Q1：拍SEM時，不導電或導電性差的樣品，為什麼噴金或碳？
A：用掃描電鏡觀察時，當入射電子束打到樣品上，會在樣品表面産生電荷的積累，形成充電和放電效應，影響對圖象的觀察和拍照記錄。是以在觀察之前要進行導電處理，噴金或噴碳，使樣品表面導電。
Q2：高倍下SEM的Mapping效果不好，原因是什麼？
A：倍數過高的Mapping圖，噪點較多，樣品上的元素分布不清晰，不宜分辨；一般SEM最大在3萬倍左右拍攝。
Q3：樣品不含碳元素，但是結果顯示含量高于70%，與實際偏差太大，怎麼處理呢？
A：能譜對原子序數小于11的元素不靈敏，碳氮氧存在誤差的情況比較常見，另外，碳污染來源比較廣，如導電膠、樣品與手接觸、DP泵、空氣灰塵等等；特别關注碳氮氧等輕元素的不适合做能譜；另外，需要Mapping測試的話，除樣品外的背景也會存在明顯的碳氮氧，可能無法與樣品區分，Mapping關注碳氮氧等輕元素的需要特别注意；對于含量高于實際值偏多，可以人為降低含量。