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光刻机将成废铁?美日荷联合施压,800台设备何去何从?

作者:活的haolei

光刻机订单被取消,美国压境荷兰企业,中国芯片产业面临挑战。

近日,美国政府施压荷兰半导体设备制造商阿斯麦(ASML,要求其在出口禁令生效前取消对华光刻机订单。这一做法引发中国政府强烈不满,外交部发言人批评美方霸凌行径违背国际贸易规则。作为全球光刻机领域的领军企业,阿斯麦在华业务受到严重冲击,未来发展前景蒙上阴影。

半导体芯片是支撑现代科技发展的基石,其制造过程离不开光刻机这一核心设备。光刻机以精密的光刻工艺在硅片上印制微缩的电路图形,是芯片制程的关键环节。全球光刻机市场长期被少数厂商垄断,阿斯麦作为荷兰本土企业,凭借领先的技术在该领域处于领先地位。

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中国作为全球最大的芯片消费国,一直依赖进口满足国内需求。为实现芯片产业自主可控,中国政府大力扶持国内企业发展,阿斯麦成为重要的合作伙伴。随着中美科技对抗加剧,美国开始滥用国家安全理由,对中国实施严厉的技术封锁。

今年年初,美国政府突然下令阿斯麦取消对华光刻机订单,理由是防止这些设备被用于军事用途。尽管阿斯麦声称没有理由停止为中国客户提供服务,但最终还是不得不服从美国压力。这无疑给中国芯片产业发展带来沉重打击,也让阿斯麦在华市场前景蒙上阴影。

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面对美国的极限施压,中国政府坚决反对,外交部发言人强硬表态,指责美方霸凌行径严重违背国际贸易规则,破坏全球产业链供应链安全稳定。中方敦促荷兰政府秉持客观公正立场,尊重契约精神,维护双边企业利益。

美国对阿斯麦施加压力,令中国芯片产业面临严峻挑战。长期以来,中国芯片产业高度依赖进口,尤其是光刻机等核心设备和关键技术。一旦供应链中断,国内芯片生产将陷入停滞。

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据不完全统计,目前中国大陆地区共有近800台阿斯麦光刻机,分布于各大芯片制造企业。这些设备的正常运转需要阿斯麦提供持维护服务和更换关键零部件。一旦无法获得维修和配件供应,这些光刻机极有可能"报废"。

更为棘手的是,阿斯麦在其光刻机设计中拥有远程控制权限,可以远程关闭设备。如果美国政府下令,阿斯麦随时可能切断对在华设备的支持。届时,中国芯片制造商将陷入被"卡脖子"的困境。

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面对如此严峻形势,中国政府和企业必须加快国产光刻机发展步伐,尽快实现自主可控。目前,国内在光刻机国产化方面已取得重大进展,上海微电子等企业有望在2023年实现28纳米光刻机量产。

28纳米工艺与当前主流的7纳米以及未来的3纳米等先进工艺相比,仍有较大差距。要彻底解决"被卡脖子"困扰,中国必须在极紫外光刻机(EUV等尖端技术上取得突破。

令人欣喜的是,在EUV光刻机领域,中国科研团队已经取得突破性进展。去年,华为与哈尔滨工业大学联合攻关,成功研制出国内首台EUV光刻机原理样机。

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EUV光刻机是芯片制造的最尖端设备,可将电路线宽缩小至7纳米以下,是制造先进芯片的必由之路。长期以来,这一技术被国外垄断,中国无法自主掌控。

华为和哈工大的突破,标志着大陆在EUV光刻机核心技术上取得重大进展。国产EUV光刻机有望替代进口设备,助力中国芯片产业实现自主可控。

除了自主研发,中国还在积极拓展国际合作,努力打破技术封锁。去年,中国与荷兰签署半导体合作协议,双方将在芯片设备、材料等领域开展广泛合作。

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中国还与俄罗斯、以色列等国家加强半导体领域合作,努力构建完整的芯片产业生态系统。通过国际合作,中国有望获取更多先进技术,推动国产芯片产业发展。

虽然美国对华芯片技术封锁给中国带来严峻挑战,但也加速了国内自主创新步伐。只要坚持自力更生、自主创新,中国定能在芯片产业实现自主可控。

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