中微公司透露MiniLED量産用MOCVD裝置最新細節

在近日的"SSLCHINA 2021：Mini/Micro LED技術産業應用論壇"上，中微半導體裝置（上海）有限公司MOCVD工藝技術總監胡建正分享了中微用于藍綠光MiniLED生産的MOCVD裝置-Prismo UniMax的最新進展。

胡建正介紹，與用于照明的傳統LED相比，Mini/Micro LED對外延片的波長均勻性和顆粒數量有更嚴苛的要求，需要開發新型MOCVD平台以提高外延片的波長均勻性、降低顆粒數量，進而實作Mini/Micro LED的商業化應用。

而中微最新開發的可用于MiniLED大規模生産的MOCVD平台Prismo UniMax, 通過局部溫場精細調控與流場的優化，在4"和6"襯底上生長的藍綠光LED實作了很好的波長均勻性。在41×4" 配置條件下，藍光LED片内和片間波長均勻性也很高，分别為0.71 nm和0.87 nm（1σ）；在10×6" 配置條件下，其藍光LED片内波長均勻性達到0.84 nm（1σ），100mm×100mm方片波長最大最小內插補點低至2.4nm。針對平均波長為530nm的6英寸綠光LED，實作了片内波長均勻性1.04nm（1σ），100mm×100mm方片波長最大最小內插補點僅為4.6nm。

從中微官網了解到，配置方面，Prismo UniMaxMOCVD裝置多達4個反應腔，可同時加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化镓基藍綠光MiniLED外延晶片，通過石墨盤的調整，可擴充至同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，其工藝能力還可延展到生長8英寸外延晶片。此外，裝置配置了785mm大直徑石墨托盤，極大地提高了裝置産能，并有效地降低了MiniLED外延片的生産成本。

圖檔來源：中微半導體裝置官網

據悉，Prismo UniMaxMOCVD裝置于今年6月份正式釋出，主要用于氮化镓（GaN）基MiniLED外延片量産。12月9日，中微公司宣布Prismo UniMaxMOCVD裝置訂單已超100腔。

據了解，中微半導體裝置有限公司成立于2004年，總部位于上海，2019年在上海證券交易所科創闆挂牌上市，主要從事高端半導體裝置及泛半導體裝置的研發、生産和銷售，公司産品分布有：CCP刻蝕裝置、ICP刻蝕裝置、深矽刻蝕裝置、MOCVD裝置、VOC 淨化裝置。

其中，中微開發的Prismo系列MOCVD裝置可廣泛應用于生産基于III族氮化物的各類器件，包括藍綠光LED、深紫外LED以及功率器件。目前，中微公司的MOCVD裝置已在行業内主要的LED生産線上全面投入量産。

2020年，中微實作營業收入22.73億元，同比增長16.76%；歸屬于上市公司股東的淨利潤4.92億元，同比增長161.02%。2021年上半年，中微營業收入為13.39億元，同比增長36.82%；歸屬于上市公司股東的淨利潤3.97億元，同比增長233.17%。（LEDinside整理）