2023鐘聲剛響，碳化矽産業就發生了幾件大事，例如：Wolfspeed再投150億建廠；東尼電子獲得40億訂單；比亞迪、起亞密度釋出SiC車型；奔馳、大衆等争奪SiC資源；2022優秀SiC榜單公布……
昨天，碳化矽行業又發生了一件大事——Veeco宣布收購一家碳化矽裝置廠商，收購金額超過4億元人民币，這将會對裝置産業格局帶來哪些影響？
Veeco收購Epiluvac
生産碳化矽CVD裝置
2月1日，Veeco官網發文稱，他們已于1月31日收購了Epiluvac，目标是生産SiC化學氣相沉積 (CVD) 裝置。
報道稱，此次交易全部以現金支付，在交易完成時已支付了 3000 萬美元（約合人民币2.02億元），并将提供3500 萬美元（約合人民币2.35億元）績效收益，是以這樁收購案的總價有望達到6500萬美元（約合人民币4.37億元）。
預計 2023 年Epiluvac對 Veeco 财務業績的影響不會很大，預計量産收入将于 2024 年開始。
Veeco 首席執行官 Bill Miller 表示：“Epiluvac 團隊的CVD平台是對我們MOCVD外延裝置産品線的重要補充。此次收購縮短了我們的産品上市時間，進而加快了我們對新興、高增長 SiC 裝置市場的滲透。”
根據 Yole Group 和内部 Veeco 的估計，預計從2023年到2027年，SiC外延裝置市場同期複合年增長率将達到約15%。
衆所周知，Veeco與愛思強在LED和MOCVD裝置領域競争激烈，如今Veeco收購Epiluvac，這2家企業或将在碳化矽領域展開競争。
實際上，Epiluvac與愛思強公司的淵源頗深。1990年代中期，Epigress成立，是全球最早開發碳化矽外延裝置的企業之一。1999年，愛思強收購了Epigress，于 2012 年關閉Epigress 業務。
而在2013年，Epigress的技術團隊出走，成立了Epiluvac，Epiluvac的CEO和CTO 都曾是Epigress的創始人。
但是在技術方面，Epiluvac與愛思強2家公司有所不同，根據Epiluvac的PPT介紹，他們采用的是熱壁技術，而愛思強采用的是行星式結構。
LPE 36億元出售
愛思強、鈕富來差點被收購
截至目前，碳化矽外延裝置領域已經發生了3起收購案，除了愛思強收購EpiGress、Veeco收購Epiluvac，2022年7月， ASM International 還收購了 LPE，收購總價達到5.25億歐元（約36億人民币）。
碳化矽外延裝置“江湖”曆來不太平，愛思強和NuFlare也差點被收購。
2016年５月，中國福建宏芯基金表示有意收購愛思強，并于當年７月底正式釋出要約檔案，收購金額約６.7億歐元。同年９月８日，德國政府準許這項收購，10月福建宏芯基金付清所需款項。
但到了當年10月24日，愛思強發表聲明說該公司接到德國經濟部通知，政府已撤回對收購的準許并決定重新審查。同年12月，美國總統奧巴馬釋出總統令，阻止福建宏芯基金收購愛思強及其美國分支機構。
NuFlare也是知名的碳化矽外延裝置廠商，它是由東芝機械與東芝于2002年合資成立。此後，東芝逐漸收購Nuflare的普通股份，到2012年東芝旗下TDSC持有Nuflare 52.4%股份。
但在2019年12月，日本HOYA公司“惡意”收購Nuflare，宣布将以每股12,900日元（約人民币833.34元）進行收購，高出TDSC價格1000日元（約人民币64.6元）。最終，東芝不得不溢價 45%，于2020年1月16日成功全盤收購NuFlare。
中外裝置即将交鋒？
除了上述外資企業外，根據《2022年碳化矽（SiC）産業調研白皮書》，國内在 SiC 外延裝置方面的研制正在逐漸追趕，中國電科 48 所、北方華創、納設智能、季華實驗室、芯三代等企業目前已研制出 SiC 外延生長裝置。2022 年SiC 外延國産裝置迎來發展良機。以中國電科 48 所為例，他們的 SiC 外延裝置在短短半年時間内率先突破了 100 台套以上銷售。
此外，中微公司或将介入碳化矽領域，他們于2020年啟動了募投項目——“中微臨港總部和研發中心項目”，其中MOCVD裝置項目就主要包括碳化矽材料功率器件的外延生長裝置和技術的研發。
LPE和Epiluvac被收購或意味着産業進入整合階段，預示了大企業對碳化矽賽道的肯定和期待，随着大企業的介入，中外碳化矽外延裝置之間的競争或将更新。