算法：高斯曲線濾波
參數：濾波類型
濾波的意義并不是簡單地将超差點全部删除。可以通過定義濾波類型有選擇地删除超差點。超差點一般分為兩類：一類是随機誤差，來自于工件表面的毛刺或傳感器自身的幹擾。一類是真實地反映了待測元素本身的形狀誤差。
誤差頻率示意圖：
1．高通濾波
過濾指定的高頻超差點。 以上提到的随機誤差就是典型的高頻超差點。在誤差圖上的直接反映是随機出現的尖點。高通濾波會将這些高頻點中的超差點自動删除，而保留那些反映真實形狀誤差的低頻點無論是否超差都予以保留。這是掃描中最常用到的濾波方法。
如下圖例：高通濾波，Std = 1;
WaveLen = 5時，隻有高頻超差部分都被删掉。
WaveLen = 20時，中頻超差部分也被自動删掉。
2．低通濾波
過濾指定的低頻超差點。最典型的應用是：當掃描資料中存在非常明顯的連續缺陷資料，而使用者并不希望這部分資料影響到最終的拟和結果。需要剔除時，使用這種濾波方式。
如下圖例：
低通濾波
Std = 1
WaveLen ＝ 20
顯然，低通濾波删除掉了工件上缺陷部分的超差測量點。
3．帶通濾波
過濾使用者指定一個頻率帶内的超差點。
标準差
指定過濾标準，這個值是标準差的倍數。例如這個值為3，代表的意義是：當一個點的誤差超過了标準差的3倍，将被濾波器認為是一個無效點而删除。非常明顯，這個值越小，濾波條件越嚴格，超差點越多，被過濾删除的點也越多。這個值越大，濾波條件越寬松，超差點越少，被過濾删除的點也越少。
這個值的標明一般在 1－3之間，使用者根據需要的過濾強度自行定義。
如下圖例:
原始資料為720個點。高通濾波，波長為3。
Std = 1 時，剩餘595點；
Std＝2 時，剩餘651點；
Std＝3時，剩餘698點；
方法（模式）：
LAMBDAC
濾波标準為波長
CIRCULAR
濾波标準為波動周期(UPR)
波長：
用LAMBDAC模式，作為濾波頻率(低通、高通、帶通)标準，傳統濾波中波長一直作為頻率标準。對于測量點的濾波，可以簡單了解這個值的意義為機關測點數。例如使用者掃描一個圓1000點，選擇了高通濾波，波長設為10。當連續10個測量點都同向(正向或負向)超差時，濾波算法認為這10個測量點反映的是低頻誤差而予以保留。1到10個測量點内波動超差(有正有負)則認為是高頻誤差(尖點或幹擾點)而被删除。
帶通濾波需要設定兩個波長來限定帶寬，例如第一個值小于第二個值。
注：無論低通、高通、帶通，當波長設為0時，濾波不起作用。高通濾波一般處理随機誤差，建議使用波長為3－5 ，低通濾波建議使用的波長為10-20
UPR