EFR32配有可配置的内部電容器組，用作外部晶體的負載電容，通過調整寄存器CTune的設定值，可以選擇合适的負載電容，實作外部晶振頻率的校準。
下面的等式給出了電容的編置值和實際值之間的關系：
CTune = Cpar + CTune <8：0> * 80fF。
其中Cpar表示寄生電容，這取決于電路闆類型，布局，溫度和晶體類型。内部電容大小與頻率成反比，是以較高的電容值會導緻HFXO頻率降低。
當HFXO_XTALCTRL寄存器的CTUNEXOANA以及CTUNEXIANA設定為預設值0x8C時，
用頻譜儀測得外部38.4MHz的晶振頻率為38.398261MHz，偏差為：
(38.398261-38.4)/38.4*1e6=-45ppm;
當數值調整到20時，
用頻譜儀測得外部38.4MHz的晶振頻率為38.402609MHz，偏差為：
(38.402609-38.4)/38.4*1e6=70ppm;
當數值調整到60時，
用頻譜儀測得外部38.4MHz的晶振頻率為38.40000MHz，偏差為0ppm;
