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光刻機将成廢鐵?美日荷聯合施壓,800台裝置何去何從?

作者:活的haolei

光刻機訂單被取消,美國壓境荷蘭企業,中國晶片産業面臨挑戰。

近日,美國政府施壓荷蘭半導體裝置制造商阿斯麥(ASML,要求其在出口禁令生效前取消對華光刻機訂單。這一做法引發中國政府強烈不滿,外交部發言人批評美方霸淩行徑違背國際貿易規則。作為全球光刻機領域的領軍企業,阿斯麥在華業務受到嚴重沖擊,未來發展前景蒙上陰影。

半導體晶片是支撐現代科技發展的基石,其制造過程離不開光刻機這一核心裝置。光刻機以精密的光刻工藝在矽片上印制微縮的電路圖形,是晶片制程的關鍵環節。全球光刻機市場長期被少數廠商壟斷,阿斯麥作為荷蘭本土企業,憑借領先的技術在該領域處于領先地位。

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中國作為全球最大的晶片消費國,一直依賴進口滿足國内需求。為實作晶片産業自主可控,中國政府大力扶持國内企業發展,阿斯麥成為重要的合作夥伴。随着中美科技對抗加劇,美國開始濫用國家安全理由,對中國實施嚴厲的技術封鎖。

今年年初,美國政府突然下令阿斯麥取消對華光刻機訂單,理由是防止這些裝置被用于軍事用途。盡管阿斯麥聲稱沒有理由停止為中國客戶提供服務,但最終還是不得不服從美國壓力。這無疑給中國晶片産業發展帶來沉重打擊,也讓阿斯麥在華市場前景蒙上陰影。

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面對美國的極限施壓,中國政府堅決反對,外交部發言人強硬表态,指責美方霸淩行徑嚴重違背國際貿易規則,破壞全球産業鍊供應鍊安全穩定。中方敦促荷蘭政府秉持客觀公正立場,尊重契約精神,維護雙邊企業利益。

美國對阿斯麥施加壓力,令中國晶片産業面臨嚴峻挑戰。長期以來,中國晶片産業高度依賴進口,尤其是光刻機等核心裝置和關鍵技術。一旦供應鍊中斷,國内晶片生産将陷入停滞。

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據不完全統計,目前中國大陸地區共有近800台阿斯麥光刻機,分布于各大晶片制造企業。這些裝置的正常運轉需要阿斯麥提供持維護服務和更換關鍵零部件。一旦無法獲得維修和配件供應,這些光刻機極有可能"報廢"。

更為棘手的是,阿斯麥在其光刻機設計中擁有遠端控制權限,可以遠端關閉裝置。如果美國政府下令,阿斯麥随時可能切斷對在華裝置的支援。屆時,中國晶片制造商将陷入被"卡脖子"的困境。

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面對如此嚴峻形勢,中國政府和企業必須加快國産光刻機發展步伐,盡快實作自主可控。目前,國内在光刻機國産化方面已取得重大進展,上海微電子等企業有望在2023年實作28納米光刻機量産。

28納米工藝與目前主流的7納米以及未來的3納米等先進工藝相比,仍有較大差距。要徹底解決"被卡脖子"困擾,中國必須在極紫外光刻機(EUV等尖端技術上取得突破。

令人欣喜的是,在EUV光刻機領域,中國科研團隊已經取得突破性進展。去年,華為與哈爾濱工業大學聯合攻關,成功研制出國内首台EUV光刻機原理樣機。

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EUV光刻機是晶片制造的最尖端裝置,可将電路線寬縮小至7納米以下,是制造先進晶片的必由之路。長期以來,這一技術被國外壟斷,中國無法自主掌控。

華為和哈工大的突破,标志着大陸在EUV光刻機核心技術上取得重大進展。國産EUV光刻機有望替代進口裝置,助力中國晶片産業實作自主可控。

除了自主研發,中國還在積極拓展國際合作,努力打破技術封鎖。去年,中國與荷蘭簽署半導體合作協定,雙方将在晶片裝置、材料等領域開展廣泛合作。

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中國還與俄羅斯、以色列等國家加強半導體領域合作,努力建構完整的晶片産業生态系統。通過國際合作,中國有望擷取更多先進技術,推動國産晶片産業發展。

雖然美國對華晶片技術封鎖給中國帶來嚴峻挑戰,但也加速了國内自主創新步伐。隻要堅持自力更生、自主創新,中國定能在晶片産業實作自主可控。

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