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2024年中國濺射靶材行業市場現狀及未來發展前景

作者:中商情報網

中商情報網訊:濺射靶材是指通過磁控濺射等鍍膜系統在适當工藝條件下濺射沉積在基闆上形成各種功能薄膜的濺射源。濺射靶材廣泛應用于半導體內建電路、平面顯示、太陽能電池、資訊存儲、低輻射玻璃等領域,是國家重點支援和鼓勵發展的行業。

一、濺射靶材行業概況

1.濺射靶材的定義

濺射靶材主要由靶坯和背闆構成。靶坯系射靶材中的核心部分,是濺射鍍膜過程中高動能離子束流轟擊的目标材料,靶坯被離子撞擊後,表面的原子被濺射出來并沉積于基闆表面形成薄膜。背闆主要用于固定支撐靶坯材料、導熱、導電,一般由金屬材料制成,因濺射靶材需安裝在專用的濺射鍍膜裝置内完成濺射過程,裝置内部為高電壓、高真空的工作環境,多數靶坯的材質較軟、脆性高、導電導熱性較差等,不适合直接安裝在裝置内使用,是以需與背闆綁定。

2.濺射靶材的分類

濺射靶材必須配套專用的濺射鍍膜裝置方可進行濺射鍍膜。濺射靶材按形狀可分為平面靶和旋轉靶;根據是否需要綁定背闆或背管,可分為一體靶和綁定靶。

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資料來源:中商産業研究院整理

3.濺射靶材的應用領域

作為各類薄膜工業化制備的關鍵材料,濺射靶材廣泛應用于半導體內建電路、平面顯示、太陽能電池、資訊存儲、低輻射玻璃等領域,各應用領域對濺射靶材的制備技術、産品性能等要求各異。

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資料來源:中商産業研究院整理

4.中國濺射靶材行業發展曆程

(1)萌芽時期

相比于國外,大陸濺射靶材行業起步較晚。20世紀90年代,為發展薄膜技術及薄膜材料,國家計委、國家科委、國家自然科學基金委及地方政府相關部門釋出了一系列政策支援鍍膜及相關材料的發展,在真空鍍膜、低溫、壓力容器等方面積累了一定的技術基礎,為本土濺射靶材企業的發展創造了良好的研發基礎和産業化條件。受限于技術下遊應用市場尚處起步階段等因素,早期大陸濺射靶材行業發展較為緩慢,具備規模化生産能力和較強研發實力的企業較少,濺射靶材主要應用于中低端産品。

(2)高速發展期

進入21世紀,大陸宏觀經濟進入高速發展期,電視、電腦、手機等消費電子産品市場迅速發展,相關終端應用領域市場規模不斷擴大,進而推動了大陸本土濺射靶材企業和國内濺射靶材市場的快速發展。經過多年的發展,國内濺射靶材企業已經取得了長足的發展和進步,國産高純、高性能濺射靶材企業通過持續的自主研究開發逐漸突破關鍵技術,并不斷擴大生産制造規模,在技術開發、産品性能、生産規模、産品品質、市場品牌等方面的市場競争力正在不斷穩步提升,打破了濺射靶材行業長期被境外大型廠商壟斷的不利局面。

(3)平穩發展階段

近年來,随着國内平面顯示和半導體內建電路産業迅速發展,下遊産業逐漸向國内轉移,帶動了國内濺射靶材行業的快速發展,大陸濺射靶材産業逐漸從單一的規模增長轉變為進口替代的結構化增長。以江豐電子、阿石創、有研新材、隆華科技、先導薄膜、映日科技以及本公司等為代表的一批具有較強市場競争力的本土靶材企業成功進入了國内外知名平面顯示、半導體內建電路等下遊企業的供應鍊環節,對境外廠商在國内的市場佔有率形成了進口替代,并實作了部分出口,保障了國内重點行業上遊關鍵原材料的自主可控及供應安全。

二、國外濺射靶材行業市場現狀

1.全球濺射靶材市場規模

根據中商産業研究院的資料,2016-2023年,全球濺射靶材市場規模從113億美元上升至258億美元,年複合增長率為12.52%。未來,随着物聯網、大資料、新型顯示、太陽能電池、節能玻璃等新型基礎設施和新型應用領域的發展,濺射靶材的終端應用領域将進一步擴大,全球濺射靶材市場規模仍将持續穩定增長。

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資料來源:中商産業研究院整理

2.全球濺射靶材行業競争格局

憑借專利技術上的先發優勢,以及雄厚的技術力量、精細的生産控制和過硬的産品品質,美國、日本、歐洲等發達國家或地區的大型濺射靶材廠商占據了全球濺射靶材市場較高的市場佔有率。以JX金屬、霍尼韋爾、東曹和普萊克斯等為代表的大型跨國企業成立較早,曆史悠久,發展成熟,囊括了金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等全産業鍊環節。相關企業憑借先發優勢和技術研發優勢主導着産業的發展方向和技術革新,在濺射靶材領域優勢明顯,目前合計占據了全球80%左右的市場佔有率。另外,三井金屬、住友化學、愛發科、世泰科、攀時等資金實力雄厚、技術水準領先、産業經驗豐富的跨國公司在各自的優勢靶材領域處于市場領先地位。

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資料來源:中商産業研究院整理

三、中國濺射靶材行業發展環境分析

(1)政策引導助推行業發展

高性能濺射靶材行業是國家重點支援和鼓勵發展的行業,國家産業政策對行業發展具有積極的促進作用。目前國務院、國家發改委、工信部等政府部門已經通過各類檔案多層次、多角度、多領域對高性能濺射靶材行業予以全産業鍊、全方位的指導,相繼出台了《關于擴大戰略性新興産業投資培育壯大新增長點增長極的指導意見》《“十四五”原材料工業發展規劃》《制造業可靠性提升實施意見》《電子資訊制造業2023-2024年穩增長行動方案》等多項支援大陸高性能濺射靶材行業發展的産業政策,為行業内企業的經營發展提供了有力的支援和良好的環境。

為推動濺射靶材行業發展,增強産業創新能力和國際競争力,帶動傳統産業改造和産品更新換代,進一步促進國民經濟持續、快速、健康發展,大陸近年來推出了一系列支援和鼓勵濺射靶材行業發展的政策,為濺射靶材行業的發展營造了良好的政策環境,主要政策具體内容如下:

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(2)需求拉動拓寬應用領域

高性能濺射靶材行業的發展與下遊平面顯示、半導體內建電路、新能源電池、光伏等新興産業的市場需求及技術革新密切相關,下遊行業的持續發展更新對濺射靶材性能、技術均提出了更高要求。随着終端使用者需求的不斷擴充以及高性能薄膜材料與磁控濺射技術的蓬勃發展,濺射靶材正朝着高純度、大尺寸、高緻密度、高濺射速率和高使用率等方向快速發展,綜合性能将持續提升,進一步拓展至複合銅箔、BIPV、航空航天材料等新型下遊應用領域。

(3)技術創新賦能行業變革

随着5G、半導體內建電路、網際網路、人工智能等産業的迅速發展,人類社會已從“萬物互聯”步入“萬屏互聯”、“萬物顯示”時代,新型顯示成為創新領域最蓬勃發展的産業方向之一。近年來,電子光學、材料學、機械學等領域相關學科不斷取得重大突破,OLED、MiniLED、MicroLED新型顯示技術競相發展,8K超高清、3D顯示、柔性顯示、透明顯示等技術領域進步顯著,正颠覆傳統顯示終端應用形态。

四、中國濺射靶材行業發展現狀

1.中國濺射靶材行業市場規模

2018-2022年中國濺射靶材行業市場規模由243億元增長至395億元,近五年年度複合增長率為12.91%。未來,伴随着顯示面闆産能轉移、半導體國産化程序加速以及太陽能電池市場景氣度不斷上升,下遊市場對高性能濺射靶材需求量将不斷增加。大陸濺射靶材市場前景廣闊,預計2024年市場規模将增長至476億元。

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2.中國濺射靶材産業鍊上中下遊分析

濺射靶材産業鍊主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環節。其中靶材制造是濺射靶材産業鍊中的關鍵環節,濺射靶材的産品品質、性能名額直接決定了終端産品的品質和穩定性。

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濺射靶材産業鍊中,上遊金屬提純環節主要是将自然界含有雜質的金屬進行提純處理,進而滿足靶材制造環節的生産需求;靶材制造環節所需工序精細繁多,同時需要根據下遊應用領域的性能、需求進行特有的工藝設計;濺射鍍膜環節主要是将濺射靶材安裝在專用的濺射鍍膜裝置中完成濺射反應,制備出具有導電、絕緣、光導、壓電、磁性、潤滑、超導、耐磨、裝飾等特性的膜層,并進行元器件封裝;終端應用是利用完成封裝的元器件生産面向最終使用者的産品。

3.中國濺射靶材行業細分領域分析

濺射靶材下遊應用領域廣泛,包括平面顯示、半導體內建電路、新能源電池和太陽能電池等戰略新興産業,以及較為傳統的玻璃鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜等産業,其中平面顯示是各下遊應用領域中市場規模最大、占比最高的領域,其次為資訊存儲、太陽能電池和半導體內建電路領域。濺射靶材在各細分應用領域市場的發展情況如下:

(1)平面顯示用濺射靶材市場發展情況

平面顯示産業鍊主要由上遊裝置制造、原材料和零元件産業,中遊顯示面闆、觸控屏等配套電子器件和模組的生産制造,下遊電視、顯示器、筆記本電腦、平闆電腦、手機等各類顯示終端應用構成。

近年來,國内平面顯示用濺射靶材市場在全球顯示面闆出貨面積增長、平面顯示産業轉移、顯示面闆廠商采購國産化替代趨勢等因素的帶動下高速增長,市場前景可期。資料顯示,2017-2020年中國平面顯示用濺射靶材市場規模從93億元增長至150億元;2021-2023年大陸平面顯示用濺射靶材行業市場規模分别為177億元、209億元和246億元;未來,平面顯示用濺射靶材行業市場規模預計仍将快速增長,預計2026年将達到395億元。結合顯示面闆生産制造中各類濺射靶材的使用情況、銅制程工藝在顯示面闆中的發展趨勢等經驗資料和行業情況估算,平面顯示用銅靶約占平面顯示用濺射靶材市場規模的20%,按此測算,2023年大陸平面顯示用銅靶的市場規模約為49.20億元。

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(2)半導體內建電路用濺射靶材市場發展情況

半導體內建電路産業鍊主要包括晶片設計、品圓制造、封裝測試、半導體材料、半導體裝置、EDA工具以及IP授權等環節。半導體內建電路領域中,濺射靶材主要應用于晶圓制造和晶片封裝環節。

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半導體內建電路用濺射靶材品種繁多,需求量較大,根據統計,濺射靶材在全球半導體制造材料和封裝測試材料市場的占比均接近3%。随着半導體産業快速發展,中國半導體內建電路用濺射靶材市場将保持高速增長态勢。2017-2023年中國半導體內建電路用濺射靶材市場規模從14億元增長至23億元,年複合增長率為8.63%。未來,半導體內建電路用濺射靶材行業市場規模整體保持穩定增長,預計2026年将達到33億元。

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(3)新能源電池用濺射靶材市場發展情況

新能源電池處于新能源産業鍊的中遊,是新能源産業鍊的核心環節。以锂離子電池為例,其上遊為正極材料、負極材料、銅箔、鋁箔、隔膜及電解液等材料,上述材料共同構成電芯,并與電池管理系統和配件經Pack封裝組成锂離子電池包,最終應用于新能源汽車、3C數位産品、儲能應用和電動自行車等領域。

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根據預測,若僅考慮電解銅箔在锂離子電池中的應用,2025年預計電解銅箔需求量可達106.7萬噸,假設2025年複合銅箔在锂離子電池領域的滲透率達到20%,2025年全球複合銅箔市場空間可達290億元,未來市場空間廣闊,發展前景良好。

(4)太陽能電池用濺射靶材市場發展情況

光伏産業鍊分為矽料、矽片、太陽能電池、元件、光伏發電系統五個環節,其中太陽能電池能夠通過光電效應直接把光能轉換成電能,是光伏産業鍊的核心環節。

太陽能作為可再生能源的重要組成部分,系大陸未來能源發展的主要趨勢。随着光伏累計裝機容量的持續提升,中國太陽能電池用濺射靶材市場規模亦有望持續高速增長。根據中商産業研究院的統計,2017-2023年中國太陽能電池用濺射靶材市場規模從18億元增長至52億元,年複合增長率達到19.34%;未來,太陽能電池用濺射靶材行業市場規模将進入快速增長階段,預計2026年将達到83億元。

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(5)其他領域

玻璃鍍膜

濺射靶材在玻璃鍍膜領域主要用于制備低輻射玻璃,通過在玻璃表面鍍上多層金屬或其他化合物組成的膜系,達到節能、控光、裝飾的作用,主要應用于建築、房間裝修、汽車、制鏡等領域,其中建築領域應用量最大。

根據統計,建築玻璃門窗能耗占建築總能耗的23%,是建築節能的重點方向之一,2020年國内低輻射玻璃的滲透率為12%,德國、南韓等發達國家滲透率則高于90%,未來國内低輻射玻璃在建築領域滲透率有望不斷提升。近年來,随着政策扶持和節能環保需求的不斷提升,幾乎所有大型玻璃深加工企業都在快速增加低輻射玻璃生産線,帶動了濺射靶材等上遊關鍵原材料的快速發展。

裝飾鍍膜

濺射靶材在裝飾鍍膜領域主要用于制備手機、手表、眼鏡等産品的表面膜層,不僅起到美化色彩的作用,同時也具有耐磨、耐蝕等功能,其效果直接影響終端消費者的體驗感和滿意度。

在裝飾鍍膜的下遊應用領域中,智能手機等消費電子産品是更新疊代周期最快的行業,終端廠商産品的競争已由原先的功能更新競争轉為性能、美感、體驗度等全方面競争,生産廠商通常将最先進的表面處理技術應用在消費電子産品上。随着人民生活水準的不斷提高,真空濺射鍍膜逐漸成為目前常用的表面處理方法之一,塑膠、玻璃、陶瓷,和不鏽鋼中框均采用真空濺射鍍膜法,裝飾鍍膜用濺射靶材的需求也日益擴大。

工具鍍膜

濺射靶材在工具鍍膜領域中主要用于制備工具的表面塗層,塗層作為化學屏障和熱屏障,能夠有效減少生産加工過程中工具基體材料的磨損,進而顯著提高工具的使用壽命和被加工零件的品質。

目前,全球工具鍍膜市場主要集中在歐美、日本等發達國家,發達國家機加工用刀具的鍍膜比例已超過90%。國内市場方面,随着國内制造業生産觀念逐漸從“依靠廉價勞動力”向“改進加工手段提高效率”進行轉變,以及機床市場的數控化轉型更新,大陸刀具等工具的鍍膜比例也在不斷提升,工具鍍膜用濺射靶材的需求有望不斷提升。

五、中國濺射靶材重點企業分析

随着國内顯示和半導體內建電路産業迅速發展,下遊産業逐漸向國内轉移,帶動了國内濺射靶材行業的快速發展,大陸濺射靶材産業逐漸從單一的規模增長轉變為進口替代的結構化增長,以江豐電子、阿石創、有研新材、隆華科技、歐萊新材等為代表的一批具有較強市場競争力的本土靶材企業成功進入了國内外知名平台顯示、半導體內建電路等下遊企業的供應鍊環節,對境外廠商在國内的市場佔有率形成了進口替代,并實作了部分出口,保障了國内重點行業上遊關鍵原材料的自主可控及供應安全。

1.江豐電子

江豐電子成立于2005年,注冊地位于浙江省甯波市,2017年在深圳證券交易所上市。江豐電子主要從事超高純金屬濺射靶材以及半導體精密零部件的研發、生産和銷售。産品主要應用于超大規模內建電路晶片、平闆顯示器、太陽能電池等領域。

根據江豐電子2023年年報,江豐電子2023年實作營業收入26.02億元,同比增長11.89%;實作歸屬于母公司股東的淨利潤2.55億元,同比下降3.35%。其中,超高純靶材業務闆塊營業收入為16.73億元,同比增長3.79%。

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2.阿石創

阿石創成立于2002年,注冊地位于福建省福州市,2017年在深圳證券交易所上市。阿石創主要從事各種PVD鍍膜材料的研發、生産和銷售,主要産品包括濺射靶材和蒸鍍材料。産品主要應用于平闆顯示、光學光通訊、節能玻璃等領域。

根據阿石創2023年年報,阿石創2023年實作營業收入9.58億元,實作歸屬于母公司股東的淨利潤1227萬元,其中,濺射靶材業務闆塊營業收入為5.21億元。

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3.隆華科技

隆華科技成立于1995年,注冊地位于河南省洛陽市,2011年在深圳證券交易所上市。隆華科技的業務類型包括電子新材料、高分子複合材料和節能環保業務,産品主要應用于磁懸浮列車、航天、石油、化工、工業水處理、市政水處理、城市礦山資源處置、污水處理、礦物浮選等領域。

根據隆華科技2023年年報,隆華科技2023年實作營業收入24.67億元,實作歸屬于母公司股東的淨利潤1.27億元,其中,電子新材料業務闆塊營業收入為4.73億元。

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4.有研新材

有研新材成立于1999年,是由北京有色金屬研究總院獨家發起,以募集方式設立的股份有限公司,于1999年3月成立并在上海證券交易所挂牌上市。有研新材主要從事稀土材料、微光電子用薄膜材料、生物醫用材料、稀有金屬及貴金屬、紅外光學及光電材料等新材料的研發與生産,是大陸有色金屬新材料行業的骨幹企業。

根據有研新材2023年年報,有研新材2023年實作營業收入108.22億元,實作歸屬于母公司股東的淨利潤2.26億元。

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5.歐萊新材

歐萊新材成立于2010年,注冊地位于廣東省韶關市,2024年在上海證券交易所科創闆上市。歐萊新材主營業務為高性能濺射靶材的研發、生産和銷售,主要産品包括多種尺寸和各類形态的銅靶、鋁靶、钼及钼合金靶和ITO靶等,産品可廣泛應用于半導體顯示、觸控屏、建築玻璃、裝飾鍍膜、內建電路封裝、新能源電池和太陽能電池等領域,是各類薄膜工業化制備的關鍵材料。

根據歐萊新材2023年年報,歐萊新材2023年實作營業收入4.76億元,實作歸屬于母公司股東的淨利潤0.49億元。

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六、中國濺射靶材行業發展存在問題

1.材料依賴進口阻礙穩定發展

作為各類薄膜工業化制備的關鍵材料,濺射靶材的性能高低直接決定了最終産品的性能、品質和壽命,半導體內建電路、平面顯示、太陽能電池等下遊應用領域對濺射靶材純度要求極高。目前,高性能濺射靶材制造所需的部分高純金屬材料大多依賴進口,僅少數國際知名高純金屬材料廠商能夠滿足濺射靶材純度、品質、穩定性等方面的要求。在國際貿易摩擦加劇、全球新冠疫情反複等因素的影響下,目前大陸高純金屬材料主要依賴進口的情形将不利于實作濺射靶材行業的健康穩定發展。

2.技術人才緊缺限制創新發展

高性能濺射靶材行業是資金和技術密集型行業,專業性強、技術要求高,核心技術突破與生産工藝創新依賴于穩定的技術團隊和頂尖技術人才,對技術研發人員的專業性、創新性以及經驗等各方面均有較高的要求。由于大陸濺射靶材行業發展時間較短、技術水準較低,且人才培養周期較長,高端、專業和複合型人才仍然十分緊缺。随着下遊應用領域的快速發展和市場需求的持續擴大,對企業的研發創新能力要求不斷提高,高精尖複合型人才的缺乏将對行業的可持續發展形成一定挑戰。

七、中國濺射靶材行業市場前景預測分析

1.國家産業政策大力支援推動行業持續快速發展

自2016年,工信部、國家發改委、科技部、财政部釋出《新材料産業發展指南》,明确提出要發展新一代資訊技術産業用材料,解決極大規模內建電路材料制約。加快新材料的批量生産工藝優化,在新型顯示等領域實作量産應用。此後,高性能濺射靶材被列入《重點新材料首批次應用示範指導目錄》《重點新材料首批次應用示範指導目錄》《“十四五”原材料工業發展規劃》等多項産業政策檔案中。

國家産業政策對高性能濺射靶材行業的高度重視與大力支援,為行業發展營造了良好的政策環境,有利于行業持續快速發展,加快向關鍵技術領域突破,助力大陸戰略性新興産業發展。

2.新型顯示技術普及和終端應用場景拓展推動行業不斷發展

随着5G、半導體內建電路、網際網路、人工智能産業的迅速發展,新型顯示成為創新領域最蓬勃發展的産業方向之一。近年來,8K超高清、3D顯示、柔性顯示、透明顯示等技術領域進步顯著,正颠覆傳統顯示終端應用形态。在大尺寸半導體顯示領域,5G網絡内容傳輸速度的提升将會推動8K智能裝置的蓬勃發展。商用顯示、智能家居的應用場景也将更大地擴充,智慧交通、智慧醫療、智慧新零售等将催生更多的應用和裝置的技術更新。

平面顯示是高性能濺射靶材行業最為重要的下遊應用領域之一,随着終端市場規模的持續增長以及新工藝、新技術等方面的不斷突破,濺射靶材在下遊終端的應用場景及應用範圍還有望進一步拓展,行業增長發展潛力巨大。

3.新興下遊應用市場的快速發展拓寬行業市場空間

高性能濺射靶材伴随着半導體、平面顯示、資訊存儲、微電子等産業的發展而興起,随着上下遊企業的持續研究創新,行業技術工藝水準不斷提高,新技術産業化程序不斷加快,濺射靶材的産品應用範圍不斷擴大,從裝飾鍍膜、工具鍍膜、玻璃鍍膜到資訊存儲、平面顯示、半導體內建電路、太陽能電池等新興産業,市場需求穩定增長,發展前景廣闊。基于磁控濺射真空鍍膜工藝穩定性好、均勻度好、膜層緻密、結合力好等優點,濺射靶材将進一步拓展至複合銅箔、BPV、航空航天材料等新興下遊應用領域。

未來,随着新能源電池、太陽能光伏、航空航天等新興下遊應用市場的快速發展受益于磁控濺射真空鍍膜的良好特性,高性能濺射靶材的下遊應用場景将更加多樣化,為濺射靶材行業的持續發展和進步提供廣闊的市場空間。

更多資料請參考中商産業研究院釋出的《中國濺射靶材行業市場前景及投資機會研究報告》,同時中商産業研究院還提供産業大資料、産業情報、産業報告、行業白皮書、可行性研究報告、調查評估、産業規劃、園區規劃、産業鍊招商圖譜、産業招商指引、項目包裝策劃、産業招商&推介會等咨詢服務。

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