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堪比光刻機!刻蝕機,半導體裝置的國産替代曙光

堪比光刻機!刻蝕機,半導體裝置的國産替代曙光

作者/星空下的烤包子

編輯/菠菜的星空

排版/星空下的炒肝

要說去年科技圈什麼詞能上熱搜,那一定是卡脖子,尤其是在以高精尖著稱的半導體行業。

想要莊稼成熟,總得先有鋤頭;想要美味佳肴,總得先有廚具。而半導體行業的鋤頭、廚具,可就沒那麼容易獲得了。

荷蘭ASML與中芯國際(00981)關于光刻機的故事,因燈塔國的介入鬧得沸沸揚揚。抛光機與離子注入裝置則被美國人所壟斷。就連中國軍團最引以為豪的半導體測試封裝工藝,其裝置也得看德國人的臉色。

半導體裝置的制造,真的就那麼難嗎?當然,也不是沒有一絲絲希望,至少在刻蝕機領域,我們還有中微公司(688012)和北方華創(002371)這樣的半導體英雄,在政策、資本、人才三位一體,全方位的支援下,努力向着全面國産替代的道路進發。

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刻蝕機實物圖

一、刻蝕機,重要性不言而喻

刻蝕機這個詞乍一聽比較陌生,筆者給你做個比喻你就明白了。我們說從矽片到晶片的過程,就好比将一張紅紙雕刻成窗花的過程,光刻機在其中扮演着畫花樣的鉛筆。刻蝕機就是沿着花樣,雕刻出窗花的那一把剪刀。

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晶圓加工過程(《半導體制造技術》)

是以,光刻的精度直接決定了元器件刻畫的尺寸,而刻蝕的精度則決定了光刻的尺寸能否真正進行實際加工,兩個環節在半導體的制造環節同樣重要。哪個環節拖了後腿,最終都會影響到半導體的制程和産品良率。

而為了保證刻蝕的精度,目前的刻蝕技術主要是幹法刻蝕,即主要用等離子體進行刻蝕。因為刻蝕機的重要性,目前已經成為全部半導體裝置中銷售額最大的一個(略高于光刻機),成為皇冠上的那一顆明珠。

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內建電路各類裝置銷售額占比(頭豹研究院)

2020年,全球半導體裝置市場規模創700億美元新高,中國大陸第一次占比全球第一,産業加快向中國轉移。刻蝕裝置的市場超過了130億美元。未來随着5G基礎建設的大規模鋪開,以及伺服器雲計算的普及,相關晶片的需求将保持周期性向上增長的态勢。根據各研究機構給出的資料,三年後全球刻蝕機的市場規模将達到150億美元,接近1000億人民币,又一個千億級别的市場即将誕生。

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刻蝕市場規模預測(中微公司公告)

二、前路漫漫,但信心滿滿

縱覽一下刻蝕機細分賽道的競争情況,你就會發現,寡頭壟斷是最鮮明的特征。泛林半導體、應用材料和東京電子,這三家吃掉了超過90%的蛋糕。這樣成熟的市場格局,也是經曆了多輪行業洗牌後才出現的。

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全球刻蝕機市場佔有率(SEMI)

據筆者粗略統計,在上個世紀80年代的時候,全球至少還有20家刻蝕裝置生産商,當時應用材料占據着市場頭名的寶座,但泛林和東京電子後發制人,在90年代憑借着新一代的感性耦合等離子體技術(ICP,等離子密度高,獨立控制離子密度和能量),逐年提升市場佔有率,在94年的時候首次摘得市占率第一的位置,奠定了刻蝕産品龍頭的地位,之後的近30年時間裡,泛林半導體再也沒有讓應用材料追上自己,反倒是自己的王位越做越穩固。

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兩種主要等離子幹法刻蝕技術的對照

可以說,泛林半導體憑借着對下一代刻蝕技術的精準把握,實作了彎道超車。此時此刻,筆者想起了隔壁光刻機裝置的賽道上,佳能和索尼的故事。

曆史,總是驚人的相似。

都說打江山容易,守江山難。在刻蝕機這條賽道上,筆者認為,護城河一旦建立,剩下的就是躺赢。

說了這麼多,再來看看國内為數不多的玩家。值得稱贊的是,中微公司和北方華創作為後起之秀,部分技術水準和應用領域已達國際同類産品标準。中微公司的刻蝕機已應用于全球最先進的7nm和5nm生産線。據統計,2019年我國在刻蝕領域國産化率達18%,有理由相信,未來這個數字還會提升。

那麼你可能會問,我國的玩家,怎麼就突破了國外形成的寡頭壟斷局面,實作突圍了呢?筆者簡要認為有三個原因:

1.人才是科技創新的第一資源。2004年60歲高齡的尹志堯,憑借着半導體行業多年的深耕,回國創立中微公司,2007年就成功研制了首台容性耦合等離子體(CCP)刻蝕裝置。像尹志堯這樣的人才,在那時還有很多,比如中芯國際的張汝京,兆易創新(603986)的朱一明,都是為國内半導體事業做出了突出貢獻;

2.資本為技術的開花結果提供了肥沃的土壤。比如先前的國家大基金和科創闆,到如今的北交所,都為半導體初創企業保駕護航。據筆者了解,中微公司應該是國家半導體大基金第一個投資标的,2014年就拿到4.8億人民币的投資。半導體這個行業,錢不是萬能的,沒有錢是萬萬不能的。國際半導體巨頭泛林半導體每年投入超10億美元用于研發(占營收14%),就可窺見一斑;

3.單絲不成線,孤木不成林。一個行業的發展,單點突破肯定是不夠的,要産業鍊玩家上下遊齊發力,才有突破壟斷的希望,類比動力電池、光伏等行業,都是這麼走過來的。當然,半導體裝置難度更大,需要走的路更長。舉個栗子,2016年成立的長江存儲,是自行研發3D NAND存儲器的IDM企業(整合元件制造商)。長江存儲為中國刻蝕機裝置廠商提供支援,中微公司和北方華創兩者的刻蝕機占據了總招标數的17%。是以,上下遊互相綁定,絕對是雙赢的結果。

三、正視差距,才能奮起反擊

首先,從刻蝕機玩家的回報水準上看,我們和國際三大巨頭還有這一定的差距,海外龍頭回報水準基本在中微、華創的5-6倍。

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各半導體裝置商回報資料(塔堅研究)

如果按照杜邦三分法進行拆分,筆者看了一下,回報的差異主要差距在兩個方面:

1.銷售淨利率。中微、華創的淨利率處于10%左右的水準,而這個資料在海外巨頭的報表中顯示的是20%左右。畢竟,高高的護城河就在那裡,城内的人,雖然談不上高枕無憂,但是有很大的話語權;

2.總資産周轉率。應用材料和泛林半導體的周轉率在0.79次,而華創隻有0.34。說明啥?國内的玩家會通過放寬裝置使用驗證期來吸引下遊的客戶,是以大量銷售裝置處在客戶驗證的階段,這部分裝置将作為存貨入賬,拉高存貨的同時,拉低了周轉率。

盡管如此,中國刻蝕裝置真正起步是在一批海外人才歸國創業的21世紀開端,用了不到20年的時間,已經在某些裝置型号實作了突破,打破了國外技術的壟斷和封鎖。這已經是相當難得的事情了。我們往往認為,從0-1的步驟不易,1-10的相對有迹可循,對中國半導體裝置供應商來說,未來是充滿希望的。

注:本文不構成任何投資建議。股市有風險,入市需謹慎。沒有買賣就沒有傷害。

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