集微網報道 4月27日，證監會釋出消息稱，按法定程式同意華海清科股份有限公司（以下簡稱“華海清科”）科創闆首次公開發行股票注冊申請。
華海清科是一家擁有核心自主知識産權的高端半導體裝置制造商，主要從事半導體專用裝置的研發、生産、銷售及技術服務，主要産品為化學機械抛光（CMP）裝置。CMP 是先進內建電路制造前道工序、先進封裝等環節必需的關鍵制程工藝，公司所生産 CMP 裝置可廣泛應用于 12 英寸和 8 英寸的內建電路大生産線，産品總體技術性能已達到國内領先水準。
華海清科推出了國内首台擁有核心自主知識産權的 12 英寸 CMP 裝置并實作量産銷售，是目前國内唯一一家為內建電路制造商提供 12 英寸 CMP 商業機型的高端半導體裝置制造商；公司所産主流機型已成功填補國内空白，打破了國際巨頭在此領域數十年的壟斷，有效降低了國内下遊客戶采購成本及對國外裝置的依賴，支撐國内內建電路産業的快速發展。
據悉，華海清科核心研發團隊先後承擔、聯合承擔了兩項“國家科技重大專項（02 專項）”及三項國家級重大項目/課題，針對納米級抛光、納米顆粒超潔淨清洗、納米精度膜厚線上檢測、大資料分析及智能化控制等 CMP 裝置核心關鍵技術取得了有效突破和系統布局，打破了國外巨頭的技術壟斷，真正實作了國内市場 CMP 裝置領域的國産替代。
公司研制的CMP裝置産品全面覆寫內建電路制造過程中的非金屬媒體CMP、金屬薄膜 CMP、矽 CMP 等抛光工藝并取得量産應用，高端 CMP 裝置的工藝技術水準已在 14nm 制程驗證中，形成了硬體+技術服務的全方位體系。目前其裝置已廣泛應用于中芯國際、長江存儲、華虹集團、英特爾、長鑫存儲、廈門聯芯、廣州粵芯、上海積塔等國内外先進內建電路制造商的大生産線中。
此外，華海清科以自有 CMP 裝置和自主 CMP 技術為依托，針對下遊客戶生産線控片、擋片的晶圓再生以及裝置關鍵耗材采購、維保等需求，積極拓展晶圓再生業務和關鍵耗材銷售和維保等技術服務業務，報告期内已成功獲得業務訂單并形成小規模銷售。
（校對/Lee）