關于真空裝置撿漏，每一條都很重要！

為了保證真空裝置或系統具有良好的密封性能，僅僅在裝置安裝完畢後去尋求漏孔的位置，堵塞漏孔的通道是遠遠不夠的。有必要在真空裝置或系統的設計、制造、調試、使用各個有關環節中随時進行真空檢漏工作。

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真空裝置設計中的注意事項

1、根據裝置的工藝要求，确定真空裝置的總的最大允許漏率，并依據這一總漏率确定各組成部件的最大允許漏率。

2、根據裝置的最大允許漏率等名額，在設計階段就初步确定将要采用的檢漏方法，并将其作為指導調試 驗收的基本原則之一。

3、根據裝置或部件的最大允許漏率名額，決定裝置的密封、連接配接方式和總體加工精度，以及何種動密封形式能夠滿足要求。如，法蘭采用金屬密封或橡膠密封。

4、容器結構強度設計時，考慮如果采用加壓法檢漏被檢件所應具有的耐壓能力和結構強度。

5、選擇零部件結構材料時，考慮是否使用了可能被工作媒體和示漏氣體腐蝕而導緻損壞的材料。

6、結構設計時，在容器或系統上要留有必要的檢漏儀器備用接口，以便在裝置組裝、調試過程中檢漏使用。尤其是大型、複雜的管路系統，通常需要采用分段檢漏方法，是以在管路上要設定分段隔離的閥門，并在每一隔離段上預留檢漏儀器接口。

7、零件結構設計時，盡量避免采用可能幹擾檢漏工作的設計方案。例如在真空室內螺釘孔不能采用盲孔形式，因為安裝螺釘後螺孔内部剩餘空間的氣體隻能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏。進而延長系統抽氣時間，幹擾檢漏正常進行。如圖真空檢漏中不應出現的結構。

8、與此類似，結構設計中不允許存在連續雙面焊縫和多層密封圈結構，因為這會在中間形成“寄生積”内的氣體會形成虛漏；而當内、外雙側焊縫或密封圈同時洩漏時，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長，無法正常檢漏。

9、焊接結構設計時，盡量減少總裝後無法檢漏的焊縫。

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真空裝置制造過程中的檢漏

在裝置的加工階段，有必要跟随加工工藝（尤其是焊接工藝）及時地對半成品零部件進行檢漏。對于制造完畢後無法接觸、檢漏或修補的部件，焊縫品質要嚴格檢漏，不合格的及時重焊、補焊并重新檢漏，符合要求後才可以進行下一道工序。特别是對于大容器的組焊、加工，中間過程的檢漏十分關鍵，必要時應該設計、制造專門的檢漏工具（如探漏盒、盲闆等）。對于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，最好首先組焊完内層室壁并檢漏，确認沒有漏孔後再組焊外層室壁。同樣道理，對于室壁外側有保溫層等不易拆卸結構的情況，必須首先對室壁做嚴格檢漏，然後才能包覆外層結構。

在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應采用焊後加工法蘭表面的工藝。不經焊後加工的法蘭，即便在安裝調試階段可能滿足了密封要求，但在裝置使用過程中，受熱、振動等因素也可能誘發焊接應力的釋放，進而導緻法蘭變形和密封性能下降。

加工制造過程中，嚴格執行真空作業衛生和作業規範，對于提高真空裝置和系統的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型後，需經去油清洗并及時保護将有利于提高焊縫的氣密性。已經加工完成的零部件動、靜密封面，應該具有保護措施，嚴防在存放、搬運、裝配過程中發生磕碰、劃傷。使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時，更應精心作業，尤其避免已經通過預檢漏後被損壞而産生漏孔。

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真空裝置安裝調試過程中的檢漏步驟

安裝調試階段是真空裝置或系統檢漏工作的主體。若裝置焊縫的氣密性已經通過加工階段的檢漏得以保證，那麼在裝置安裝、調試過程中，檢查、保證連接配接部位的密封性，是檢漏工作的重點。包括各個管道、部件間的法蘭連接配接和動密封件等重點可疑部位。若同時對焊縫和連接配接部位檢漏，則檢漏的工作量和難度都加大。大型、複雜真空裝置最好采用分段檢漏，每裝上一個部件，便對其連接配接部位和焊縫進行一次檢漏，達到要求後再裝下一個部件。因為将所有部件全裝配完後再檢漏，不僅懷疑部位太多，還可能多個漏孔同時漏氣，給總體檢漏帶來極大困難。真空裝置安裝調試過程中的檢漏步驟如下：

1、了解待檢裝置的結構組成和裝配過程。掌握裝置的要求，查明需要進行檢漏的重點可疑部位。

2、根據所規定的最大允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，并從經濟、快速、可靠等原則出發，正确選擇好檢漏方法或儀器，準備好檢漏時所需的輔助裝置後拟定切實可行的檢漏程式。

3、應對被檢件進行好清潔工作，取出焊渣、油垢後再按真空衛生條件進行清潔處理，并予以烘幹。對要求高的小型器件。清潔處理後可通過真空烘幹箱進行烘烤，進行清潔處理後不但可以避免漏孔不被污物、油、有機溶液等堵塞，而且也保護了檢漏儀器。

4、對所選用的檢漏方法和檢漏裝置進行檢漏靈敏度的校準，并确定檢漏系統的檢漏時間。

5、若采用真空檢漏法時，為了提高儀器的靈敏度，應盡可能将被檢件抽到較高真空。

6、在允許的前提下，應盡可能優先應用較為經濟和現場具備條件的檢漏方法。

7、采用氦質譜檢漏裝置檢漏時，對于要求檢漏不高的或有大漏産生的被檢件時，在檢漏初期應盡量用濃度較低的氦氣進行檢漏，然後再進行小漏孔的檢漏，以節約氦氣。

8、對已檢出的大漏孔及時進行修補堵塞後再進行小漏孔的檢漏。

9、對檢出并修補的漏孔進行一次複查以確定檢漏結果達到要求。

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真空裝置使用過程中的注意事項

在真空裝置使用運作階段，時常出現裝置氣密性下降，總體漏率上升的情況，這是影響真空裝置正常工作的主要原因。造成這種現象的原因包括：機械振動造成連接配接部位松動；經常拆卸部位的密封圈可能損壞或安裝不正确；由于冷、熱沖擊而發生變形和疲勞破壞；某些部件或材料因受工作媒體的腐蝕而破壞；某些原本被水、油或其他髒物堵塞的漏孔重新釋通；以及應力集中而造成裂紋等。

正确使用真空裝置，應該将檢漏工作納入真空裝置日常維護、管理規範之中，例如定期做靜态升壓檢測實驗。操作人員發現裝置氣密性下降應及時解決，根據其裝置使用情況和故障現象來分析洩漏原因，并采取适當的檢漏手段，檢出漏孔位置，及時修補。不要等到裝置出現多種、多處洩漏，已經無法正常工作時再去檢漏維修。

另外，平時準備充足的密封備件，定期（而不是出現問題後）更換易損件，也是做好真空檢漏工作、保證裝置正常運作的主要措施。