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中國第一MEMS代工廠宣布,BAW濾波器正式量産!5G通信有望國産?

作者:傳感器專家網

剛剛,中國及全球最大的MEMS代工廠賽微電子官宣,其首款基于MEMS技術的國産BAW濾波器實作量産,将會帶來哪些影響?中國手機有望用上國産5G、6G射頻晶片實作5/6G通信功能?

中國第一MEMS代工廠宣布,BAW濾波器正式量産!5G通信有望國産?

據公告宣稱,其已與某客戶簽署長期采購協定,詳細情況見正文。

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剛剛,中國及全球第一MEMS代工廠賽微電子官宣其首款國産BAW濾波器實作量産,什麼情況?已與某客戶簽署長期采購協定!

剛剛(7月16日下午4點35分),中國及全球最大的MEMS晶圓代工廠賽微電子正式官宣,其首款國産BAW濾波器實作量産。

中國第一MEMS代工廠宣布,BAW濾波器正式量産!5G通信有望國産?

▲來源:賽微電子官方公衆号

據賽微電子同步釋出的《北京賽微電子股份有限公司關于控股子公司BAW濾波器啟動量産的公告》顯示,其以 MEMS 工藝為某客戶制造的系列 BAW (Bulk Acoustic Wave,帶諧振腔體聲波) 濾波器完成了小批量試生産階段,已與某客戶簽署長期采購采購協定并啟動量産:

2023 年 7 月 15 日,該客戶已與賽萊克斯北京同步簽署《長期采購協定》賽萊克斯北京開始進行 BAW 濾波器的商業化規模量産。

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▲來源:賽微電子公告

據7月3日,賽微電子接待機構調研時的聲名顯示,該BAW濾波器産線初期産能為2000片晶圓/月,後期将擴充到10000片晶圓/月水準:

公司與武漢敏聲以共同購置裝置的方式合作建設的北京8英寸BAW濾波器聯合産線已于2022年底實作通線,雙方一直就數款BAW濾波器開展相關工作,工藝開發及試産工作符合預期,專線産品類别增加,良率水準大幅提升,量産事宜正在積極準備中。該産線初期建成的産能為2000片晶圓/月,後可擴充至1萬片晶圓/月的水準。

關于BAW濾波器及在通信中的作用:是國産手機5G/6G通信卡脖子最關鍵的技術之一!

此前,華為釋出了P50 Pro、Mate 50等多款屏蔽了5G功能隻有4G網絡的旗艦手機,既令人遺憾又飽受诟病。

手機要用5G,除了有基帶晶片還不行,還必須有射頻前端模組/晶片,用來收發信号,射頻器件領域是制約大陸工業發展的“卡脖子”關鍵技術之一。其中,射頻前端晶片中的一個重要核心的器件遲遲無法國産化量産——這就是采用MEMS工藝的BAW濾波器。

射頻前端模組,由濾波器、低噪聲放大器(LNA)、功率放大器(PA)、射頻開關等器件組成,如下圖所示:

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▲射頻前端子產品結構(來源:方正證券)

濾波器是射頻前端中最重要的分立器件,在整個射頻前端模組中,濾波器的産值占到了50%以上。大陸在射頻前端模組中,最主要和關鍵的卡脖子節點,就在濾波器這裡。

濾波器的作用就是通過某特定的頻率,而衰減其他頻率成分,進而提高信号抗幹擾和信噪比。

随着2G、3G、4G、5G甚至未來的6G,逐漸演進,需要用到的頻段和制式越來越多,頻段越來越高,是以對濾波器的要求也越來越高,需求越來越多。

目前一個5G手機普遍需要70+個濾波器,單價也比4G的濾波器貴了許多。

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▲手機濾波器需求數量變化(來源:頭豹研究院)

濾波器主要分為兩種:表聲波濾波器(SAW濾波器)和體聲波濾波器(BAW濾波器),其中SAW濾波器比較适合2GHz左右及以下的頻段,而BAW濾波器的優勢在于中高頻段的性能優勢,如更小的插入損耗、更高的帶外抑制等,是以BAW濾波器成為5G甚至未來6G通信的關鍵。

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▲濾波器技術分類及簡介(來源:方正證券)

目前,全球濾波器市場基本被國外廠商壟斷,國内僅有少數企業能夠生産,量産情況及市場占有率不佳,絕大部分産品性能不及國際巨頭同産品。

據資料顯示,2020年,全球60%以上的濾波器基于SAW技術,其中95%市場基本被村田(Murata)、TDK、太陽誘電(Taiyo Yuden)、Skyworks和Qorvo壟斷。

博通、Qorvo等美國廠商則集中在BAW濾波器(博通主要是FBAR),兩家企業占據全球90%以上市場佔有率,這一市場狀況持續至今(2023年)。

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▲來源:方正證券

曆經2年,賽微電子與武漢敏聲合作攻堅BAW濾波器生産,性能與國際巨頭相當!

2021年8月13日,賽微電子釋出了一份控股子公司簽署《戰略合作架構協定》的公告,這份公告的主要簽署對象,就是國産濾波器設計企業武漢敏聲,這是賽微電子首次披露開啟首款國産BAW濾波器設計、生産的資訊。

在合作公告裡面,明确提到“涉及面向‘射頻濾波器晶片’的8英寸晶圓代工産能合作投資”,共同投入資源聯合建設8英寸射頻濾波器大規模量産線。賽微電子認為,本次與武漢敏聲的合作:

一方面将有利于公司更廣泛地與産業鍊下遊公司進行交流合作,共同推動實作本土國産BAW濾波器的技術成熟與商業量産;另一方面通過合作投資模式,有利于公司加快北京MEMS工廠的二期産能建設與擴張,将進一步推動公司在本土形成和提升自主可控的BAW濾波器生産制造能力。

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來源:賽微電子公告

一年後,2022年6月13日,賽微電子釋出公告《關于控股子公司 BAW 濾波器通過驗證并啟動試産的公告》,聲名該産線開始試生産。

公告中顯示,由賽微電子北京FAB3産線代工制造的某款BAW通過了客戶驗證,經過對該批次BAW濾波器進行頻段抑制等多方面可靠性驗證,性能、良率均達到或優于設計名額要求,與國際射頻巨頭廠商同類别産品名額相當。

目前,該客戶已經同步簽署試産訂單,北京FAB3 啟動首批BAW濾波器8英寸晶圓的小批量生産。

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▲來源:賽微電子公告

今日(7月16日),賽微電子釋出公告,完成了小批量試生産階段并與某客戶簽署長期合作協定,賽微電子與武漢敏聲兩個中國傑出的MEMS企業曆時兩年通力合作,其首款國産BAW濾波器正式量産!

關于賽微電子

北京賽微電子股份有限公司(簡稱“賽微電子”),是全球及中國最大純MEMS代工廠,2015年在深交所創業闆上市,重點發展MEMS工藝開發與晶圓制造業務,2016年全資收購瑞典MEMS晶片制造商SilexMicrosystemsAB,提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開關、矽麥克風等多種MEMS工藝開發及晶圓制造的服務。

根據半導體市場研究機構Yole Development統計的2021年資料,Silex Microsystems AB 連續3年在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一,全球MEMS晶片代工市場(不包含IDM廠商自身制造部分的統計)的占有率約為8%。

賽微電子目前國内的MEMS産線位于北京,總産能為3萬片/月,分三期建設,2021年6月北京8英寸MEMS産線(北京FAB3,塞萊克斯北京)一期建成生産,其一期産能為1萬片/月,二期産能為2萬片/月,與武漢敏聲合作建設的濾波器産線已包括在二期産能中。

關于武漢敏聲

武漢敏聲新技術有限公司(簡稱“武漢敏聲”),是國産射頻前端BAW濾波器行業知名企業,據官網顯示,由武漢大學工業科學研究院孫成亮教授聯合14名國際知名業内專家共同創立。公司以射頻濾波器為拳頭産品,同時覆寫壓電式麥克風以及壓電超聲傳感器晶片,緻力于打造成一家集設計、生産和銷售于一體的企業。公司具備完整的自主知識産權,已經注冊百餘項專利,建立了多元度多層次的專利壁壘。

武漢敏聲自有知識産權的無線射頻前端體聲波濾波器(BAW)屬于射頻濾波器中技術門檻和價值量較高的産品,該類産品市場應用空間廣闊,長期被國外廠商壟斷,其所屬的射頻器件領域是制約大陸工業發展的“卡脖子”關鍵技術之一。

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