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堪比光刻机!刻蚀机,半导体设备的国产替代曙光

堪比光刻机!刻蚀机,半导体设备的国产替代曙光

作者/星空下的烤包子

编辑/菠菜的星空

排版/星空下的炒肝

要说去年科技圈什么词能上热搜,那一定是卡脖子,尤其是在以高精尖著称的半导体行业。

想要庄稼成熟,总得先有锄头;想要美味佳肴,总得先有厨具。而半导体行业的锄头、厨具,可就没那么容易获得了。

荷兰ASML与中芯国际(00981)关于光刻机的故事,因灯塔国的介入闹得沸沸扬扬。抛光机与离子注入设备则被美国人所垄断。就连中国军团最引以为豪的半导体测试封装工艺,其设备也得看德国人的脸色。

半导体设备的制造,真的就那么难吗?当然,也不是没有一丝丝希望,至少在刻蚀机领域,我们还有中微公司(688012)和北方华创(002371)这样的半导体英雄,在政策、资本、人才三位一体,全方位的支持下,努力向着全面国产替代的道路进发。

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刻蚀机实物图

一、刻蚀机,重要性不言而喻

刻蚀机这个词乍一听比较陌生,笔者给你做个比喻你就明白了。我们说从硅片到芯片的过程,就好比将一张红纸雕刻成窗花的过程,光刻机在其中扮演着画花样的铅笔。刻蚀机就是沿着花样,雕刻出窗花的那一把剪刀。

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晶圆加工过程(《半导体制造技术》)

因此,光刻的精度直接决定了元器件刻画的尺寸,而刻蚀的精度则决定了光刻的尺寸能否真正进行实际加工,两个环节在半导体的制造环节同样重要。哪个环节拖了后腿,最终都会影响到半导体的制程和产品良率。

而为了保证刻蚀的精度,目前的刻蚀技术主要是干法刻蚀,即主要用等离子体进行刻蚀。因为刻蚀机的重要性,目前已经成为全部半导体设备中销售额最大的一个(略高于光刻机),成为皇冠上的那一颗明珠。

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集成电路各类设备销售额占比(头豹研究院)

2020年,全球半导体设备市场规模创700亿美元新高,中国大陆第一次占比全球第一,产业加快向中国转移。刻蚀设备的市场超过了130亿美元。未来随着5G基础建设的大规模铺开,以及服务器云计算的普及,相关芯片的需求将保持周期性向上增长的态势。根据各研究机构给出的数据,三年后全球刻蚀机的市场规模将达到150亿美元,接近1000亿人民币,又一个千亿级别的市场即将诞生。

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刻蚀市场规模预测(中微公司公告)

二、前路漫漫,但信心满满

纵览一下刻蚀机细分赛道的竞争情况,你就会发现,寡头垄断是最鲜明的特征。泛林半导体、应用材料和东京电子,这三家吃掉了超过90%的蛋糕。这样成熟的市场格局,也是经历了多轮行业洗牌后才出现的。

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全球刻蚀机市场份额(SEMI)

据笔者粗略统计,在上个世纪80年代的时候,全球至少还有20家刻蚀设备生产商,当时应用材料占据着市场头名的宝座,但泛林和东京电子后发制人,在90年代凭借着新一代的感性耦合等离子体技术(ICP,等离子密度高,独立控制离子密度和能量),逐年提升市场份额,在94年的时候首次摘得市占率第一的位置,奠定了刻蚀产品龙头的地位,之后的近30年时间里,泛林半导体再也没有让应用材料追上自己,反倒是自己的王位越做越稳固。

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两种主要等离子干法刻蚀技术的对照

可以说,泛林半导体凭借着对下一代刻蚀技术的精准把握,实现了弯道超车。此时此刻,笔者想起了隔壁光刻机设备的赛道上,佳能和索尼的故事。

历史,总是惊人的相似。

都说打江山容易,守江山难。在刻蚀机这条赛道上,笔者认为,护城河一旦建立,剩下的就是躺赢。

说了这么多,再来看看国内为数不多的玩家。值得称赞的是,中微公司和北方华创作为后起之秀,部分技术水平和应用领域已达国际同类产品标准。中微公司的刻蚀机已应用于全球最先进的7nm和5nm生产线。据统计,2019年我国在刻蚀领域国产化率达18%,有理由相信,未来这个数字还会提升。

那么你可能会问,我国的玩家,怎么就突破了国外形成的寡头垄断局面,实现突围了呢?笔者简要认为有三个原因:

1.人才是科技创新的第一资源。2004年60岁高龄的尹志尧,凭借着半导体行业多年的深耕,回国创立中微公司,2007年就成功研制了首台容性耦合等离子体(CCP)刻蚀设备。像尹志尧这样的人才,在那时还有很多,比如中芯国际的张汝京,兆易创新(603986)的朱一明,都是为国内半导体事业做出了突出贡献;

2.资本为技术的开花结果提供了肥沃的土壤。比如先前的国家大基金和科创板,到如今的北交所,都为半导体初创企业保驾护航。据笔者了解,中微公司应该是国家半导体大基金第一个投资标的,2014年就拿到4.8亿人民币的投资。半导体这个行业,钱不是万能的,没有钱是万万不能的。国际半导体巨头泛林半导体每年投入超10亿美元用于研发(占营收14%),就可窥见一斑;

3.单丝不成线,孤木不成林。一个行业的发展,单点突破肯定是不够的,要产业链玩家上下游齐发力,才有突破垄断的希望,类比动力电池、光伏等行业,都是这么走过来的。当然,半导体设备难度更大,需要走的路更长。举个栗子,2016年成立的长江存储,是自行研发3D NAND存储器的IDM企业(整合元件制造商)。长江存储为中国刻蚀机设备厂商提供支持,中微公司和北方华创两者的刻蚀机占据了总招标数的17%。所以,上下游互相绑定,绝对是双赢的结果。

三、正视差距,才能奋起反击

首先,从刻蚀机玩家的回报水平上看,我们和国际三大巨头还有这一定的差距,海外龙头回报水平基本在中微、华创的5-6倍。

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各半导体设备商回报数据(塔坚研究)

如果按照杜邦三分法进行拆分,笔者看了一下,回报的差异主要差距在两个方面:

1.销售净利率。中微、华创的净利率处于10%左右的水平,而这个数据在海外巨头的报表中显示的是20%左右。毕竟,高高的护城河就在那里,城内的人,虽然谈不上高枕无忧,但是有很大的话语权;

2.总资产周转率。应用材料和泛林半导体的周转率在0.79次,而华创只有0.34。说明啥?国内的玩家会通过放宽设备使用验证期来吸引下游的客户,所以大量销售设备处在客户验证的阶段,这部分设备将作为存货入账,拉高存货的同时,拉低了周转率。

尽管如此,中国刻蚀设备真正起步是在一批海外人才归国创业的21世纪开端,用了不到20年的时间,已经在某些设备型号实现了突破,打破了国外技术的垄断和封锁。这已经是相当难得的事情了。我们往往认为,从0-1的步骤不易,1-10的相对有迹可循,对中国半导体设备供应商来说,未来是充满希望的。

注:本文不构成任何投资建议。股市有风险,入市需谨慎。没有买卖就没有伤害。

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