突發！ASML兩款光刻機出口許可被吊銷，美國政府要求立即停止向中國銷售先進晶片裝置｜矽基世界

（圖檔來源：钛媒體App編輯拍攝）

钛媒體App獲悉，中原標準時間1月2日，荷蘭光刻機龍頭阿斯麥公司（ASML，NASDAQ: ASML）向钛媒體App展示一份聲明中稱：荷蘭政府部分撤銷了此前頒發的NXT:2050i和NXT:2100i光刻機在2023年發貨的出口許可證，這将對ASML在中國的個别客戶産生影響。

“我們預計此次出口許可證撤銷及最新的美國出口管制限制不會對我們2023年的财務情況産生重大影響。在近期與ASML的溝通中，美國政府對其出口管制的适用範圍和影響進行了進一步澄清。美國2023年10月17日釋出最新出口管制規則，限制向個别先進晶片制造晶圓廠發運特定型号的中高端DUV（深紫外線）浸潤式光刻機。”ASML方面表示。

ASML在聲明中強調，公司将持續緻力于遵守經營所在國家/地區所有适用的法律和法規，包括出口管制法規。

另有消息稱，在ASML釋出官方聲明前夕，美國政府官員就要求ASML立即停止預先安排的部分機器向中國客戶發貨。

據悉，DUV光刻機被用于生産28nm及更成熟制程的晶片。理論上，在多重曝光技術下最高能制造10nm晶片産品，主要供應商有荷蘭ASML、日本尼康、日本佳能等廠商。

ASML在全球晶片供應鍊中占據着至關重要的地位。在半導體制造行業，DUV光刻機可以用于制造7nm及以上制程的晶片，涵蓋了大部分數字晶片和幾乎所有的模拟晶片，随着先進制程向5nm及以下進化，EUV成為未來光刻技術和先進制程的核心，主要用于7nm及以下先進晶片制造技術，荷蘭ASML是唯一的供應商。

是以，ASML裝置出口限制會對全球半導體産業産生重要影響。

涉及此次出口許可禁令的兩款裝置中，ASML TWINSCAN NXT:2050i是一款高生産率、雙級浸沒式光刻工具，專為在先進節點批量生産300mm晶圓而設計；而另一款NXT:2100i 是雙級浸沒式光刻裝置，其配備了新的投影光學調整系統，ArF光源為193nm，每小時光刻的晶圓數量達295片，主要用于光刻40nm-28nm晶片。

2023年3月，荷蘭政府宣布對半導體技術出口實施新的限制，要求ASML需要申請出口許可證才能裝運DUV光刻機。從ASML的解讀來看，該新規主要涉及能生産先進制程晶片的高端DUV光刻機型号的采購，暫不影響2000i之前的型号。該禁令于9月1日起執行。

據ASML财報顯示，截止9月30日的2023年前三季度，ASML全球淨銷售額達203.21億歐元，而中國區同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。預計整個2023财年，ASML全球銷售額增長30%，将達270多億歐元。

2023年9月，ASML宣布，該公司已經申請部分産品出口許可證，這一許可證允許其在2023年内向外出售NXT:2000i以及更先進的NXT:2050i、NXT:2100i等DUV光刻機。而2024年剛開年，這一許可證被吊銷。

2023年10月，ASML即将離任的首席執行官溫甯克（Peter Wennink）表示，美國和荷蘭的新限制措施将影響ASML在中國多達15%的銷售額。

ASML全球副總裁、中國區總裁沈波早前向钛媒體App透露，到2023年底，ASML在中國的光刻機加上量測的機台裝機量接近1400台。基于對産能的判斷，ASML目标是在2025年底或2026年初，具備每年500台-600台深紫外（DUV）的裝置産能。（詳見钛媒體App前文：《對話ASML中國區總裁沈波：中國已有近1400台，ASML為何能領軍光刻機市場？｜直擊·2023進博會》）

目前，ASML公司正處于管理層交替時期。2023年11月30日，ASML監事會宣布，拟任命現任首席商務官兼管理委員會成員 Christophe Fouquet 擔任公司下一任總裁兼首席執行官。該任命須經4月24日的年度股東大會準許。屆時，ASML聯席總裁兼CEO溫甯克，公司總裁兼CTO Martin van den Brink将在完成目前任期後從公司榮休。

有消息稱，美國國家安全顧問沙利文（Jake Sullivan）于去年底緻電荷蘭政府，要求荷蘭政府對ASML的DUV光刻裝置進行限制，但荷蘭要求美國政府直接與ASML聯系，以讨論DUV光刻機的發貨事宜。而在ASML的出口許可證到期前數周，美國政府就要求ASML取消一部分向中國出口的機器，但并不清楚其具體的數量，這些裝置每台的成本可能高達數千萬美元。

ASML預計目前被撤銷的出口許可證以及美國最新釋出的出口管制措施不會對其2023年業績産生重大影響。

針對美國政府和荷蘭政府對華限制出口光刻裝置，中國外交部發言人毛甯日前表示，近年來，美國為剝奪中國發展權利、維護自身霸權，泛化國家安全概念，将經貿科技問題政治化、工具化，脅迫誘拉一些國家對華采取出口限制措施。有關霸淩霸道行徑嚴重破壞市場規則和國際經貿秩序，不僅損害中國企業合法權益，也嚴重沖擊全球産業鍊供應鍊穩定和世界經濟發展，中方對此堅決反對。中方希望荷方秉持客觀公正立場和市場原則，尊重契約精神，不濫用出口管制措施，維護國際産業鍊供應鍊穩定和自由開放的國際貿易秩序，維護中荷兩國和雙方企業共同利益。

毛甯強調，中國堅決反對的是人為幹擾經貿合作、人為破壞全球産供鍊穩定，這不符合任何一方的利益。

（本文首發钛媒體App，作者｜林志佳）