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陶氏化學Plaquemine廠區發生爆炸:影響CMP抛光液及光刻膠供應?

作者:芯智訊

綜合多家外媒消息顯示,當地時間7月14日晚上9點30分左右,位于美國路易斯安那州伊貝維爾教區 (WAFB) 、密西西比河沿岸的陶氏化學普拉克明(Plaquemine)工廠發生一系列爆炸,引發了當地的恐慌。

陶氏化學Plaquemine廠區發生爆炸:影響CMP抛光液及光刻膠供應?

△陶氏化學在路易斯安那州普拉克明廠區。拍攝于 2019 年 3 月 28 日星期四。(圖檔來源:NOLA.com,攝影:Brett Duke)

陶氏化學Plaquemine廠區發生爆炸:影響CMP抛光液及光刻膠供應?

△陶氏化學普拉克明工廠發生爆炸(圖檔來源:網絡視訊截圖)

陶氏化學Plaquemine廠區發生爆炸:影響CMP抛光液及光刻膠供應?

△陶氏化學普拉克明工廠發生爆炸(圖檔來源:網絡視訊截圖)

據伊貝維爾教區警長布雷特·斯塔西 (Brett Stassi)稱,當晚該設施内共檢測到六起爆炸,居住在附近的目擊者拍到了巨大火焰的視訊,并表示幾英裡外都可以感受到沖擊波。截至晚上11點,從業人員仍在與火災作鬥争。

當晚,伊伯維爾教區應急準備官員敦促工廠半徑半英裡内的居民“就地避難”,要求居民留在室内,除非必要,否則不要離開家。直到當地時間7月15日淩晨5點,“就地避難”指令被解除。

陶氏化學路易斯安那營運部發表聲明稱:“陶氏化學緊急行動中心正在與當地和州機構密切合作,以應對路易斯安那州廠區現場發生的事件。已查明所有人員均安全,空氣監測未檢測到空氣中的有害物質。”至于事故原因,目前還在調查當中。

作為全球半導體級化學品的重要供應商,陶氏化學不僅擁有高純度化學品産品線,還提供了一系列的光刻材料,包括光刻膠、光刻溶劑光刻輔助劑等。同時,陶氏化學還是全球重要的CMP(化學機械抛光)材料供應商,包括抛光墊、抛光液等。

資料顯示,陶氏杜邦(DowDuPont,2015年陶氏與杜邦合并)占據了全球17%的光刻膠市場(富士經濟資料)、79%的CMP抛光墊市場(Cabot Microelectronics 資料)及部分的CMP抛光液市場。

是以,陶氏化學工廠爆炸引發了不少半導體業界人士的關注。

資料顯示,陶氏在路易斯安那州擁有四個工廠,分别為:普拉克明(Plaquemine)、大海灣(Grand Bayou)、哈恩維爾(Hahnville)和格林斯堡(Greensburg),這四家工廠生産了100多種基本和特種化學品,銷往全球。為當地4000多名陶氏和合同員工提供了就業機會,每年為路易斯安那州經濟注入超過10億美元。

陶氏化學Plaquemine廠區發生爆炸:影響CMP抛光液及光刻膠供應?

其中,此次爆炸涉及的普拉克明(Plaquemine)工廠隸屬于陶氏路易斯安那營運部,占地1500英畝,擁有23個生産機關(有報道稱是12個生産機關),生産50多種不同的中間和特種化學産品,如氯和聚乙烯,用于生産化妝品、洗滌劑、溶劑、藥品、粘合劑、各種包裝用塑膠、汽車零部件、電子元件等。

據芯智訊查閱相關資料了解到,此次爆炸事件主要發生在陶氏普拉克明廠區的Gylcol 2(乙二醇 2)部門,該部門主要生産強力易燃和高度緻癌化學物質環氧乙烷。

資料顯示,大部分的環氧乙烷被用于制造其它各類化學品,主要是乙二醇。乙二醇主要的最終用途是生産聚酯聚合物,也被用作汽車冷卻劑及防凍劑。其次用于生産乙氧基化合物、乙醇胺、乙二醇醚、亞乙基胺、二甘醇、三甘醇、多甘醇、羟乙基纖維素、氯化膽堿、乙二醛、乙烯碳酸酯等下遊産品。

其中,電子級和半導體級乙二醇醚可應用于LCD清潔劑和稀釋劑, 半導體清潔劑和稀釋劑,光刻膠配方等領域。

目前尚不清楚,此次陶氏化學普拉克明工廠爆炸事件是否會對陶氏化學占據優勢地位的CMP抛光液、光刻膠等供應産生影響。個人認為,影響可能很小,不過具體仍有待後續觀察。

值得注意的是,在去年4月,同樣在陶氏在路易斯安那州普拉克明工廠内,也曾發生過火災事件,并且發生了氯氣洩漏事件。

根據當時的報道顯示,當地時間2022年4月18日晚間8點40分左右,位于陶氏化學普拉克明廠區内的奧林化學 (Olin Chemical,2015年3月27日,陶氏化學宣布剝離氯堿業務與Olin合并,交易使得陶氏化學公司獲得歐林公司的控股權) 發生火災,造成了約20多人在30小時内住院,所幸最終沒有造成人員傷亡。

而在更早之前的在2016年底和2017年晚些時候的8個月期間,陶氏化學普拉克明廠區内部的Olin工廠發生了3次氯氣洩漏,導緻一名合同工受傷,并導緻員工疏散和道路封閉。

編輯:芯智訊-浪客劍