光刻機巨頭ASML稱仍未獲得向中國出口最新光刻機許可

據路透社報道，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）的首席執行官彼得·維尼克于1月19日表示，截至目前該公司仍未獲得向中國出口用于制造晶片的最新光刻機的許可。

【組裝中的ASML光刻機】

阿斯麥是光刻系統的主要制造商，光刻系統主要用于制造晶片。據此前報道，在美國政府的壓力下，荷蘭政府拒絕授予阿斯麥出口這些機器的許可，理由是這些機器被認為是具有軍事用途的“兩用”商品。

據此前報道，在2020年三季度财報釋出後，阿斯麥的執行副總裁和CFO羅傑·達森（Roger Dassen）接受采訪稱，如果阿斯麥從荷蘭向中國客戶銷售DUV（深紫外線）光刻系統，是不需要出口許可證的。但如果向中國客戶直接出口涉及美國方面的零部件及系統，按照美國要求，就必須獲得出口許可。這意味着，比DUV更先進的EUV（極深紫外線）光刻機的确不能直接賣給中國。

阿斯麥計劃2022年将其生産能力提高到55台EUV光刻裝置，到2023年達到每年超過60台。相比之下，該公司2020年生産了35台EUV光刻機。

彼得·維尼克表示，他認為中國目前不太可能獨立掌握頂級光刻技術，因為阿斯麥依賴于"不懈的創新"，并整合了隻有非中國供應商才能獲得的元件。

他同時表示，中國并非永遠無法掌握頂級光刻技術。他說，“因為我們所知道的實體定律，中國人也知道，他們一定會努力去掌握這項技術。永遠不要說得太絕對。他們肯定在嘗試。”

據2021财年二季度财報顯示，阿斯麥前三大裝置出貨地分别是南韓（占比39%）、中國台灣（占比36%）、中國大陸（占比17%），當季該公司一共出貨72套光刻系統（包括9台EUV）。