據傳感器專家網獲悉，12月28日，位于廣州的增芯科技MEMS量産線項目舉行首台生産裝置搬入儀式，本次搬入裝置是由中微半導體裝置（上海）有限公司制造的Primo D-RIE®刻蝕裝置反應台。
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增芯12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量産線建立項目，一期總投資70億元，項目建成後将具備年産24萬片12英寸晶圓的生産能力，産品主要應用于汽車電子、物聯網、類工業、消費電子等領域，是相關領域産品性能表現的決定因素之一。
以下為新聞原稿：
2023年12月28日上午，廣州增芯科技有限公司舉行首台生産裝置搬入儀式，公司董事長陳曉飛出席活動并緻辭，總經理張亮、首席營運官蕭國坤，全體二級以上主管及研發、營運、廠務員工代表以及增城區政府部門上司、區産投集團、甯西街道、項目參建機關、裝置供應商代表，共同現場見證增芯科技這又一裡程碑式的重要時刻。
本次搬入裝置是由中微半導體裝置（上海）有限公司制造的Primo D-RIE®刻蝕裝置反應台，也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生産線項目搬入的首台生産裝置，運用了中微具有自主知識産權的創新技術，是國際主流晶片生産線上必不可少的裝置。該裝置的搬入，是繼項目“920封頂”以來的重要傳遞，标志着增芯項目一期工程土建和機電安裝已經完工，項目由建設期正式轉入營運前的生産準備階段。
陳曉飛董事長首先對莅臨現場的上司和來賓表示熱烈歡迎，他代表增芯感謝政府各部門對于增芯項目建設的大力支援，感謝産投集團、各參建方以及裝置供應商提供的優質服務和保障，感謝增芯全體員工的真心付出。
增城區科工商信局羅明局長、公司首席營運官蕭國坤先生、中微半導體裝置（上海）有限公司副總裁張凱先生分别代表行業主管部門、公司管理層和裝置供應商（戰略合作夥伴）緻辭，對首台生産裝置順利搬入表示熱烈祝賀。
随後，張亮總經理向中建四局、世源設計院、中電四公司頒發“項目優秀承包商獎”，感謝各機關對于項目建設的大力支援和精誠努力。
最後，增芯副總裁、生産營運中心主管徐立介紹了本次搬入刻蝕裝置的性能特點，邀請嘉賓上台共同為運載裝置的車輛揭幕。紅布飛揚，禮花奏響，現場掌聲連綿不絕。
增城區科工商信局、開發區企業服務局、科技創新局、投資促進局、園區發展局、區産投及甯西街相關負責人親臨現場，共同見證這一激動人心的時刻。
本次活動的圓滿成功，标志着增芯正式邁入新起點、新征程。參加活動的增芯員工紛紛表示，将繼續發揮敢想敢幹的精神，保持創“芯”激情，向社會各界展示增芯人求真務實的精神風貌，再接再厲，全力以赴，為早日實作量産持續貢獻增芯力量。