中国厂商买ASML的光刻机很难，EUV光刻机不能出货给中国厂商，即便是外资在国内的工厂都不行。
主流DUV光刻机出货，例如2000i及后续型号，出货也需要许可，更早期的1980i等型号，则需要等，因为ASML挤压了大量的光刻机订单，产能跟不上。
但2023年底，ASML突然宣布，中国厂商的光刻机订单已经全部交付，大约向国内出货了价值超55亿欧元的设备。
由于大量向中国市场出货光刻机，2023年第三季度，中国成为ASML最大的市场，全年营收更是达到275.59亿欧元，同比增长30.16%，净利润为78.39亿欧元。
一直出货难的ASML，为何突然就向中国厂商交付了所有光刻机订单，原因无非以下几点。
首先，美一直都在修改规则，进一步限制出货，尤其是三方协议签订后，进一步限制ASML出货主流的DUV光刻机，荷兰也宣布将配合美进行相关半导体产品的出口管制。
这意味着ASML不赶紧出货就没有机会了。
所以ASML获得4个月的许可后，就加速向国内厂商出货光刻机，这些光刻机以早期的1980i等型号为主，可以生产制造14nm及以上工艺的芯片。
但ASML也向国内出货2000i等及后续型号的光刻机，这些光刻机可以用于7/5nm工艺，台积电就用其量产了第一代7nm芯片，并承认可以用于5nm工艺。
其次，中国厂商快速突破，尤其是华为Mate60Pro上市后，麒麟9000s芯片正式浮出水面，证明国内有能力制造先进工艺的芯片，也有能力打造先进的半导体设备。
消息称，国内产业链已经有能力打造DUVi光刻机，可将芯片制程缩小至7nm，很快还将实现非美7nm全流程。
ASML也公开称，华为等自研芯片半导体产业链，是破坏全球产业链的行为，这无疑承认国内已经有先进的光刻机。
在这样的情况下，ASML只能加速向国内出货。
因为国产光刻机已经拿下国内八成市场，先进光刻机大量交付后，必然会影响ASML在国内的市场份额。
最后，先进工艺产能过剩，导致EUV光刻机需求下滑，但中国厂商对光刻机的需求很强劲。
魏哲家都承认，新能源汽车给成熟工艺芯片，带来了巨大的机遇，这个机遇比智能手机还大，而中国是全球最大的新能源汽车产销国。
国内厂商又持续减少进口芯片数量，2023年减少约900亿颗，国产芯片数量快速增长。
中芯国际75%的芯片订单，都来自国内厂商。
这说明越来越多的芯片在国内制造，对光刻机的需求自然是巨大的。
更何况，华为等国内厂商都在想法降低对光刻机依赖，通过优化芯片核心布局，采用超线程技术和先进封装技术等，从而提升芯片性能。
相比之下，芯片进入5nm工艺后，制程工艺的提升，带来的性能提升越来越不明显，成本反而快速升高，导致台积电苹果等巨头难以接受，台积电购买NA EUV光刻机都不积极了。