采用空氣靜壓潤滑支承，在運動過程中導軌不與支承體直接接觸，基準面摩損小，是以精度高而且使用壽命長。從中不難看出，氣浮裝置在延長儀器使用壽命，提高坐标測量機測量效率、保證測量精度中的重要作用。今天我們就着重介紹一下這方面的知識。
空氣軸承工作原理
三坐标測量機和高精度測長機等一些精密測量裝置，很多都會采用氣浮裝置作為測量平台。因為高壓氣體通過空氣軸承中細小的氣眼進入工作面與導軌面之間，會形成均勻的氣隙，因為導軌間沒有摩擦和磨損，就可以保持長期的性能均勻性。空氣軸承的正常工作氣隙在3-10um之間。是以在壓力正常的條件下，保證壓縮空氣的純淨度及導軌面的平面度是空氣軸承正常工作的關鍵。
空氣軸承國際标準
要保證空氣軸承正常穩定的工作，壓縮空氣必須符合ISO 8573-1标準，即含水體積品質為6g/m³，含油體積品質為05g/m³，微粒粒徑<15 um，體積品質為8g/m³。
氣源的日常保養
為保障測量儀器的正常運作，空氣壓縮機輸送出的壓縮空氣溫度要保持在40~80 ℃之間，是以建議安裝冷凝裝置，否則高溫氣體在管道内冷凝，會形成大量的冷凝水，勢必将腐蝕管道，産生鐵鏽。是以建議對壓縮空氣的管線按照一定方式進行布置。
選用的冷凍幹燥機應該具備10℃或更低的露點溫度，以防壓縮空氣噴射到導軌面産生冷凝水。管路内應該設定排水口，用于排除冷凝水和油。安裝完供氣管線後，在與過濾器連接配接之前，務必打開與冷凍幹燥機連接配接的球閥，用高壓氣體直接清除管線内的雜質。
空氣過濾器裝置後面的管線禁止采用金屬管線，以防鏽迹污染，最好采用柔性管線連接配接，并且盡量縮短長度，以減少管線中的壓降。
定期維護：每天用幹淨綢布蘸适量的石油醚或者高純度酒精，由内向外擦拭氣浮導軌的工作區域，拖動測量機的各移動軸，檢查運動是否正常；每天要手工排除過濾器及排水口的油、水混合物，并檢查過濾器流量訓示器是否工作正常，如果壓降超出規定的要求，則必須更換濾芯；經常用吸塵器清理機台表面（防塵罩外表面）及工作環境，檢查壓力表示值是否正常。