如果工件的變形比較嚴重，為了得到準确的測頭半徑補償，就必須找正法線矢量，由此得到一種新的檢測類型——曲面點。
曲面點測量的是曲面上的點，在測量之前，現在理論點周圍測量3個點，通過這3個點确定點所在小曲面的法線矢量，然後以這個法線矢量作為點的逼近矢量去測量這個點，參見下圖：
寬度——樣例點到理論點的距離。
“輔助平面”:用以确定點實際矢量方向的平面。如果不選擇輔助平面，測量時按理論偏置位置進行采點，按理論的矢量方向計算結果；如果選擇輔助平面，測量時先在點所在面上測量輔助平面，再根據輔助平面矢量方向和位置測量點，且按輔助平面的矢量方向計算結果。
“輔助距離”:設定測量輔助平面各測點探測前添加的運動輔助點的距離。
“擴充寬度”:沿點邊緣向外或内延伸的距離(注意正負區分)确定輔助平面采點位置。
“測點數”:測量輔助平面的測點數，最少3點。
說明：
控制"測量點”法線方向的偏差
此種類型的點所在曲面的法線方向可能出現偏差，導緻測量結果出現偏差
适用于：
一測量外形和平整度
測量：
1在以測量點為中心，以amm為直徑的圓上測量三個均布的預測點，此點用于确認點的實際法線方向
2.測量“測量點