雷射剝離（Laser-Lift-Off）作為柔性OLED制程的核心工藝之一，長期被南韓裝置供應商所壟斷。長三角G60雷射聯盟機關亞威艾歐斯通過引進技術再創新，與德國通快公司密切合作，大幅縮短了研發程序，在關鍵名額和工藝性能方面均達到進口裝置水準。
【DPSS雷射剝離裝置】
DPSS雷射剝離是指通過固體納秒紫外雷射輻照，實作有機發光顯示器件（PI膜）與搭載的玻璃基闆分離，與傳統的準分子脈沖雷射剝離相比，具有能量輸入穩定、生産效率高、不需要定期更換工作氣體等優勢。
據媒體報道Samsung Display其A3線主要采用了DPSS LLO裝置，因DPSS技術較準分子雷射器使用和維護成本低，并可以減少裝置采購總數量。
【雷射剝離工藝示意圖】
長三角G60雷射聯盟機關亞威艾歐斯雷射剝離裝置搭載的DPSS雷射光學系統，能量使用率達85%以上。中德韓聯合研發的“Z”型折疊光路，将整個線光斑光學系統長度縮短30%。該系統整形後的線光斑長度400-750mm（可調節）、寬度30μm，可同時應對黃色和透明PI兩種産品的雷射剝離工藝，且工藝品質及加工效率有大幅度提升。
【光路示意圖】
【線光斑】
【雷射剝離柔性顯示屏樣品】
長三角G60雷射聯盟機關亞威艾歐斯雷射剝離裝置，已對國内數家顯示面闆廠商提供的樣品進行了測試，效果良好，完全達到客戶技術要求。
随着顯示面闆企業對使用成本和效率要求的不斷提高，導入DPSS雷射剝離工藝是大勢所趨，亞威艾歐斯将繼續努力并與客戶密切協同，加快實作量産傳遞，為柔性OLED制程關鍵裝置的進口替代做出貢獻。
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