总投资20亿，万业企业携手宁波芯恩打造“1+N”设备龙头

集微网消息，自2015年向集成电路产业转型以来，万业企业聚焦在最“卡脖子”的装备材料领域，一方面先后收购了凯世通、Compart，另一方面作为上海半导体装备材料基金投资的主要LP投资了华卓精科、上海精测、上海御渡等，已迅速成长为国内集成电路装备领域的平台型企业。

近期，万业企业再度出手，携手宁波芯恩成立嘉芯半导体设备科技有限公司，达产后年产2450台/套集成电路新设备和50台/套翻新装备项目，该项目总投资达20亿元人民币，覆盖刻蚀机、薄膜沉积、快速热处理及退火、清洗机等多款集成电路核心前道设备，全面打造集成电路核心装备材料龙头。

总投资20亿元，持续加码半导体设备产业

12月22日，万业企业发布公告称，公司董事会审议通过《关于控股子公司对外投资签订项目投资协议书的议案》。

据披露，万业企业控股子公司长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司（以下简称“嘉芯半导体”），与嘉善县西塘镇人民政府签订签订了项目投资协议书及补充协议。项目总称为“长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司年产2,450台/套新设备和50台/套半导体翻新装备项目”，项目投资总额合计20亿元人民币。

嘉芯半导体成立于2021年4月29日，万业企业持股比例达80%，为第一大股东；宁波芯恩持股比例20%，为第二大股东。根据企查查显示，宁波芯恩的主要股东为“华人半导体领军人物”中芯国际创始人张汝京博士。张汝京博士在美国德州仪器工作了20年，从TI提早退休后，曾任台湾世大半导体总经理。2000年，募集14亿美元创办中芯国际，向世界芯片制造第一梯队冲刺。随后，在国内投资了几家LED企业。2014年创办新昇半导体，为大陆半导体产业弥补了硅材料的短板。2018年，张汝京博士再次创业，投身于大陆首个共享共有式集成电路制造(CIDM)项目芯恩半导体。

万业企业旗下的嘉芯半导体将包括6个子公司，2个事业部，涵盖刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等8寸和12寸半导体新设备开发生产及设备再制造，致力于打造国内半导体设备领域的产业龙头。

今年5月，万业企业旗下的凯世通低能大束流离子注入机率先在国内12英寸主流集成电路芯片制造厂完成设备验证验收工作，这也是国产首台完成主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备，标志国产化设备在成熟工艺这一重大技术领域取得商用化突破。同时，凯世通重金属离子注入机和超低温大束流离子注入机已完成客户交付，高能离子注入机设备按客户交付计划进行组装。公司并与国内另一家12英寸芯片制造厂分别签署1台低能大束流超低温离子注入机和1台高能离子注入机订单。

叠加离子注入机与嘉芯半导体开发的刻蚀设备、薄膜沉积设备、PVD、CVD和清洗设备等，万业企业通过打造“1+N”产品平台模式，一举成为目前设备品类最为齐全的集成电路平台企业之一。

根据协议，长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司年产2450台/套新设备和50台/套半导体翻新装备项目用地面积约109亩。

万业企业表示，本次对外投资符合公司整体战略发展方向，围绕公司转型规划展开，聚焦国家在集成电路领域的产业布局，有助于进一步扩大公司业务规模，增厚公司主营收入及利润，加快公司在半导体产业布局，保障公司稳定经营，同时提升公司资产质量与综合竞争力，对公司发展奠定基础。

全方位、平台化布局，打造半导体装备集团

设备企业的成长往往离不开下游市场的发展机遇，根据SEMI 数据显示，2020 年中国大陆半导体设备市场规模达187.2 亿美元，同比增长 39%，成为全球最大的半导体设备区域性市场。

值得注意的是，中国半导体产业的投资热潮还在继续，并催生了对国产设备的巨大市场需求。据集微网不完全统计，包括中芯国际、华润微、闻泰、格科微、卓胜微、富芯在内的半导体厂商都有在建或规划建设晶圆厂项目，同时，为持续扩充产能，台积电、士兰微、粤芯、华虹半导体、积塔半导体、晶合集成、长江存储、长鑫存储、中芯绍兴等众多企业都在积极进行二期项目建设。

可以预见的是，未来几年将是中国集成电路装备产业发展的“黄金时代”。

嘉芯半导体背靠万业企业能充分享有资本平台优势，同时身处全球半导体产业新一轮扩产周期以及国产替代加速的大趋势，拥有多个具备原创专利技术且有成功经验的团队，可谓是集天时地利与人和于一身。

近年来，万业企业通过“外延并购+产业整合”的方式，持续扎实推动公司快速向集成电路产业装备和材料领域的转型。

2018年，万业企业收购凯世通，以集成电路离子注入机为“拳头”产品，正式进军集成电路装备赛道。2020年，万业企业牵头收购全球领先的集成电路设备的精密零部件供应商Compart 公司，进入集成电路设备上游零部件领域。

同时，万业企业通过上海半导体装备材料产业投资基金，已投资华卓精科、上海精测、上海御渡等项目，完成了对光刻机核心零部件、半导体检测设备、测试机等核心设备的覆盖，成长为集成电路装备领域的平台型公司。

通过本次战略布局嘉芯半导体，万业企业的产品线将进一步延伸到更多元化核心设备集群，在刻蚀设备、薄膜设备、快速热处理及退火、薄膜沉积、清洗机等领域，也是目前国内唯一拥有离子注入机等核心技术的“1+N”全领域前道设备集团，为公司集成电路业务多元化发展奠定了坚实的基础。

可以预见的是，伴随着全球半导体产业进入新一轮扩产周期，在供应链自主可控的趋势下，国产半导体设备厂商将会迎来新的爆发契机。而万业企业作为多领域布局的半导体设备平台型企业，必将乘风而起，加速成为国产设备厂商的中流砥柱。（校对/日新）