算法：高斯曲线滤波
参数：滤波类型
滤波的意义并不是简单地将超差点全部删除。可以通过定义滤波类型有选择地删除超差点。超差点一般分为两类：一类是随机误差，来自于工件表面的毛刺或传感器自身的干扰。一类是真实地反映了待测元素本身的形状误差。
误差频率示意图：
1．高通滤波
过滤指定的高频超差点。 以上提到的随机误差就是典型的高频超差点。在误差图上的直接反映是随机出现的尖点。高通滤波会将这些高频点中的超差点自动删除，而保留那些反映真实形状误差的低频点无论是否超差都予以保留。这是扫描中最常用到的滤波方法。
如下图例：高通滤波，Std = 1;
WaveLen = 5时，只有高频超差部分都被删掉。
WaveLen = 20时，中频超差部分也被自动删掉。
2．低通滤波
过滤指定的低频超差点。最典型的应用是：当扫描数据中存在非常明显的连续缺陷数据，而用户并不希望这部分数据影响到最终的拟和结果。需要剔除时，使用这种滤波方式。
如下图例：
低通滤波
Std = 1
WaveLen ＝ 20
显然，低通滤波删除掉了工件上缺陷部分的超差测量点。
3．带通滤波
过滤用户指定一个频率带内的超差点。
标准差
指定过滤标准，这个值是标准差的倍数。例如这个值为3，代表的意义是：当一个点的误差超过了标准差的3倍，将被滤波器认为是一个无效点而删除。非常明显，这个值越小，滤波条件越严格，超差点越多，被过滤删除的点也越多。这个值越大，滤波条件越宽松，超差点越少，被过滤删除的点也越少。
这个值的选定一般在 1－3之间，用户根据需要的过滤强度自行定义。
如下图例:
原始数据为720个点。高通滤波，波长为3。
Std = 1 时，剩余595点；
Std＝2 时，剩余651点；
Std＝3时，剩余698点；
方法（模式）：
LAMBDAC
滤波标准为波长
CIRCULAR
滤波标准为波动周期(UPR)
波长：
用LAMBDAC模式，作为滤波频率(低通、高通、带通)标准，传统滤波中波长一直作为频率标准。对于测量点的滤波，可以简单理解这个值的意义为单位测点数。例如用户扫描一个圆1000点，选择了高通滤波，波长设为10。当连续10个测量点都同向(正向或负向)超差时，滤波算法认为这10个测量点反映的是低频误差而予以保留。1到10个测量点内波动超差(有正有负)则认为是高频误差(尖点或干扰点)而被删除。
带通滤波需要设定两个波长来限定带宽，例如第一个值小于第二个值。
注：无论低通、高通、带通，当波长设为0时，滤波不起作用。高通滤波一般处理随机误差，建议使用波长为3－5 ，低通滤波建议使用的波长为10-20
UPR