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渺小的霸權:日本半導體材料的神話與現實

渺小的霸權:日本半導體材料的神話與現實

2021年6月,日本衆議院召開了一場主題為“複興日本半導體産業”的研讨會,時值在疫情中遭遇重創的铠俠半導體(即東芝存儲晶片部門)四處尋找接盤俠,日本存儲晶片最後的火種奄奄一息,日本官方邀請了五位專家學者暢所欲言,為産業複興出謀劃策,壓軸發言的是一個名叫湯之上隆的人。

湯之上隆曾任職于日立、爾必達的一線研發部門,親曆了日本半導體産業從輝煌走向沒落的整個過程。2015年,他将自己的經曆與思考寫進了《失去的制造業》一書,抛開其中對老東家和老上司的冷嘲熱諷,《失去的制造業》堪稱研究日本晶片産業的必讀書目。

相比日本官方高舉複興大旗,湯之上隆在研讨會上建議大家以最快的速度躺平,讓在場議員們大跌眼鏡:“失去的半導體産業已無法挽回,繼續投入就是浪費納稅人的錢。”

他認為,由于日本的半導體公司一直難以适應産業變化,早已錯失曆史機遇;如今與其瞎折騰,不如守護好最後一點家底:位于半導體産業鍊最上遊的裝置與材料[1]。

一塊晶片封裝前,會經曆薄膜沉澱、光刻、蝕刻、清洗等多項工藝,每一步都需要特定的加工裝置與原材料。過去數十年,日本企業一直是部分半導體裝置的主要提供商。

而日本公司對半導體材料近乎壟斷的地位更是威名在外:前段工序常用的材料有19種,其中14種都由日本企業主導。

2019年7月,随着日韓沖突加劇,日本政府對南韓企業發起制裁,限制半導體核心材料的出口。鐵錘剛砸下三天,三星掌門李在镕如坐針氈,專程趕赴日本懇求松口。

後來衆議員的研讨會結束不久,湯之上隆就寫了篇文章,标題叫“日本半導體裝置和材料為何那麼強?”,自豪之情溢于言表[2]。

極其誇張的市場佔有率

結果文章發出去沒多久,日本就吃了一場敗仗。2021年,南韓的SEMES強勢崛起,超越日本企業SCREEN成為全球第六大半導體裝置公司,其母公司正是在材料上被卡的翻白眼的三星。同一時期,三星一口氣投資了十幾家材料公司,希望在材料環節繞開日本。

另一個有趣的現象是,相比輿論對日本半導體材料壟斷地位的豔羨,以及日本在化學、材料學等領域長期耕耘的贊譽,日本産業界卻對這一成就評價複雜:

湯之上隆一邊高度認可材料環節的強勢地位,但一邊稱日本對南韓的斷供“極其愚蠢”。另一位學者西村吉雄則在《日本電子産業興衰錄》中說,日本晶片産業衰落的原因之一,就是做了太多基礎研究,反而忽視了應用和模式層面的創新。

日本的半導體材料常常是一個被輿論神化的産業,它實際上并不複雜,但也沒有那麼簡單。

卡脖子

對南韓晶片公司而言,日本的貿易制裁,其威力不亞于往京畿道工廠丢一顆炸彈。

被限制出口的半導體材料共有三種,首當其沖的是氟化聚酰亞胺。這個念起來有些費嘴的化學物質,是部分OLED面闆的原材料。一旦掐斷供給,OLED電視等拳頭産品将面臨無貨可出的窘境。

但對三星等韓企來說,更棘手的其實是另外兩件“戰略核武器”。

第一件是EUV光刻膠,打擊目标是南韓半導體的“未來”。

光刻膠是光刻工藝的關鍵材料,而光刻又是晶片制造的核心工藝。目前最先進的光刻工藝是EUV(極紫外線),用于生産7nm以及更先進制程的晶片。

過去幾年,三星一直在努力疊代自研的手機處理器Exynos,即便三星自己擁有7nm和5nm制程工藝,但也繞不開光刻膠這一環。此時,作為原材料的光刻膠遭到制裁,本就不富裕的日子變得更加雪上加霜。

另外,三星、SK海力士對下一代DRAM的研發也将被迫暫停。目前,市場上的DRAM産品仍在努力逼近10nm制程,尚且用不上EUV光刻這樣的先進技術;但未來DRAM的制程大機率會提升至5nm,這便踏進了EUV光刻的領域。

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EUV光刻

相比之下,第二把利器殺傷力更甚。這款名叫高純度氟化氫的材料,足以扼住南韓半導體的“現在”。

氟化氫是一種清洗用的化學材料。清洗工藝能夠去除晶片生産所帶來的雜質,是影響晶片品質的關鍵環節。生産一款晶片大概需要500至1000個步驟,其中大約10%的步驟都得用到氟化氫進行清洗,堪稱是半導體的“血液”。

一旦氟化氫庫存告急,邏輯半導體(如CPU)、DRAM等主流半導體晶片均無法生産,能否開展日常業務都将打上一個問号[7]。

面對日本的咄咄逼人,危機感爆棚的南韓人使出了渾身解數,先是跑去WTO伸冤打官司,與此同時,政府牽頭大搞國産替代,一口氣投入了6萬億韓元的預算,三星也跟着投資了一批南韓本土的半導體材料企業。

在“打倒日本帝國主義”的号召下,同仇敵忾的南韓企業成功研發出了國産版本的高純度氟化氫和EUV光刻膠。文在寅卸任前的新年緻辭中,曾重點提及了上述成就。

文在寅視察南韓産氟化氫

然而,故事的走向卻沒有發生太多逆轉:直到如今,日本依舊高度壟斷着高純度氟化氫和EUV光刻膠。

其地位之是以屹立不倒,和上述半導體材料的一大特質有關:日本壟斷的材料,多是不能即插即用的非标準化産品。

其中氟化氫尤為典型——清洗并不是一項标準化的工藝,每個制造商都有各自的了解和流程。是以,關于氟化氫的使用,實際上有稀釋、與氯化氫混合、與過氧化氫混合等多種完全不同的方案。而每種方案對氟化氫産品的要求又不太一樣,均需要專門定制。

另一方面,大多數産品的理論原理和工藝技術都是公開的,但選材與配比的數值,甚至生産工廠中的房間合适的溫度和濕度,都需要漫長的實驗才能得到最佳結果。材料的非标特質,會帶來兩方面影響:

(1)企業難以輕易更換解決方案以及相關供應商,一旦合作就是長期綁定。

在這方面,日本自己就吃過虧。1999年,日立和NEC兩家龍頭企業合資成立了存儲企業爾必達,準備向領跑的三星發起進攻。但在公司成立的頭兩年,卻爆發了嚴重的生産問題,市場佔有率也迅速下跌,而“罪魁禍首”之一正是日立和NEC的清洗方案不相容。

是以,哪怕南韓企業自研出了高純度氟化氫,依舊不能立刻擺脫日企的壟斷,最快也需要至少1年時間做測試;而EUV光刻膠的更換周期則更久,通常需要測試2-3年才能搬上産線。

“有國産材料”和“用國産材料”,實際上是兩件事。

渺小的霸權:日本半導體材料的神話與現實

氟化氫

(2)非标材料的制造技術多且繁雜,甚至存在部分隻可意會不可言傳的隐性知識,需要企業有長期相關的積累。在這方面,向來以“匠人精神”自居、發力較早的日本同樣有先天優勢。

正如湯之上隆在書中寫道:日本半導體材料的競争力核心,正是日本獨特的匠人文化。

不可否認,這種“一生做好一件事”的匠人文化,确實在氟化氫這類具備延續性的領域頗有成效。氟化氫技術的疊代,本質是不斷提升純度,将小數點後面的9越做越多的過程,主打一個精益求精。

南韓雖實作了氟化氫的國産化,但其純度隻有99.99999999%(小數點後8個9),日本企業卻能做到小數點後10個9。看上去相差無幾,但如果乘上幾十上百道工序,最終結果會千差萬别。

但問題是,難道隔了個日本海,匠人文化就失傳了嗎?日本半導體材料的強勢,顯然不能隻用文化來解釋。

日本式的勝利

和半導體産業很多環節一樣,光刻膠誕生于美國,柯達、IBM曾是該市場的領跑者,但最終被日本産業化。

從上世紀80年代開始,日本光刻膠産業突然火力全開,最終将IBM斬于馬下。這一切的起點,始于一個至今仍被全球反複研究的項目——VLSI。

1976年,IBM研發新一代計算機的消息傳來,日本業界意識到1μm或更小工藝日趨臨近,深感時不我待的通産省集結了富士通、日立、三菱、東芝、NEC五家半導體公司,以及日本工業技術研究院、 電子綜合研究所和計算機綜合研究所三家機構,開展了一個名為VSLI(超大規模內建電路)的追趕計劃。

VLSI最大的成就是DRAM晶片的突破,直接開創了日本半導體的黃金年代。但實際上,VLSI項目共設有六個實驗室,除了三個搞産品研發的,還有專門負責攻堅半導體材料、光刻工藝以及封裝測試技術的團隊。其中第四實驗室的科研成果,就是負性光刻膠。

當時,隔壁的第五實驗室成功生産出了縮小投影型光刻裝置。由于材料和裝置兩者互相強綁定,需要一同配套研發,這讓第四實驗室的光刻膠研發掃除了最大的障礙。

VLSI最大的成果,實際上是通過市場規模巨大的DRAM的突破,創造了一套國産産業鍊,擺脫了對美國的裝置依賴。包括做材料的京瓷和住友,做光罩的TOPPAN,做封測的東京電子,和做光刻機的尼康。

光刻膠

90年代,KrF開始成為光刻膠的主流路線。此時,尼康推出了全球首個實作商業化應用的KrF光刻機系統,隔壁的光刻膠企業趁勢追趕。從2000年開始,随着光刻膠路線開始往ArF和EUV轉向,日本又迅速和新任光刻機龍頭ASML建立了深度綁定,雙方配套研發、共同疊代。

由于和産業鍊的深度綁定,不論技術路線如何變化,日本光刻膠都有機會領跑[11]。

另一個推手則是日本産業界對基礎科研的極端重視。雖然大多數新技術都在日本産業化,但日本社會普遍不滿足于生産制造環節的成功,尤其是以貝爾實驗室為代表的大公司研究院模式,更是被日本反複學習效仿。

彼時,日本主流思潮認為:如果能在基礎科學上也保持領先,日本将長期立于不敗之地[12]。

90年代後,日本經濟陷入長期衰退,日本官方再次下場,希望通過對基礎研究的投入複蘇半導體産業。1995年,日本出台了《科學技術基本法》,并計劃此後每年往科學領域投入4萬億至5萬億日元。

2001年,日本政府提出,希望到2050年,日本能誕生30個諾貝爾獎。此後20年,日本足足有16人獲得了三大自然科學類諾貝爾獎,位居全球第三,其中6個屬于和半導體材料強相關的化學領域。

依靠在基礎科研上的長期投入,日本一直維持着半導體材料市場的霸主地位,并且将領先蔓延到了動力電池産業。2019年,吉野彰獲得了諾貝爾化學獎,他的一大成就是發現了锂電池負極材料,日本企業則是該領域的領跑者之一。另外,松下也是動力電池最主要的生産商之一。

但讓日本産業界始終難以介懷的是,與半導體材料的凱歌高奏相反,日本的傳統優勢項目存儲、面闆、晶片制造等環節,卻始終止步不前,成為了電子産業黃金年代中尴尬的旁觀者。

得到的與失去的

2023年3月,南韓總統尹錫悅出訪日本,宣告自2019年開始的日韓貿易戰結束。南韓不少聲音認為,尹錫悅已經舉白旗投降——因為争端源頭是曆史遺留問題催生的民族沖突,但他上台後卻對這些問題閉口不談,更主動對日本示好,無疑是“滑跪”的展現。

然而湯之上隆并不這麼認為。他公開表示,制裁正在親手摧毀日本的氟化氫産業,堪稱“曆史性的愚策”,因為日本同樣高度依賴南韓市場。

事實也是如此,日本财務省統計的出口資料顯示,2011年之後,南韓一直是日本氟化氫的最大出口國,并占據了總出口量的90%以上。由于氟化氫難以輕易替換,一旦合作便是長期綁定;但反過來說,一旦三星鐵了心要搞國産替代,日本氟化氫也會失去最主要的收入來源。

而這種影響已經開始出現。2019年之前,日本氟化氫的對韓出口量大約在每月3000噸左右。此後,日本雖然解除了出口限制,但直到2023年年初,這個數字依舊隻有約500噸[15]。

日本氟化氫對韓出口變化

這種“傷敵一千,自損一千二”的現象,反映了整個半導體材料行業的尴尬處境:戰略價值大,但戰術價值小。

材料雖是晶片生産的必需品,但市場規模“僅有”643億美元(2021年),相比之下,日本人失去的存儲和面闆市場,規模都高達1600億美元和1300億美元(2021年)。這還沒算上曾是日本傳統優勢項目——被蘋果、高通、英偉達等公司占據的消費電子市場。

是以高情商的說法是,幾百億規模的半導體材料,足以影響下遊上萬億規模的電子市場;但低情商的說法是,市場規模也就這麼大。

這也是日本産業界無法釋懷的原因:相比他們失去的存儲、面闆、晶片制造和消費電子市場,材料領域的霸權實在是太微不足道了。

在《日本電子産業興衰錄》一書中,對于日本政府和企業在科研上的大手筆投入,作者西村吉雄非但不覺得驕傲,反而認為對科研的癡迷導緻日本半導體公司錯過了90年代電子産業的轉型大潮。他提出了一個很有代表性的觀點:日本公司很擅長研究“怎麼做”,卻疏于判斷“做什麼”。

西村吉雄認為,基礎科學固然重要,但日本對此有些過度迷信,把“創新”與“技術突破”混為一談。在書中,他通過英特爾的例子來論證,其成功恰恰不是依賴于科學研究,而是打造了“技術封閉+标準開放”的生态,任何開發者都可以基于x86架構與Windows系統開發軟體,最終成為了消費電子時代的霸主。

微處理器(CPU)等邏輯半導體的出現,其實和基礎科學的進步無關,更多是受到了市場需求的推動。日本對基礎科學的癡迷,最終導緻它與一個千億美金的市場失之交臂。

後來,湯之上隆又在《失去的制造業》裡補充一個生動鮮活的案例:

被三星打到破産的爾必達,其實在技術上遠遠超過三星。比如爾必達的512M DRAM的良品率可以達到98%,三星隻有83%,但問題是,把成品率從80%提高到95%需要付出巨大的成本。相比三星2005年30%的利潤率,爾必達隻有3%。

2008年,行業進入下行周期,三星故意擴産進一步壓低價格,爾必達虧到親媽不認。在破産的釋出會上,CEO坂本幸雄仍然念叨着“爾必達技術世界第一”。

湯之上隆在《失去的制造業》中總結了日本強勢産業的幾個特點,其中最重要的一點是:日本公司擅長在一條長坡厚雪的賽道做持續的創新,而不善于面對頻繁的技術變化。

前者的代表是燃油車、锂電池和半導體材料這類“幹中學、學中幹”色彩強烈的産業,後者則是他們失去的存儲和面闆。無論是市場地位、公司營收,還是創造的利稅、崗位與附加值,半導體材料都無法和後者相比拟。

尾聲

20世紀80年代,西方世界對東亞經濟騰飛的解讀仍以新自由主義為底色,日本政府頗有微詞,豪擲120萬美元考察費,邀請世界銀行專家“客觀分析”日本模式成功的原因。1993年,世行出版了針對東亞後發經濟體的研究報告《東亞奇迹》,扭扭捏捏的承認了“政府主導産業更新”的益處。

報告發表一年後,美國經濟學家保羅·克魯格曼(Paul Krugman)在《外交雜志》上潑了一盆冷水,稱日本“并非經濟奇迹的典型”,亞洲四小虎更是紙老虎:"亞洲的繁榮是高投入創造的數量增長,而非效率提升,建立于浮沙之上,遲早會幻滅 。"

80年代也是日本産業界自我檢討的高峰期,日本人認為,自己不應該滿足于将誕生于美國技術産業化,而是應該效仿美國企業設立研究院,在基礎科研上百尺竿頭更進一步,在下一次技術浪潮中拔得頭籌。

直到今天,日本企業的科研投入仍保持在全球一線梯隊:2019年,日本企業的研發投入占該年度GDP的3.51%,位居全球第三[13]。

陰差陽錯的是,在長久的經濟衰退中,日本的優勢産業被南韓、中國大陸和台灣地區瓜分殆盡,在日本人眼裡,産業上遊的霸權地位,更像是某種體面的撤退。

日本在半導體材料上的霸權依然穩固,但他們更加在意的是,夏普的龜山屏、東芝的Dynabook和索尼的Walkman,曾一次又一次驚豔過世界。

基礎科研與所謂“應用創新”,本質上并無高低優劣之分,長周期高投入的科研與商業利益的平衡從來都難以取舍。但歸根結底,創新的目的不是為了卡誰的脖子,而是通過提高定價權獲得更高的産業附加值,繼而通過高收入崗位的創造與财富再配置設定,改善更多普通人的生活。

渺小的霸權:日本半導體材料的神話與現實

參考資料

[1] 衆議院 2021年06月01日 科學技術特別委員會 #04 湯之上隆(參考人 微細加工研究所所長),Youtube

[2] 半導體製造裝置と材料、日本のシェアはなぜ高い?~「日本人特有の気質」が生み出す競争力,湯之上隆

[3] 日本の前工程裝置のシェアはなぜ低下?~歐米韓より劣る要素とは,湯之上隆

[4] 國産半導體光刻膠野望,半導體行業觀察

[5] 電子化學品系列報告之一:光刻膠國産替代迎來良機,太平洋證券

[6] 光刻膠:半導體産業核心卡脖子環節,國内廠商蓄勢待發,浙商證券

[7] 日韓経済戦争の泥沼化、短期間でフッ化水素は代替できない,湯之上隆

[8] Dongjin Semichem localizes EUV photoresist,ET News

[9] 失去的制造業:日本制造業的敗北,湯之上隆

[10] 南韓宣布國産高純度氟化氫成功,日本時隔半年重新開機出口,快科技

[11] 大國産業鍊,中金公司研究部

[12] 日本電子産業興衰錄,西村吉雄

[13] 日本企業科技創新情況及相關案例研究,科情智庫

[14] 日本:被罵出來的諾貝爾獎,世界靈敏度

[15] 安倍内閣と経産省が半導體材料産業の一角を破壊した…韓國への輸出規制は歴史的愚策,湯之上隆

[16] Chip supplier says China will struggle to develop advanced technology,Financial Times

編輯:李墨天

視覺設計:疏睿

責任編輯:李墨天