在运动过程中导轨不与支承体直接接触，基准面摩损小，因此精度高而且使用寿命长”。从中不难看出，气浮装置在延长仪器使用寿命，提高坐标测量机测量效率、保证测量精度中的重要作用。
空气轴承工作原理
三坐标测量机和高精度测长机等一些精密测量设备，很多都会采用气浮装置作为测量平台。因为高压气体通过空气轴承中细小的气眼进入工作面与导轨面之间，会形成均匀的气隙，因为导轨间没有摩擦和磨损，就可以保持长期的性能均匀性。空气轴承的正常工作气隙在3-10um之间。因此在压力正常的条件下，保证压缩空气的纯净度及导轨面的平面度是空气轴承正常工作的关键。
空气轴承国际标准
要保证空气轴承正常稳定的工作，压缩空气必须符合ISO 8573-1标准，即含水体积质量为6g/m³，含油体积质量为05g/m³，微粒粒径<15 um，体积质量为8g/m³。
气源的日常保养
为保障测量仪器的正常运行，空气压缩机输送出的压缩空气温度要保持在40~80 ℃之间，所以建议安装冷凝设备，否则高温气体在管道内冷凝，会形成大量的冷凝水，势必将腐蚀管道，产生铁锈。所以建议对压缩空气的管线按照一定方式进行布置。
选用的冷冻干燥机应该具备10℃或更低的露点温度，以防压缩空气喷射到导轨面产生冷凝水。管路内应该设置排水口，用于排除冷凝水和油。安装完供气管线后，在与过滤器连接之前，务必打开与冷冻干燥机连接的球阀，用高压气体直接清除管线内的杂质。
空气过滤器装置后面的管线禁止采用金属管线，以防锈迹污染，最好采用柔性管线连接，并且尽量缩短长度，以减少管线中的压降。