美、日出口禁令層層加碼的背後，核心零部件國産替代率達幾成？

集微網報道，近期，日本經濟産業省正式公布《外彙法》修正案，将先進晶片制造裝置等23個品類追加列入出口管理名單。該修正案于3月31日對外公布，經過一個月征求公衆意見後定稿，并于7月23日正式實施。

據了解，在美國出口禁令層層加碼的情況下，國内晶圓廠及半導體裝置廠商紛紛尋求“去美化”供應鍊，并加大對日本和南韓等地上遊裝置、零部件、原材料的采購。在上述日本修正案出台後，業内才意識到進口日本裝置暗藏巨大風險，或需繼續調整供應鍊。此外，修正案對新增管制裝置的品類較為寬泛，且表述十分模糊，具體影響仍未可知。

出于上述種種因素考量，業内不僅擔心國内晶圓廠無法采購列入出口管制的半導體裝置，更憂慮國内半導體裝置廠商在采購日本進口零部件時遇阻。

對華半導體出口限制持續更新

事實上，自去年10月，美國釋出針對中國半導體行業的出口管制新規後，就不斷向日本、南韓和歐洲施壓，要求其加入對中國半導體技術封鎖的陣營。

今年3月，荷蘭和日本正式響應美方，荷蘭政府在緻國會函中表明将出台更嚴格的半導體出口管制措施。在随後的3月31日，日本政府也釋出了關于修改出口管制規則省令的征求意見稿，将23類高端半導體制造裝置納入出口管制。

從5月23日正式公布的出口管制政策來看，與之前公布的版本基本一緻，并未對限制範圍做進一步調整。本次被新增列入出口管制裝置品類包括：3項清洗裝置、11項薄膜沉積裝置、1項熱處理裝置、4項光刻裝置、3項蝕刻裝置、1項測試裝置。

荷蘭方面，荷蘭經濟部長MickyAdriaansens接受德媒《法蘭克福彙報》采訪時表示，當局正在制定相關法規，光刻機龍頭公司ASML應會很快收到明确指引，有關其可向中國提供哪些産品；預計荷蘭當局将于今(2023)年7月可發放相關出口許可證。

由上可知，荷蘭與日本的上述出口限制政策都将在今年7月份實施。在具體影響情況方面，雖然日本政府強調（出口管制）影響是有限的，但集微網向多位業内人士詢問得知，由于上述規定并未明确，且能否獲得出口許可還未可知，産業界仍在評估其影響。

可以明确的是，上述對華的出口限制或許隻是開始，美國将會鼓動更多盟友，采取更加全面、更加嚴苛的制裁措施，來阻礙中國半導體産業發展。伴随着出口限制的一步步更新，中國半導體産業從海外獲得技術和産品的難度正在擴大。

零部件依賴進口引擔憂

由于上述出口管制新規主要針對先進半導體技術，而國内晶圓廠在應對美國出口管制時，就已經調整發展政策，将目光轉移至成熟制程。

在成熟制程方面，中國半導體行業協會內建電路分會理事長葉甜春曾表示，國内在28nm裝備和材料已經初步建立供給能力。基于此，無法從日本進口先進制程裝置，對國内半導體晶圓廠的影響或許有限，反而是給業内敲響了警鐘，或進一步加快半導體裝置的國産替代程序。

針對投資者提出的“日本釋出的半導體裝置出口限制措施對貴公司是否有重大影響？是否會對從日本進口的重要零部件産生阻礙？甚至無法獲得？”這一問題，至純科技也坦言，日本對半導體裝置的限制措施中，其中對濕法清洗裝置的限制對公司無影響，甚至有可能會加速國内下遊廠商采購國産化裝置的步伐，對除濕法清洗裝置外的其他裝置的限制可能會對公司業務産生間接影響，目前尚不确定。公司裝置類部分零部件從日韓進口，公司已在國内尋找并培養可替代的國産零部件供應商，今年國産二供的比例争取進一步提升。

相對于已經有所突破的半導體裝置，國内在零部件領域的發展更為薄弱。由于半導體裝置的生産對零部件的品質要求非常嚴格，日本、歐美在半導體裝置和零部件領域處于絕對的主導地位。目前，全球前二十家內建電路零部件廠商合計占據近60%的市場佔有率，而在前二十的廠商中，美日廠商各占8家，剩下德國、英國、瑞士、荷蘭各一家。是以，核心零部件依賴進口是國内半導體裝置企業的普遍情況。

“由于靜電卡盤、機械手、運動與控制系統類零部件國産化率較低，公司目前主要向日本、美國等零部件供應商進行采購。”據某國産裝置廠商透露，以靜電卡盤市場為例，主導企業包括美國AMAT、美國LAM、日本新光電氣、日本TOTO、日本NTK等國際巨頭，上述企業長期控制着國際靜電卡盤産品的供應鍊，直到近幾年國産産品才慢慢取得突破。

中國內建電路零部件創新聯盟秘書長李超波也曾表示，在科技部“02專項”的支援下，國産零部件産業也在逐漸興起，對供應鍊穩定和自主創新形成了一定程度的支撐；但差距依然巨大，據不完全統計，約50%核心零部件暫無國産替代方案。

具體來看，在各類半導體零部件中，僅金屬腔體、過濾器、矽部件及石英件自給率超10%，加熱器和真空幹泵自給率在5%至10%之間，品質流量計、RF電源及機械手自給率在1%至5%之間，而包括真空閥門、真空規、ESC、密封圈在内的零部件自給率均低于1%。

此外，筆者從業内了解到，為應對美國對零部件的出口限制，部分國産領先的半導體裝置廠商2022年已經減少對美國零部件的采購，積極推進供應鍊國産化的同時，也加大了對日本、南韓、歐洲等地的零部件采購力度，以芯源微為代表的部分半導體廠商甚至特意成立日本子公司，以便公司尋找到更可靠的供應鍊資源。

從目前來看，日本法案對零部件出口并未有明确限制，但這并不意味着沒有威脅，依賴進口終歸不是長久之計。無論是以應對美國、日本等國貿易限制措施的進一步更新，還是從提升公司成本效益的角度來考量，國内半導體裝置廠商都需要提前防範，加速零部件國産化程序。

正如魏少軍教授提到的，全球半導體供應鍊正在經曆大變局，美西方嘗試将中國排除在供應鍊之外，在努力維護現行半導體全球供應鍊完整性的同時，建構一個強壯的半導體本地供應鍊已經刻不容緩。