CINNO Research産業資訊，根據日媒newswitch 張谷京子報道，半導體裝置廠商的去碳化程序正在加速。除了改善産品的環境性能外，各公司都在努力減少營運中的溫室氣體排放。世界上最大的半導體使用者蘋果公司，正在鼓勵其客戶在生産過程中100%使用可再生能源。這種溢出效應(Spillover Effect)似乎正在蔓延到整個制造裝置行業。
環境性能成為評價客戶的标準
東京電子生産部的福島弘樹副部長揭示了半導體行業的态度變化：“在過去，客戶選擇産品的依據是品質和可靠性，以能否生産出更好的裝置為名額。但從2019-2020年左右開始，環境性能也被加入其中”。
為了降低制造半導體過程中産生的溫室氣體排放，就必須減少制造裝置的環境影響。福島副部長說："如果忽視了這一點，就無法在這一業界立足”。
鑒于這種去碳化趨勢的上升，生産制造裝置的制造商不僅要緻力于減少其商業活動中的溫室氣體排放，而且還要緻力于減少其裝置對環境的影響。
東京電子的無塵工廠中的房間
2021年6月，東京電子推出了一項旨在建立可持續供應鍊的倡議"E-COMPASS”。東京電子與大約1000家供應商一起，推出了減少對環境影響的方案。具體而言，東京電子将通過從卡車轉為鐵路運輸和減少包裝材料的使用來減少其采購物流的二氧化碳排放。此外，還将提供不含對環境有害物質的裝置，并開發主動型的裝置環保技術。
東京電子的目标是在2030年之前将生産每片晶圓的二氧化碳排放量比2018年減少30%。并且計劃通過在每個分公司使用可再生能源，将二氧化碳總排放量減少70%。 不過，福島副部長意識到："我們必須跟上日益提高的環保意識"。是以東京電子還在考慮進一步上調其目标。
DISCO的目标是到2050年，在包括産品在内的整個供應鍊中實作碳中和（零溫室氣體排放）。DISCO的關家一馬社長表示："之前大多數的客戶都重視成本問題，但在今後，環境性能也應該包含在内。即使價格稍高，但是具有先進節能功能的裝置可能更受重視"。
DISCO的茅野工廠（長野縣茅野市）正在進行太陽能電池闆的擴建
在公司自身的商業活動中，DISCO為自己設定了在2030年之前實作碳中和的目标。除了将每機關生産所消耗的電力和水減半外，還通過擴建太陽能電池闆來增加公司自身的發電量。今年2月，DISCO的太陽能發電能力将提高到原來的2倍，達到約3,200千瓦。
2021年4月，半導體測試裝置的主要制造商愛德萬測試（Advantest）将其群馬工廠（群馬縣邑樂町）的所有用電切換為了可再生能源發電。群馬工廠切換的用電量約為每年1280萬千瓦時，預計每年可減少約5000噸二氧化碳排放量。愛德萬測試的目标是2030年将可再生能源的使用率提高到70%以上，并将其業務活動中産生的溫室氣體排放量比2018年降低60%。
美國蘋果公司帶來的溢出效應，促進整個供應鍊的 "溫室氣體零排放 "
在裝置制造商采取這些環保措施的背後，是蘋果等半導體使用者推進的促使整個供應鍊參與環保措施的行動。
全球最大的半導體使用者蘋果在2020年7月宣布，将在2030年前使包括其産品的生産和使用在内的整個供應鍊實作 "碳中和"。承諾使用可再生能源為蘋果提供産品和材料的供應商的數量已經達到175家。全球最大的半導體代工廠台積電（TSMC）等半導體制造商也已表示同意。台積電計劃在2025年前将其溫室氣體排放增長量降至零。美國的英特爾将在2030年前切換為使用100%的可再生能源。
半導體制造商之是以采取措施努力減少溫室氣體排放，不僅僅是為了滿足半導體客戶的要求，還因為半導體生産過程中使用的電力和水等的能源消耗在不斷增加。
由于第五代通信5G的普及和物聯網（IoT）的發展，半導體市場預計仍将在中長期内增長，微縮化和堆疊化等技術創新也在顯著發展。但是應用更先進的制造技術往往會增加能源消耗，是以降低能源消耗對于半導體制造商來說是一個迫在眉睫的問題。據業内人士分析，按照目前的增長速度，預計全球20%的電力将被半導體制造消耗。
針對半導體制造商日益增長的危機感，愛德萬測試的吉田芳明社長表示："如何平衡經濟效益和可持續發展， 這将是一個痛苦的過程。我們想努力為保護地球環境做出貢獻"。
半導體如今被稱為 "社會和生活的糧食"。可以說，半導體供應鍊的環保措施對于實作可持續發展的社會是必不可少的。
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