禁運不斷加碼，ASML光刻機中國銷量卻在飙升

到2023年底，ASML在中國的光刻機總數将接近1400台

圖源/ASML官網

文 | 顧翎羽 吳俊宇

編輯 | 馬克

這似乎讓人意外。美國對華晶片出口管制步步緊逼，受到波及的荷蘭光刻機巨頭ASML（阿斯麥 NASDAQ：ASML）卻在中國錄得業績新高。

中國大陸地區的營收在ASML全球收入結構中占比一直在10%-20%之間，2023年這一占比持續飙升。ASML财報顯示，2023年一季度中國大陸地區營收占比為8%，二季度為24%，三季度驟增至46%。2023年前三季度，中國大陸從ASML采購了52.8億歐元（403億元人民币）的光刻機裝置，這一數字約為2022年ASML在中國全年銷售額的兩倍。

11月5日，ASML全球副總裁、中國區總裁沈波在進博會上接受媒體采訪時透露，到2023年底，ASML在中國的光刻機總數将接近1400台。

光刻是晶片制造的重要環節。以光源波長劃分，光刻機分為UV（紫外線）、DUV（深紫外線）、EUV（極紫外線），理論上7納米及以下的先進晶片制程工藝隻能通過EUV實作。

ASML是全球最大的光刻機制造商，也是唯一的EUV光刻機供應廠商。有觀點認為，ASML的技術能力事實上成為了半導體工業擴張的瓶頸。中國的晶片制造想更快突破先進制程，獲得ASML的先進光刻機是關鍵。

如台積電一樣，受制于地緣政治，ASML也不能完全按照商業邏輯運轉，中國大陸無法購買ASML最先進的EUV光刻機，14nm以下制程的國内産線主要依賴于DUV光刻機。

2023年9月1日，荷蘭的《先進半導體制造裝置法規》生效。除了EUV裝置之外，荷蘭還将部分先進制程所需的DUV産品——TWINSCAN NXT：2000i及後續推出的關鍵浸潤式DUV系統加入管制。

10月17日，美國再次更新對華晶片制裁，影響ASML目前能對中國出口的最先進的光刻機NXT1980Di。

中國大陸想從ASML獲得先進光刻機，越來越難了。

但ASML的中國業務為什麼會在第三季度飙升到新高？這種增長能持續多久？2024年，中國還能夠從ASML買到先進制程所需的光刻機嗎？

ASML在中國賣什麼産品？

ASML的産品種類可以分為I-line、KrF、ArF幹法、ArF浸沒式（通常指DUV）和EUV。

EUV光刻機主要對應制程在7nm以下，也是國内一直無法獲得的産品。受到中國客戶關注的主要産品是DUV光刻機，型号包括XT1900以及NXT系列，其中NXT又分為比較成熟的NXT1980和相對先進的NXT2000/2050/2100，對應制程約在38nm以下。

相同型号的光刻機也會有細分分類，比如NXT 1980系列中也區分Ei、Di、Fi等版本，這種分類主要差異在于機關産能和套殼精度上的差別，覆寫制程沒有太大差別。

光刻機售價昂貴，無論是EUV還是DUV光刻機，一台售價都在1億美元以上。

ASML在2021年投資者日公布的一份檔案顯示：“關鍵浸潤式DUV”包括了NXT2000i、NXT2050i和NXT2100i三個型号，而“中高端浸潤式DUV”（mid-cirtical）包括了NXT1980Di，在研的NXT1980Ei和NXT1980Fi。

其中，前三款産品中國已經無法買到。

荷蘭政府頒布的《半導體裝置出口管制新規》在今年9月1日生效後，ASML發運TWINSCAN NXT2000i及後續推出的浸潤式光刻系統都必須獲得荷蘭當局的許可。經過ASML與荷蘭政府的溝通，荷蘭政府允許ASML今年繼續發運9月1日前已下單客戶的TWINSCAN NXT2000i及後續推出的浸潤式光刻系統。但是自2024年1月1日起，ASML将基本不會獲得向中國客戶發運對華出口這些産品的出口許可證。這些産品将事實上對中國禁運。

NXT1980Di是中國目前能夠購買到最先進的ASML産品，國内主要将其用于28nm産線，通過多重曝光技術有機會做到更先進的制程。

DUV光刻機理論上都可以通過多重曝光技術實作10nm-7nm工藝制程，光刻機型号的差異更多是展現在良率上。但是，多重曝光技術本身會影響良率和産能，會導緻工藝路線變長，不穩定因素增多。增加多重曝光的次數，良率和産能都會下降，經濟性會大打折扣。

美國試圖堵上中國利用這種技術突破先進制程的漏洞。2023年10月17日，美國商務部工業和安全局（BIS）針對中國更新的“先進計算晶片和半導體制造裝置出口管制規則”（詳見《财經十一人》10月18日文章《美更新對華AI晶片制裁力度，美晶片企業提出擔憂》）,将“專用卡盤覆寫”值的管制範圍從小于等于1.5納米，上升到2.4納米，而NXT1980Di的“專用卡盤覆寫”為1.6納米，原本不在管控範圍，現在被納入。

ASML高層在10月18日的财報會上表示，原則上NXT1980Di受美國晶片出口管制限制，但該限制的前提是這些光刻機被用來生産先進制程的晶片，NXT1980Di（較此前受到限制的DUV光刻機）屬于低端浸潤式工具，是以美國出口管制新規隻會限制中國個别晶片廠。

“我們也有很多中國客戶用這些機器生産中端、成熟制程，這些情況下沒有安全的憂慮，我們就可以出貨，”ASML的CEO溫甯克（Peter Wennink）表示。

ASML中國收入為何飙升？

在這樣的背景下，ASML向中國大陸客戶的出貨猛增。

2023财年前三财季，中國大陸市場營收占比分别為8%、24%、46%，從第四大市場躍居至第一大市場。第三季度中國銷售額至24.42億歐元，創下ASML在中國單季銷售紀錄。

行業普遍認為，ASML正在新規生效前集中向中國客戶傳遞産品，2022年及以前中國市場的積壓訂單在2023年集中釋放。

在此次财報會上，ASML管理層表示，中國對DUV裝置的需求持續強勁。中國市場占比高是因為中國客戶過去的訂單很多沒有傳遞，其中很多訂單都已經預付款。對于今年向中國客戶發貨的産品，大部分訂單是在2022年預訂的。

過去兩年中國大陸客戶的需求滿足率明顯低于50%。這些客戶實際上收到的光刻機數量比訂購的要少得多。中國集中采購的的光刻機以成熟制程為主，全都是符合美國出口管制規定内的産品。

也就是說，ASML中國收入激增，主要來自于成熟制程的推動。可是，中國晶片廠為什麼需要這麼多成熟制程？

一方面，根據ASML管理層釋放的消息，中國仍在參與先進制造的晶片廠的數量急劇下降。“當我們與中國客戶進行路線讨論時，他們都後退了，而不是前進。”溫甯克表示。ASML公司CFO 達森（Roger Dassen）也表示，公司的中國客戶去年就調整了方向，涉及先進制程的晶片廠已大幅下降，“如果這是（美國晶片出口管制的）目的，現在已經實作了。”

絕大多數中國晶片廠都已經轉向中端、成熟制程。無論是電動汽車，還是能源轉型，這些産業發展都需要大量的晶片支撐。而中國正在謀求建立自主可控的這種産線的能力。“他們會更加接近自主，但不會完全自主，因為當地的需求太大了。”溫甯克表示。

《财經十一人》了解到，以電動車為例，一些頭部車企均有自己的晶片國産化率計劃。

另一方面，中國客戶的轉向不是一種完全孤立的增長。一位國際晶片咨詢機構分析師向《财經十一人》表示，全世界都在興建Fab（半導體制造廠）。這影響了對半導體裝置的需求。過去，半導體産業中設計和制造分離，主要由台積電這樣的代工廠流片和制造。但是在這次供應鍊危機之後，無論是美國、歐洲，還是日本都推出了刺激性的晶片法案，鼓勵半導體本地制造，是以世界各地都興起了晶片制造廠的建廠熱潮，這些增加的産能主要集中在成熟制程。他認為，這是半導體産業将經濟邏輯讓位于安全邏輯的典型表現，如此産能過剩将不可避免。

“被卡的”不僅是光刻機

ASML在中國的生意正處在地緣政治的洪流之中。

一位資深業内人士告訴《财經十一人》，根據他的估算，國内的NXT1980Di目前不會超過80台，而2000i 及以後的型号不會超過5台。

在10月18日的财報會上，ASML CEO溫甯克表示，對中國客戶的出口限制很難改變。“該規定是政府間深入溝通的結果，改變的前提是地緣政治首先改變。”

他還預計，按照ASML今年在中國大陸的業務規模估算，新法規會對2024年中國大陸業務産生10%-15%的影響。

事實上，美國和荷蘭針對ASML的出口限制，影響也不僅限于部分先進光刻機。

一位晶片技術人士對《财經十一人》表示，光刻機采購之後，後續的保養、維護、服務也高度依賴ASML。輔材購買也高度依賴美日韓荷等企業。隻購買光刻機，遠遠不足以徹底解決卡脖子的問題。

多位産業界人士向《财經十一人》表示，由于進口受限，國内産線存在裝置超期服役、維修保養難、關鍵零部件無法更換的現象。光刻機零部件衆多，而國内的供應體系才剛剛建立，發展水準仍與海外有明顯差異。

華義創投進階投資經理方亮告訴《财經十一人》，當我們談到“卡脖子”的時候，不要隻盯着光刻裝置，首先要樹立産線是人員、裝置、材料、工藝參數和生産環境五者有機統一的觀念，要充分考慮光刻以外環節所需裝置、材料甚至軟體的禁運問題。