個技術節點同時認證，尚未涉及14nm技術節點。

南大光電還表示，目前公司MO源和電子特氣産品訂單處于飽和狀态。ArF光刻膠可以用于 90nm-14nm 技術節點的內建電路制造技術。公司目前研發的産品包含幹式光刻膠和浸沒式光刻膠。

MO源方面，公司除了在MO源2.0研發方面取得進展外，在高純、低矽低氧三甲基鋁方面加大研發力度，也取得了關鍵性的進展，為MO源業務從LED向IC、新能源行業的更新轉型奠定基礎。前驅體方面，除了有客制産品的研發和産業化外，還要将去年從杜邦集團買入的矽前驅體專利進行研發和産業化，目前進展順利。

電子特氣方面，最新更新的超高純砷烷産品品質在下遊客戶的測試中已超過目前國際先進同行的技術水準，超高純磷烷産品進入國際一流制程的晶片企業，标志着公司氫類電子特氣已躍居世界前列。混氣方面的研發進展也比較好，正在積極應對新能源産業和半導體行業更新需求。

據悉，光刻膠業務品控裝置方面，南大光電購買了一些檢測裝置，包括光刻機，也用于檢測光刻膠，屬于光刻性能的檢測，這是品質管控的一部分。對于其他的像純度、顆粒度檢測這塊，南大光電做的是特種電子材料，我們過去已經有很深的技術基礎。人員配備方面，為了更好地與客戶溝通，我們聘請了具備豐富經驗的光刻工程師，來管理光刻膠的品質控制部分。 光刻膠原材料方面，我們南大光電的強項就是做合成，是以具備合成單體的能力。部分單體在國内一些企業已經産業化了，不屬于卡脖子的材料，我們直接購買國内的；對于一些特殊的、高技術含量的關鍵單體，由我們自己設計、合成制備。是以可以說，制備光刻膠的單體都已經實作了本土化。

（校對/Andy）