南北朝时期，《药师经》在我国翻译出来并开始流传，药师佛信仰逐渐形成，到唐代开始流行。唐宋之后，药师佛信仰之风仍然颇为盛行，波及西域、日本等地区和国家。药师经典的汉译本，前后共有五种，四存一佚，现存四种译本内容大同小异，属同本异译，其中，玄奘法师翻译的《药师经》最为流行，义净法师翻译《药师经》最为完整。
义净翻译的《药师琉璃光七佛本愿功德经》又称《七佛药师经》，增添了不少密教方面的内容，如把药师如来由一佛变成了七佛。增添有：法海慧游戏神通如来、药师琉璃光如来、善称名吉祥王如来、宝月智严光音自在王如来、无忧最胜吉祥如来、法海雷音如来、金色宝光妙行成就如来。表述说这些如来各住在东方四恒河沙，甚至十方恒河沙世界，发大愿拔济众生的苦恼。北魏时期任瓜州刺史的东阳王元荣在永熙二年 （公元533年）五月七日，七月十五日曾两次大规模抄写《药师经》。
唐朝以前，《药师经》是当时作功德常写的经典之一，药师佛已是人们信仰崇拜的重要对象之一。反映出此时期药师信仰逐渐盛行。供奉药师佛像是药师信仰最主要的表现内容之一，这一点在敦煌有突出的表现。敦煌尊像画中，除了千佛，单尊像数量最多的就是药师如来，仅莫高窟壁画中就有550余尊药师像，数目庞大，表现出民众炽热的药师信仰。
敦煌的药师佛像最早出现在隋代302窟的南壁东侧，隋代305窟西壁北侧药师佛说法图中，药师佛结跏趺坐于莲花座，身着大红袈裟，左手托钵，右手食指与大拇指相捻作说法印，华盖上悬挂长幡，两侧侍立四身菩萨。唐代敦煌民众造像供养药师佛，达到了登峰造极的地步，往往在一个洞窟内不厌其烦地连篇绘制，同写经一样反映出人们信仰供奉药师佛的炽热。求平安长寿是人们的主要愿望，药师佛以除怖、疗疾、解难、满愿等与人们切身有关的需求吸引信众，只要敬念药师佛名号，就可以解脱生、老、病、死等苦难，可以免除九种横死。
药师佛能够延年益寿、消灾除病，满足了很多人的本能需求，所以药师信仰在当时十分流行。