全球市占率37%，中國光刻機巨頭拟A股上市？

作為國内幾乎是唯一的光刻機整機廠商，上海微電子裝備(集團)股份有限公司（SMEE，下稱“上海微電子”）IPO有了新動态。

近日，中信建投披露關于上海微電子裝備（集團）股份有限公司首次公開發行股票并上市輔導工作進展情況報告（第十期），指出上海微電子裝備（集團）股份有限公司（簡稱“上海微電子”）拟申請在中華人民共和國境内首次公開發行股票并上市。中信建投作為輔導機構。

據公開資料，上海微電子裝備 ( 集團 ) 股份有限公司成立于 2002 年 3 月，是目前中國第一家也是唯一一家光刻機巨頭，具備 90nm 及以下的晶片制造能力。光刻機産品注冊商标于 2006 年 4 月獲得國家工商局準許，首台先進封裝光刻機産品為 SSB500/10A，2009 年 12 月傳遞使用者。

光刻機被稱之為 " 現代光學工業之花 "，想要制造出一台光刻機器，難度極其高，流程極其複雜。光是制作出一台光刻機，零配件就多達 5 萬個。将它們組裝到一起，要耗費巨大的财力、人力、物力。也正是因為如此，在研制光刻機領域，許多國家都因為太過于困難而選擇了放棄。而上海微電子，在大陸的光刻機制造領域，它打破了零的記錄，成為了唯一一家制造廠商。

據公開資料，上海微電子是國内唯一一家掌握設計，內建整機光刻機的制造商，在前道光刻機領域實作了 90nm 制程光刻機量産。後道封裝領域實力更為突出，可滿足國内大部分客戶在成熟制程領域的需求。上海微電子光刻機出貨量此前已占到國内市場佔有率超過 80%，在我們國家的半導體産業發展當中，上海微電子起到了極其重要的作用。

圖：上海微電子公司官網光刻機産品系列

據上海微電子最新釋出的2024年人才招聘計劃介紹，公司近年營業收入複合增長率為33%，申請專利數共計3900項，獲得授權2800項，研發碩博占比70%。

上海微電子産品市場優勢主要展現在其後道封裝光刻機領域。據上海微電子介紹，該公司先進封裝光刻機在全球市場的市占率為37%，在中國大陸市場的占有率高達85%。此外，公司LED系列光刻機全球市占率55%。

今年9月，上海微電子IC光刻機中标珠海天成先進半導體科技有限公司光刻機采購，然而中标裝置依然為後道光刻機。

據華金電子孫遠峰團隊同步釋出的研究報告，光刻機為先進封裝必要裝置之一，相比前道光刻機用于晶片的制造，曝光工藝極其複雜，後道光刻機主要用于封裝測試，實作高性能的先進封裝，技術難度相對較小。

後道封裝光刻機方面，2022年2月，上海微電子推出中國第一台2.5D/3D先進封裝光刻機，并且正式傳遞客戶。

上海微電子董事長幹頻曾在緻辭中表示，本次發運的國内首台2.5D/3D先進封裝光刻機，是量産封裝光刻機的一次全面更新，具有更高分辨率、更高套刻精度、更大曝光面積，将助力客戶實作晶片的異構內建，以相對較低的成本實作晶片系統的性能提升。

在前道光刻技術方面，上海微電子目前已可量産90nm的光刻機。據中航證券電子團隊9月釋出的研報，該公司目前最先進的裝置為SSA600/20步進掃描投影光刻機，采用ArF光源，4倍縮小倍率的投影物鏡，高速高精的自減振六自由度工件台掩模台技術，可滿足IC前道制造90nm光刻工藝要求。

上海微電子今年7月接受清華高校調研時，公司人士表示，其28nm光刻機也有望取得突破。據了解，此前外界曾流傳上海微電子28nm光刻機推出時間為2021年，但類似的“小作文”幾乎每年一個時間版本，新版的釋出時間節點将會是在2023年底，該消息從未被公司确證。

“國内前道光刻機研發相比外國起步約晚50年左右，前道光刻機對于精度要求很高，制造難度遠遠高于後道光刻機等其他類型的光刻機，世界上隻有少數企業可以生産。”上述公司人士表示，上海微電子在被列入名單之前就已經受到了一些限制，比如某些仿真軟體很難買到，于是公司就開始嘗試自己開發替代品，産品精度與技術先進的公司進行對标，直到達到他們的精度，以此來逐漸降低對西方仿真軟體的依賴。