中微公司去年營收增逾36％ 尹志堯“志在巅峰”的底氣在哪

每經記者：朱成祥 每經編輯：陳俊傑

“攀登勇者，志在巅峰”，中微公司（688012，SH；昨日收盤價113.94元/股）董事長尹志堯在公司2021年年報董事長緻辭中寫道。

尹志堯“志在巅峰”的底氣，是中微公司在刻蝕裝置、MOCVD裝置兩大領域齊發力的成果。2021年，中微公司營業收入31.08億元，同比增長36.72%。其中，刻蝕裝置收入20.04億元，同比增長約55.44%。

“今年（2021年）到目前為止，用于3D NAND應用的Primo HD-RIE和用于7納米及以下節點邏輯應用的Primo AD-RIE-e占裝置總出貨量的50%。”中微公司官網介紹。

3D NAND是閃存領域最先進的産品，而7納米及以下節點晶片，世界範圍内也隻有台積電、三星等極少數晶圓廠具備制造能力。

但要注意的是，半導體行業具有一定的周期性特征。中微公司也表示，在行業景氣度提升過程中，産業往往加大資本性支出，快速提升對相關裝置的需求；在行業景氣度下降過程中，産業則可能削減資本支出，進而對裝置的需求産生不利影響。

去年營收超過31億

尹志堯是刻蝕裝置專家，其于1986年加入Lam Research（泛林半導體）并引領了刻蝕技術的發展，同時為一些關鍵産品帶來了解決方案。在成立中微之前，尹志堯在應用材料公司任職13年，曾擔任公司副總裁、等離子體刻蝕裝置産品事業群總經理、亞洲區采購副總裁、應用材料亞洲首席技術官等。

他的職業生涯，與刻蝕裝置分不開。曾任職的兩家公司也是全球前三的刻蝕裝置廠商。根據Gartner 2019年統計資料，泛林半導體、東京電子和應用材料分别占據了全球44.7%、28.0%、18.1%的市場佔有率。

在尹志堯的帶領下，中微公司逐漸成長為國内刻蝕裝置龍頭。在Gartner2019年統計中，中微公司刻蝕裝置全球排名第六，市占率為1.1%。

2021年，中微公司營業收入31.08億元，同比增長36.72%。其中，刻蝕裝置收入20.04億元，同比增長約55.44%，毛利率為44.32%。

中微公司主要産品可分為CCP刻蝕裝置、ICP刻蝕裝置以及MOCVD裝置。

刻蝕裝置技術方面，中微公司相關裝置可用于邏輯晶片先進制程、3D NAND晶片的生産。公司開發的12英寸高端刻蝕裝置已運用在國際知名客戶65納米到5納米等先進的晶片生産線。同時，公司根據先進內建電路廠商的需求，已開發出5納米及更先進刻蝕裝置用于若幹關鍵步驟的加工，并已獲得行業領先客戶的批量訂單。公司目前正在配合客戶需求，開發新一代刻蝕裝置和包括更先進大馬士革在内的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下更多刻蝕需求和更多不同關鍵應用的裝置。

事實上，目前全球能生産5納米及以下先進制程晶片的晶圓廠，唯有台積電、三星。

在3D NAND領域，中微公司電容性等離子體刻蝕裝置可應用于64層和128層的量産，同時公司根據存儲器廠商的需求正在開發新一代能夠涵蓋128層及以上關鍵刻蝕應用以及相對應的極高深寬比的刻蝕裝置和工藝。

此外，中微公司正在進行下一代産品的技術研發，以滿足5納米以下的邏輯晶片、1X納米的DRAM晶片和128層以上的3D NAND晶片等産品的ICP刻蝕需求，并進行高産出的ICP刻蝕裝置的研發。

對于刻蝕裝置業務的發展，尹志堯在董事長緻辭中表示：“公司CCP等離子體刻蝕裝置産品持續保持競争優勢，在國内外一線客戶的邏輯和存儲晶片制造生産線上，包括先進的5納米晶片生産線和下一代的試生産線上，持續提升市場占有率，在部分關鍵客戶市場占有率已進入前三位甚至前二位。”

趕上Mini LED風口

在很多投資者的印象裡，中微公司是刻蝕裝置龍頭。其實，中微公司的MOCVD産品在LED裝置市場也有較大影響力，特别是Mini LED風潮漸起之時。

根據TrendForce集邦咨詢報道，随着Mini LED背光顯示滲透率的提升，以及Mini LED直接顯示逐漸進入商顯等市場，Mini/Micro LED新型顯示帶來的LED外延片需求量将快速增長。

平安證券研報顯示，MOCVD裝置是LED制造的關鍵裝置，采購金額占産線投入的50%以上。2021年被稱為Mini LED元年，GGII統計，年内LED産業鍊超過8成的投資集中于LED顯示尤其是Mini/Micro LED領域，Mini LED産能投資推升了MOCVD需求。

而中微公司，正是MOCVD裝置重要提供商，根據IHS Markit統計，2018年中微公司的MOCVD占據全球氮化镓基LED用MOCVD新增市場的41%；尤其在2018年下半年，中微公司的MOCVD更是占據了全球新增氮化镓基LED MOCVD裝置市場的60%以上。

中微公司于2021年6月釋出了用于高性能Mini LED量産的MOCVD裝置PrismoUniMax，半年内即已收到來自國内多家領先客戶的批量訂單合計超過100腔，并且不斷收到更多的訂單。

3月29日，中微公司又于官方微信号宣布，全資子公司南昌中微半導體裝置有限公司收到兆馳科技52腔MOCVD裝置采購訂單。

作為技術密集型行業，中微公司MOCVD業務的發展離不開人才。中微公司官網顯示，其上司團隊中與MOCVD業務相關的主要有副總裁、南昌中微兼MOCVD中國區總經理季華；副總裁，MOCVD産品部總經理郭世平。

公司官網對季華的描述是“上司中國區團隊積極推進MOCVD裝置銷售服務，在三年内實作爆發式的銷售業務成長，負責南昌中微公司的建立和營運。”

郭世平則主要從事MOCVD裝置的開發和管理工作，具有多年從事化合物半導體材料外延工藝開發、裝置研發及營運的經驗。2006年至2012年，郭世平在美國IQE-RF公司曆任資深研究員，氮化镓部門營運和研發總監，主要從事氮化镓半導體和發光材料MOCVD外延生長的研發和營運工作。

而氮化镓，正是第三代半導體的一種。并且，第三代半導體也是MOCVD裝置的一大應用方向。中微公司表示：“針對化合物半導體功率器件市場應用的快速發展，公司正在開發矽基氮化镓及碳化矽功率器件專用的外延裝置，不斷豐富公司裝置的産品線，強化公司在第三代半導體裝置市場的競争優勢。”

不過，中微公司也提示風險道，近年來，晶圓廠和 LED 外延片制造商審慎地進行擴産。不能排除下遊個别晶圓廠和LED外延片制造商的後續投資不及預期，對相關裝置的采購需求減弱，這将影響公司的訂單量，進而對公司的業績産生不利影響。

每日經濟新聞