5月14日，财聯社釋出消息【上海光機所在EUV和軟x射線首次實作結構渦旋光調控】
這等于是官宣光刻機裡最重要的核心，極紫外光源被拿下了，國産光刻機研制再沒有障礙。
我們先來看看财聯社的消息原文：
财聯社5月14日電，近期，中國科學院上海光學精密機械研究所高功率雷射實體聯合實驗室張軍勇副研究員聯合哈爾濱工業大學趙永蓬教授課題組和上海理工大學詹其文教授課題組，首次完成EUV和軟x射線的結構渦旋光調控與實驗驗證，為極紫外和軟x射線波段的結構光刻、結構分束調控，和短波超分辨成像開辟了可行的技術途徑。相關成果以“Producing focused extreme ultraviolet vortex with Fermat-spiral photon sieves”為題，發表于PhotoniX。
極紫外光，又稱極端紫外線輻射，它在極端高溫下産生，自然界中它産生于太陽的日冕。但是它卻無法到達地表。因為它有極強的電離能力，無法穿越地球大氣層，隻能在真空裡傳播。
太陽常數1361w/m²，就是說每平方米地球表面接收的太陽能量高達1361瓦，相當于一平米一小時接收1.361度電的能量。但是太陽光中能量極高的極紫外線不能穿透大氣層，是以到地面的太陽能打了折扣 。這也是科學家希望到太空中建設太陽能發電站的原因。
極紫外線人工産生方法條件苛刻。
之前歐美用了10多年的時間進行研究，才最終确立了一個主要的發展方向，得到13.5納米的極紫外光，進而實作光刻，這種光的波長隻有頭發直徑一萬分之一，能量非常大。
要制作功率足夠大的極紫外光，其實是一件極其困難的事情。阿斯麥并不是僅靠自己一家公司就實作的，它的供應商有數千家。
其中最核心的光源部分，大多不是阿斯麥自己的技術。美國Cymer公司（阿斯麥的子公司）負責光源，除此之外，還需要兩家德國公司，其中通快公司的專長是：二氧化碳雷射器，德國蔡司的專長是：生産超級光滑的鏡子。
結合這些高科技含量的技術，最終才能得到極紫外光，并進行光刻。
客觀地說，阿斯麥的EUV光刻機應該是人類有史以來最複雜的裝置了。
極紫外線光刻機對晶片工藝有着決定性的影響。小于5納米的晶片晶圓，隻能用EUV光刻機生産。
目前極紫外線式（EUV）光刻機，全部由阿斯麥掌握核心技術。
具有諷刺意味的是，僅僅在此5天前，美國還在沾沾自喜，認為自己将繼續壟斷高端晶片制造。
5月9日消息，根據美國半導體協會的最新報告，随着美國“晶片法案”的推動，預計到2032年，美國在全球10nm以下先進制程晶片制造中的份額将達到28%，而中國大陸的占比可能僅為3%。美國為中國大陸的9倍。
這份報告的依據就是中國無法突破極紫外線光刻機的制造。哪知道中國人不信邪，反轉來的如此之快。
加油中國！