湖南日報全媒體記者 王銘俊
通訊員 張星 嚴婧 馮冠華
2月10日上午，中國電子科技集團公司第四十八研究所（以下簡稱“四十八所”）半導體裝備批量制造廠房内，20餘台立式和卧式高溫爐管裝備顯示器上，各種參數不停地跳動着。
這些高溫爐管裝備是制作內建電路的關鍵裝備之一。
“內建電路有多重要？如果把晶片比作一本書，那麼半導體就是制作這些書的原材料，而內建電路便是書上的文字和圖案。”
制作內建電路，也就像“給晶片刻下不同的文字、繪上不同的圖案”。四十八所進階工程師鞏小亮告訴記者，由四十八所研制的裝備，現已服務于制作內建電路過程中超過半數的工序。
“我們正由傳統的單一科研模式轉型為科研和生産并重的新型研發模式。”走進明亮潔淨的廠房，四十八所所長王平自豪地指向并排林立的批量裝備，“以往做科研攻關，我們隻需要研發出1台或者2台這樣的裝置。進入量産階段後，我們不僅開發裝置，而且摸索出成熟工藝傳遞使用者，今年就将出貨100台以上。”
“嘀嘀嘀……”一台卧式擴散爐自檢系統發出蜂鳴提示。卧式爐管裝置課題組組長黃志海通過裝置自檢顯示屏上的彈幕提示，迅速找到工藝模拟異常部位，随之按照彈出的故障排查操作提示進行操作。不到一分鐘，裝置便恢複正常運作。類似設計，可以簡單便捷地幫助使用者現場排查并解決故障。
科研與生産互相反哺。“我們近600名從業人員，每天都在精進着各種細小的技術，努力鍛造新裝備、新産品。”王平介紹，在半導體裝備批量制造廠房内進行組裝和反複調試後，打上了湖南印記的高溫爐管、磁控濺射沉積裝置等內建電路關鍵裝備，将運往國内的主要晶片制造企業。
1964年，四十八所在長沙成立。風雨近60載，已發展成為國家第三代半導體技術創新中心（湖南）的牽頭機關。
[責編:萬枝典]
[來源:湖南日報·新湖南用戶端]
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