中國廠商買ASML的光刻機很難，EUV光刻機不能出貨給中國廠商，即便是外資在國内的工廠都不行。
主流DUV光刻機出貨，例如2000i及後續型号，出貨也需要許可，更早期的1980i等型号，則需要等，因為ASML擠壓了大量的光刻機訂單，産能跟不上。
但2023年底，ASML突然宣布，中國廠商的光刻機訂單已經全部傳遞，大約向國内出貨了價值超55億歐元的裝置。
由于大量向中國市場出貨光刻機，2023年第三季度，中國成為ASML最大的市場，全年營收更是達到275.59億歐元，同比增長30.16%，淨利潤為78.39億歐元。
一直出貨難的ASML，為何突然就向中國廠商傳遞了所有光刻機訂單，原因無非以下幾點。
首先，美一直都在修改規則，進一步限制出貨，尤其是三方協定簽訂後，進一步限制ASML出貨主流的DUV光刻機，荷蘭也宣布将配合美進行相關半導體産品的出口管制。
這意味着ASML不趕緊出貨就沒有機會了。
是以ASML獲得4個月的許可後，就加速向國内廠商出貨光刻機，這些光刻機以早期的1980i等型号為主，可以生産制造14nm及以上工藝的晶片。
但ASML也向國内出貨2000i等及後續型号的光刻機，這些光刻機可以用于7/5nm工藝，台積電就用其量産了第一代7nm晶片，并承認可以用于5nm工藝。
其次，中國廠商快速突破，尤其是華為Mate60Pro上市後，麒麟9000s晶片正式浮出水面，證明國内有能力制造先進工藝的晶片，也有能力打造先進的半導體裝置。
消息稱，國内産業鍊已經有能力打造DUVi光刻機，可将晶片制程縮小至7nm，很快還将實作非美7nm全流程。
ASML也公開稱，華為等自研晶片半導體産業鍊，是破壞全球産業鍊的行為，這無疑承認國内已經有先進的光刻機。
在這樣的情況下，ASML隻能加速向國内出貨。
因為國産光刻機已經拿下國内八成市場，先進光刻機大量傳遞後，必然會影響ASML在國内的市場佔有率。
最後，先進工藝産能過剩，導緻EUV光刻機需求下滑，但中國廠商對光刻機的需求很強勁。
魏哲家都承認，新能源汽車給成熟工藝晶片，帶來了巨大的機遇，這個機遇比智能手機還大，而中國是全球最大的新能源汽車産銷國。
國内廠商又持續減少進口晶片數量，2023年減少約900億顆，國産晶片數量快速增長。
中芯國際75%的晶片訂單，都來自國内廠商。
這說明越來越多的晶片在國内制造，對光刻機的需求自然是巨大的。
更何況，華為等國内廠商都在想法降低對光刻機依賴，通過優化晶片核心布局，采用超線程技術和先進封裝技術等，進而提升晶片性能。
相比之下，晶片進入5nm工藝後，制程工藝的提升，帶來的性能提升越來越不明顯，成本反而快速升高，導緻台積電蘋果等巨頭難以接受，台積電購買NA EUV光刻機都不積極了。