「 這是Tanner L-Edit系列的第 5 篇 」 本節内容 · 導覽 導出GDSII指令介紹 導出檔案的示範操作 需要注意的常見問題 接着上一節:導入GDSII檔案 這一節講如何導出GDSII檔案 01 指令介紹 單擊菜單欄「File」-「Export Mask Date」,打開導出檔案的指令:

Export指令支援的檔案格式與導入指令一緻 依然以GDSII檔案為例,在下拉菜單中選擇「GDSII」,彈出設定對話框:
頁籤介紹
内容分為以下七個部分
1) To file - 指定存儲位置和導出檔案名,擴充名用 .gds 格式儲存 ◻ Zip output file - 選中此複選框,以壓縮導出檔案,并在擴充名末尾附加 .gz 2) Export scope - 指定導出區域 ◻ All cells - 導出打開的庫中的所有單元 ◻ Active cell - 隻導出目前處于活動狀态的單元 ◻ Fabrication cell - 隻導出被标記為“Fabricate”狀态的單元 ◻ Cell: - 通過下拉菜單選擇任意一個要導出的單元 ◻ Cells from libraries - 從一個或多個庫中導出所有單元 ◻ Cells selected in navigator - 隻導出庫導航器中標明的單元 ◻ Include hierarchy - 在導出時包含單元中調用的所有例化單元 ◻ Exclude libraries - 在導出時排除一個或多個庫 3) Log file - 設定日志檔案 ◻ Save log file to - 為日志檔案指定儲存路徑和檔案名 ◻ Open log in window - 在導出完成後彈出日志檔案 4) GDSII units - 為GDSII資料庫設定機關轉換值 ◻ Default - 預設值:1個資料庫機關等同于0.001微米。舉例來說,版圖中1x1的矩形,記錄為1000 x 1000個資料庫機關 ◻ Custom - 自定義數值 5) Cell names - 設定單元名稱的處理方式 ◻ Preserve case - 保留原名稱的大小寫 ◻ Upper case - 将單元名稱全部以“大寫”形式寫入 ◻ Lower case - 将單元名稱全部以“小寫”形式寫入 ◻ Restrict cell names to - 限定單元名稱的字元數上限。其中有“32個字元的标準型”、“128個字元的Virtuoso型”,以及“無限制型”三種模式 Tip:一些GDSII系統不能識别單元名稱中的小寫字母,為比對這些系統,該軟體提供上述名稱轉換的功能 6) Map file - 指定圖層定義檔案的路徑和名稱。設定了此檔案,當導出時将替換“Setup Layers”對話框中定義的圖層資訊 Tip: 圖層定義檔案通常包含四列内容,其中包括“圖層的名稱”、“圖層的用途”、 “圖層GDS編号” 和 “圖層的資料類型”。下面是格式示例
(格式範例) 7) Others
◻ Do not export hidden objects
- 不導出隐藏的圖層
◻ Overwrite object data type ...
- 選中此選項,導出時使用“Setup Layers”對話框中定義的資料類型,取代版圖中實際繪制層的目前值
◻ Calculate MOSIS Checksum ...
- 輸出 MOSIS代工廠 所需的“校驗和”和“計數”資訊
◻ Check for self-intersecting ...
- 檢查自相交的多邊形和線段,并将其寫進報告。這個選項會使導出檔案運作緩慢
◻ Fracture polygons with more ....
- 拆分頂點個數大于n個時的圖形。n代表在空白處所填入的數值 完成上述設定後,點選下方的 「Export」 開始導出檔案 如果你勾選了“Open log in window”,在導出程式結束時會彈出 *.log日志檔案:
(日志檔案) 02 操作示範 上一節 示範了如何在L-Edit中導入一份GDS檔案 (amplifier.gds) ,這一節的示範還是 以上次的檔案進行舉例: 将 “amplifier.tdb” 導出成GDSII檔案格式
(操作示範——導出GDSII檔案) 最終輸出的檔案是:amplifier_export.gds 如果你沒有素材進行練習,不妨安裝官方提供的示例程式,其中有很多TDB檔案可用來操作 03 常見問題 在導出過程中,你可能會遇到以下幾種報錯情況 一、 日志檔案提示「頂點個數問題」
(圖 1.1)
(圖1.2) 因為一些GDS工具和生産規範的限制,頂點的數目不能超過199個,超出後将出現警告和錯誤提示,導緻檔案無法成功導出 要解決此問題,你可以: → 在頁籤中勾選 “ Fracture polygons with more... ”
或
→ 單擊 「Draw」-「Convert」-「Fracture Polygons」 指令,可将一個具有大量頂點的多邊形,分解為多個頂點數小于199的多邊形
二、 存在「 未定義GDS number/Date type 的圖層」
(圖2.1 未定義圖層的GDS number)
(圖2.2 未定義圖層的Data type) 很多代工廠(例如MOSIS和Orbit)都通過一種高端程式“CATS”來運作 GDSII檔案——用它從GDSII檔案中生成特定的光刻掩模版。運作時會讀取GDSII資料資訊,包括圖層的GDS編号和資料類型,缺失這些資訊将寫入警告,表明GDSII檔案不符合GDSII資料規範 要解決此問題,你可以: → 在導出頁籤中直接指定 “ Layer Map ” 檔案 或 → 單擊「 Setup 」-「 Layers 」,輸入圖層對應的GDSII資料
注:GDSII data type改變後,不能直接應用于目前版圖中的圖層。你可以使用“Draw”-“Assign GDSII Data Types”指令,或者在導出頁籤中勾選“Overwrite object data type”, 将已修改的圖層類型應用于圖層的所有對象中
三、 單元名稱不符合規範,存在「非法字元」
(圖 3.1)
在将每個單元名寫入GDSII檔案之前,L-Edit會對其進行檢查,如果發現任何非法字元,則使用下劃線替換它們,并将資訊寫入日志中
GDSII隻允許使用下列字元集。“a~z”,“A~Z”,“0~9”,下劃線“_”,問号“?”和美元符号“$”
解決方法非常簡單,可以手動修改單元名,也可以使用軟體自動替換方案
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