全球市占率37%，中国光刻机巨头拟A股上市？

作为国内几乎是唯一的光刻机整机厂商，上海微电子装备(集团)股份有限公司（SMEE，下称“上海微电子”）IPO有了新动态。

近日，中信建投披露关于上海微电子装备（集团）股份有限公司首次公开发行股票并上市辅导工作进展情况报告（第十期），指出上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称“上海微电子”）拟申请在中华人民共和国境内首次公开发行股票并上市。中信建投作为辅导机构。

据公开资料，上海微电子装备 ( 集团 ) 股份有限公司成立于 2002 年 3 月，是目前中国第一家也是唯一一家光刻机巨头，具备 90nm 及以下的芯片制造能力。光刻机产品注册商标于 2006 年 4 月获得国家工商局批准，首台先进封装光刻机产品为 SSB500/10A，2009 年 12 月交付用户。

光刻机被称之为 " 现代光学工业之花 "，想要制造出一台光刻机器，难度极其高，流程极其复杂。光是制作出一台光刻机，零配件就多达 5 万个。将它们组装到一起，要耗费巨大的财力、人力、物力。也正是因为如此，在研制光刻机领域，许多国家都因为太过于困难而选择了放弃。而上海微电子，在大陆的光刻机制造领域，它打破了零的记录，成为了唯一一家制造厂商。

据公开资料，上海微电子是国内唯一一家掌握设计，集成整机光刻机的制造商，在前道光刻机领域实现了 90nm 制程光刻机量产。后道封装领域实力更为突出，可满足国内大部分客户在成熟制程领域的需求。上海微电子光刻机出货量此前已占到国内市场份额超过 80%，在我们国家的半导体产业发展当中，上海微电子起到了极其重要的作用。

图：上海微电子公司官网光刻机产品系列

据上海微电子最新发布的2024年人才招聘计划介绍，公司近年营业收入复合增长率为33%，申请专利数共计3900项，获得授权2800项，研发硕博占比70%。

上海微电子产品市场优势主要体现在其后道封装光刻机领域。据上海微电子介绍，该公司先进封装光刻机在全球市场的市占率为37%，在中国大陆市场的占有率高达85%。此外，公司LED系列光刻机全球市占率55%。

今年9月，上海微电子IC光刻机中标珠海天成先进半导体科技有限公司光刻机采购，然而中标设备依然为后道光刻机。

据华金电子孙远峰团队同步发布的研究报告，光刻机为先进封装必要设备之一，相比前道光刻机用于芯片的制造，曝光工艺极其复杂，后道光刻机主要用于封装测试，实现高性能的先进封装，技术难度相对较小。

后道封装光刻机方面，2022年2月，上海微电子推出中国第一台2.5D/3D先进封装光刻机，并且正式交付客户。

上海微电子董事长干频曾在致辞中表示，本次发运的国内首台2.5D/3D先进封装光刻机，是量产封装光刻机的一次全面升级，具有更高分辨率、更高套刻精度、更大曝光面积，将助力客户实现芯片的异构集成，以相对较低的成本实现芯片系统的性能提升。

在前道光刻技术方面，上海微电子目前已可量产90nm的光刻机。据中航证券电子团队9月发布的研报，该公司目前最先进的设备为SSA600/20步进扫描投影光刻机，采用ArF光源，4倍缩小倍率的投影物镜，高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm光刻工艺要求。

上海微电子今年7月接受清华高校调研时，公司人士表示，其28nm光刻机也有望取得突破。据了解，此前外界曾流传上海微电子28nm光刻机推出时间为2021年，但类似的“小作文”几乎每年一个时间版本，新版的发布时间节点将会是在2023年底，该消息从未被公司确证。

“国内前道光刻机研发相比外国起步约晚50年左右，前道光刻机对于精度要求很高，制造难度远远高于后道光刻机等其他类型的光刻机，世界上只有少数企业可以生产。”上述公司人士表示，上海微电子在被列入名单之前就已经受到了一些限制，比如某些仿真软件很难买到，于是公司就开始尝试自己开发替代品，产品精度与技术先进的公司进行对标，直到达到他们的精度，以此来逐步降低对西方仿真软件的依赖。