我們知道,從實驗室一直到晶圓廠,吉時利不斷向半導體市場推出新一代半導體測試儀。提供業内經濟的全自動晶體參數測試儀,更高測試吞吐量的參數分析儀,縮短産品研發周期,能夠測試更多的功率器件類型,并提供全面的半導體器件測試和分析軟體。
下面介紹半導體檢定系統的主要名額:
一,參數測試系統
半導體參數測試系統是針對半導體工藝控制,可靠性監測和器件特性測量中常用的DC和C-V測量而設計的,廣泛用于實驗室級器件開發,到量産的各種測試環境。
二,特性測量軟體
特性測量軟體自動對器件級,單片晶圓以及整批晶圓進行半導體器件特性測量,在與源測量單元或內建測試系統結合使用時,可以填補實驗室級測試與量産級測試間不同需求空白。
三,參數分析儀
參數分析儀涵蓋了各種參數測試需求,從基本的DC I-V和C-V掃描到進階超快速I-V、瞬态信号和波形捕獲。
四,曲線追蹤儀
為功率器件特性測量提供完整的解決方案,配備各種高性能儀器,電纜,測試夾具和軟體。
Keithley 4200A-SCS :參數分析儀,适用于材料、工藝和半導體器件特性表征的全面綜合解決方案。
測試典型器件:與CMOS有關的器件和材料,非易失性存儲器,MEMS,III-V器件,TFTs,太陽能電池,納米器件、結構
應用:半導體器件特性測量,材料研究,器件可靠性和故障分析
測量功能:I-V ,C-V,超快速I-V脈沖
Keithley 2600-PCT參數波形記錄儀:參數曲線追蹤儀,不同配置對應不同功率器件測試需求
測試典型器件:半導體元器件,包括IGBTs,MOSFETs,BJTs,二極管,其他功率控制器件
應用:半導體元器件特性測量,監測和故障分析
測量功能:低功率I-V,高功率I-V和C-V
Keithley S530/540參數化測試系統,自動化參數測試系統,可以測試最高3KV的電壓
測試典型器件:SIC,GaN及其他高壓半導體器件和結構
應用:自動分析,工藝內建,工藝控制監測,生産晶片分揀
測量功能:I-V和C-V頻率和脈沖,最高3KV,2端和3端電容測量
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