晶圓廠的自動化程度有多高？
據說，在台積電的廠區中，有着長達50公裡的天車軌道，5000多個軌道路口，2000多台晶圓傳輸盒子在同時運動，每天需要運送60萬車次的晶圓…
為什麼要用這種天車來搬運晶圓？人工搬運就不行嗎？
衆所皆知，晶圓制造是人類迄今為止最複雜的制造業之一。
一片晶圓要在幾百台生産裝置間流轉，數十次重入同類型的加工裝置，經過成百上千道工序，才會誕生數百顆指甲蓋大小的晶片。
而擔任晶圓廠空中運輸的主要裝置，就是這個天車。
可能大家不知道，晶片制造所處的環境，要比醫院的手術室還要幹淨10萬倍。
任何微小塵埃或污染物都可能導緻晶圓損壞，進而影響晶片的産出率和品質。
如果使用手動搬運的方式，不僅風險很高，容易導緻晶圓損壞，而且還會帶來灰塵或者其他污染。
而天車在封閉的軌道内運作，可以大大減小晶圓暴露在外界環境中的風險，進而有效避免污染問題。
其次就是效率。
晶圓在制造過程中需要經過數百個不同的工序，這些工序要在多個專用裝置之間進行。
而天車通過内部精密的計算機控制，可以連續無間斷的，快速且精準地将晶圓從一個工作站移動到另一個工作站。
說的再通俗點，隻要有電，它就能一直執行搬運任務，這是人工再怎麼努力，也無法達到的。
由于天車對整個産線的穩定運作來說太重要了，是以晶圓廠一般都會使用業内成熟度比較高的産品。
目前，在全球晶圓天車市場中，主要被日本村田機械和日本大福所壟斷，市場占有率達95%以上。
雖然不确定日本會不會拿這個卡我們脖子，但按照以往的經驗，天車的國産替代是肯定要有的。
好的消息是，目前已經有一些國産天車，被應用到實際生産中。
當然了，也不是所有的晶圓廠都會用到天車，比如6寸的晶圓廠就不需要。
因為相比之下，6寸的晶圓較輕，通常情況下手動搬運或者使用較小的自動化裝置，就可以了。
再者，天車系統的價格十分昂貴。
據悉，12寸晶圓廠中一套完整的天車自動化搬運系統，占晶圓廠固定投資的3%左右。
也就是說，如果投資300億美元建廠，這套搬運系統就要花掉9個億。
是以有人就說，這種天車可能是全球最貴的小車，也是有道理的。