本案例以WO3/W薄膜為例,介紹FDTD中反射率測量的主要過程。軟體版本為Lumerical的FDTD Solutions 2020a。

下面介紹主要步驟:
1. 導入材料
由于WO3材料在FDTD的材料庫中沒有内置,需要自己查找并導入,對于一般材料可以從如下網站中查找相應折射率:
http://www.ioffe.ru/SVA/NSM/nk/
https://refractiveindex.info/
https://refractiveindex.info/
點選Materials,
在彈出的視窗中,點選Add,在彈出的選項框中選擇Sampled 3D data。
點選Import,在Select File中選擇折射率檔案,導入即可。
2. 添加結構
結構添加通過Structures添加,選擇Rectangle,添加WO3薄膜,
設定結構參數,可根據圖中參數進行修改,
材料選擇剛才導入的WO3。
其他兩項設定預設即可,不用修改。
相同的思路,添加W層,WO3是在W上方,是以設定的時候Z方向的數值應契合好。相關設定如下:
3. 設定FDTD Region
點選Simulation,添加FDTD。由于是薄膜結構,X和Y方向是無限延伸的,是以X,Y方向設定成周期性邊界條件,周期性邊界條件的情況下PML可以設定成steep
angle,以提高計算速度。
結構尺寸上按需求設定,X,Y方向沒有特别要求,Z方向最小值應設定在W層中,最大值在WO3上方,同時遠離結構至少半個波長。其他不需要特别修改,預設即可。
4. 添加Mesh
點選Simulation右方的下拉菜單,添加Mesh。模組化設計過程沒有明顯的先後次序要求,Mesh什麼時候設定都可以。網格有兩種添加方案,一是設定Mesh的尺寸,二是基于結構,這裡主要考慮WO3/W薄膜反射率,可以把mesh加到WO3上。
5. 光源設定
點選Sources,加入光源。光源選擇平面波,入射方向設定z負方向。光源尺寸大于FDTD尺寸(如果沒有大于會在仿真時自動拓展),光源放置在結構上方,具體可以對比結構尺寸和光源尺寸檢視。
随後設定入射光波長範圍,這裡設定成0.4~0.9。
6. 螢幕設定
主要設定反射率螢幕。
螢幕類型選擇Frequency-domain field and power。
螢幕選擇Z-normal,XY平面尺寸大于FDTD尺寸,大了無所謂,超出的部分不會記錄資料,主要是設定Z方向的位置。反射率螢幕在光源和FDTD上邊界中間。
在General選項中,點選Set global monitor settings,
Frequency points數量設定為50,這個數值越大,譜線越光滑。
7. 檢查運作記憶體
點選Check,選擇Check simulation and memory requirements,
保證mesh和running
simulation不超過電腦記憶體大小,否則無法計算,需要降低精度才能計算。
8. 運作
上一步檢查沒有問題的話,點選Check旁邊的Run,運作即可,等待運作結束。
一般會提前結束,提前結束的條件是Autoshutoff的數值滿足FDTD中設定的停止條件。
9. 結果分析
右鍵點選R,可以檢視該螢幕平面的電場磁場等資訊,選擇T,檢視反射率資訊。
反射率曲線如下圖所示
另外,FDTD仿真得到的計算結果,也可以導入Matlab中進行進一步的資料處理。
欲将反射光譜導入Matlab,可以在script prompt處輸入以下語句:
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最後,有FDTD仿真相關需求,可以通過微信公衆号聯系我們。
微信公衆号:320科技工作室。