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浅谈ESD防护设计—GCNMOS(一)

作者:衡丽电子

NMOS主要有两种ESD防护应用:一种是之前讲的GGNMOS,另一种是GCNMOS(Gate Coupling NMOS)。现阶段也已经出现了(Bulk Coupling NMOS),接下来这两种ESD防护器件都会进行讲解。

GCNMOS的工作原理与GGNMOS不同,GGNMOS是利用体寄生三极管的开启进行ESD静电流的泄放通路,而GCNMOS则利用了NMOS器件的沟道作为泄放通道。GCNMOS开启NMOS管的途径有两种:一种是利用静电频率作为触发条件,一种是利用静电压作为触发条件,如图所示。

浅谈ESD防护设计—GCNMOS(一)

图一.电压触发GCNMOS。

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图二.频率触发GCNMOS。

针对component的ESD设计是关注芯片在非正常工作状态下的防护能力。所以片上ESD设计是防止ESD器件对正常工作产生干扰的同时确保在静电来临时能产生ESD静电泄放通道,基于这个核心思想产生了两者耦合方式。

电压触发:

正常工作情况下VDD—VSS的压差小于齐纳或二极管串的导通电压,此时NMOS的栅压为低压,NMOS关断。而当VDD上有ESD电流产生后,这部分电流会集聚在二极管串的阳极或齐纳管的阴极,直到电压足够导通器件。可以把ESD电流类比为水流,ESD电流始终要完成泄流,在泄流前会一直聚集产生电压,直到内部器件击穿产生通路或者ESD防护器件开启产生通路。利用这一特性调整齐纳管或二极管串的导通电压Von,使得VDD<Von<Vbreak down。使二极管开启的电压要大于正常工作电压,小于内部器件的失效电压。

频率触发:

通过RC电路的频率特性,将高频的ESD电流与普通上电的波形进行区分。ESD的波形如图所示,

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图三.HBM波形。

HBM的波形中0~10nm内会存在一个上升沿,到达峰值后,在150ns的时间内衰减至峰值的20%左右,整个ESD脉冲的持续时间大概为1us。为了便于理解及方便系统化设计,将HBM的时域波形转化为频域波形,如图四所示。

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图四.HBM波形的频域。

(这里只是为了便于下文叙述举个例子,真正的变换远比这复杂得多)。HBM波形中能量主要集中在前20ns内,在这个频域范围内变换的正弦波也是我们需要重点关注的,设这个频率范围为ωESD。频率触发的GCNMOS的工作原理是利用RC电路的频率响应特性对ESD波形产生响应。当VDD轨上产生静电波形后,RC部分的等效电路如图五。

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图五.ESD-RC等效电路。

电容的阻抗为1/jωC,则HBM的主要能量集中在高频部分,其等效阻抗较小,电压降主要集中在电阻上,A点电位为高,当电压大于NMOS的阈值电压后,沟道开启,出现从VDD到GND的静电流泄放通道。而当ESD主频结束后,RC的固有响应也会使得NMOS持续开启一段时间,确保NMOS在整个ESD事件中维持开启状态。而当正常上电时,等效电路如图六。

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图六.POWER-ON-RC等效电路。

一般电路的上电速度远低于ESD放电频率,此时电容阻抗较大,电压集中在电容上,A点电位为低,NMOS关断,不会对正常工作产生影响。 目前的设计也有如图二(b)中所示将电容电阻位置对调的,其基本原理与CR相同,不过需要在电路中加一个反相器,而这个反相器不仅能改变电位,同时还能通过改变其结构,提高后一级NMOS的栅压,缩减R和C的面积。

举个例子:

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图七. SRAM ESD power clamp电路图

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图八. SRAM ESD power clamp仿真结果。

这是一种通过SRAM结果实现CR电压修调的例子,其电路图和仿真结果如图7,8所示。可以看出因为SRAM结果的存在,VM2不需要一直维持很高,CR的时间常数τ很低,说明C与R的面积也不需要很大。

目前的GCNMOS电路中也会添加一个shut-down control电路,实现芯片上电后断路或短路GCNMOS的作用。这也是和component ESD的设计思路相关,component ESD的防护场景也只是针对芯片在非使用下的静电。而没有shut-down control可能存在芯片上电后面对system ESD时GCNMOS开启的误触发情况。

GCNMOS相较于GGNMOS的优点是可以有效减低寄生参数的影响,广泛应用于高速场合,但是其面积需求也大,并且不能应用于高压,负压等复杂场合。

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